半導(dǎo)體清洗設(shè)備逐步實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化 但與國(guó)際水平仍有較大差距

整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)設(shè)備市場(chǎng)中，80%份額為晶圓處理設(shè)備，在此環(huán)節(jié)中，清洗步驟約占整體步驟的33%，清洗設(shè)備對(duì)生產(chǎn)線的良率和經(jīng)濟(jì)效益均起著至關(guān)重要的的影響。

作為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體清洗設(shè)備“三劍客”之一，至純科技受到了投資機(jī)構(gòu)的關(guān)注，日前迎來(lái)了浙商證券、海富通基金、申萬(wàn)宏源、光大證券等一眾投資機(jī)構(gòu)調(diào)研，談及其半導(dǎo)體清洗設(shè)備領(lǐng)域布局。

對(duì)標(biāo)國(guó)際巨頭 5年目標(biāo)200臺(tái)

至純科技成立于2000年，致力于為高端先進(jìn)制造業(yè)企業(yè)提供高純工藝系統(tǒng)的解決方案，2018年上半年其半導(dǎo)體行業(yè)收入占比為69.4%，客戶包括上海華力、中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、合肥長(zhǎng)鑫、士蘭微等企業(yè)。

相較于盛美半導(dǎo)體和北方華創(chuàng)，至純科技涉足半導(dǎo)體清洗設(shè)備領(lǐng)域的時(shí)間不算長(zhǎng)，據(jù)悉其于2015年開始啟動(dòng)濕法工藝裝備研發(fā)，2017年底成立獨(dú)立的半導(dǎo)體濕法事業(yè)部。

據(jù)至純科技在調(diào)研活動(dòng)中透露，其濕法事業(yè)部目前共有員工近40人，未來(lái)團(tuán)隊(duì)規(guī)模有望達(dá)到300~400人。其中，槽式清洗設(shè)備主要引進(jìn)日本團(tuán)隊(duì)近20人，團(tuán)隊(duì)人員均有國(guó)際大廠相關(guān)經(jīng)驗(yàn)；單片式清洗設(shè)備則與海力士專屬供應(yīng)商——韓國(guó)公司MUJIN合作，雙方均貢獻(xiàn)技術(shù)、共享IP。

至純科技表示，目前槽式清洗設(shè)備是在日本制造，將來(lái)會(huì)放在啟東新廠。據(jù)悉，至純科技啟東新廠占地100畝、規(guī)劃兩期，產(chǎn)能貢獻(xiàn)主要在系統(tǒng)集成和濕法制造，樂觀估計(jì)10月份部分交付使用，明年下半年產(chǎn)能有望開始釋放，但達(dá)產(chǎn)仍需過程。

啟東基地產(chǎn)能釋放后，至純科技預(yù)計(jì)高純系統(tǒng)集成方面的產(chǎn)能將是目前的4~5倍，清洗設(shè)備一期設(shè)計(jì)產(chǎn)能則為年產(chǎn)48臺(tái)。根據(jù)至純科技2017年年報(bào)提出的目標(biāo)，未來(lái)5年內(nèi)實(shí)現(xiàn)清洗設(shè)備累計(jì)銷售200臺(tái)。

值得一提的是，目前至純科技濕法槽式清洗設(shè)備已獲得6臺(tái)的量產(chǎn)訂單，客戶是中芯國(guó)際和萬(wàn)國(guó)半導(dǎo)體，9月下旬交付兩臺(tái)，樂觀估計(jì)今年第四季度或明年第一季度確認(rèn)收入。根據(jù)自身產(chǎn)能及產(chǎn)業(yè)鏈調(diào)研情況，至純科技認(rèn)為其2019年清洗設(shè)備新增訂單規(guī)模將在20臺(tái)水平。

至純科技表示，公司在半導(dǎo)體清洗設(shè)備領(lǐng)域的目標(biāo)很明確——就是做進(jìn)口替代，對(duì)標(biāo)的是國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備巨頭Lam Research和DNS，計(jì)劃從零配件到整機(jī)，從高端產(chǎn)品到全產(chǎn)品覆蓋，逐步實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化。

國(guó)產(chǎn)清洗設(shè)備與國(guó)際的差距

數(shù)據(jù)顯示，2017年全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為27億美元，隨著工藝節(jié)點(diǎn)的升級(jí)以及良率要求提高，清洗設(shè)備用量需求將持續(xù)增加，預(yù)計(jì)2020年將達(dá)到35-40億美元，其中中國(guó)市場(chǎng)有望突破600億元人民幣。

據(jù)悉，清洗設(shè)備在晶圓制造設(shè)備中的采購(gòu)費(fèi)用占比約為5%。至純科技指出，從清洗設(shè)備的配備量來(lái)看，以4萬(wàn)片產(chǎn)能的產(chǎn)線為例，一般情況下，8寸線匹配50臺(tái)設(shè)備，12寸線國(guó)內(nèi)匹配70臺(tái)設(shè)備左右，包括槽式和單片，國(guó)外有的廠商能夠達(dá)到120臺(tái)清洗設(shè)備水平。

價(jià)格方面，市面上最便宜的單片清洗設(shè)備是兩個(gè)腔體的50-60萬(wàn)美元，6-8個(gè)腔體的單片式清洗設(shè)備的價(jià)值大概300-400萬(wàn)美元，槽式價(jià)格100-200萬(wàn)美元市場(chǎng)價(jià)格，一個(gè)Fad廠在清洗設(shè)備上采購(gòu)費(fèi)用需要約2億美元。

縱觀全球清洗設(shè)備市場(chǎng)，日系企業(yè)占據(jù)主導(dǎo)地位，DNS、Tokyo Electron分別占據(jù)約60%、30%市場(chǎng)份額，剩下的則由美國(guó)Lam Research、韓國(guó)SEMES等企業(yè)瓜分，中國(guó)企業(yè)與國(guó)際水平仍有較大差距。

至純科技表示，目前國(guó)外單片式清洗設(shè)備已發(fā)展到12個(gè)、16個(gè)腔體了，腔體越多、對(duì)應(yīng)的附屬設(shè)備的介質(zhì)供應(yīng)也越多，可需要滿足智能化、軟件控制、壓力均等和清洗后的存放等需求。而國(guó)產(chǎn)清洗設(shè)備，以種類眾多的濕法清洗設(shè)備為例，從種類和功能上國(guó)產(chǎn)設(shè)備目前實(shí)現(xiàn)只有其中的10%。

國(guó)內(nèi)的清洗設(shè)備企業(yè)除了至純科技外，主要廠商還有盛美半導(dǎo)體和北方華創(chuàng)，這“三劍客”正在通過各自的方式發(fā)展壯大。

盛美半導(dǎo)體成立于1998年，一直主攻單片式清洗設(shè)備，擁有獨(dú)創(chuàng)的兆聲波清洗（SAPS）技術(shù)、通電氣泡震蕩兆聲波清洗（TEBO）技術(shù)，是國(guó)內(nèi)唯一進(jìn)入14nm產(chǎn)線驗(yàn)證的清洗設(shè)備廠商，在技術(shù)上已具備與國(guó)際企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的實(shí)力。

在產(chǎn)品上，盛美半導(dǎo)體集中在基于SAPS和TEBO技術(shù)的單片清洗設(shè)備，近三年?duì)I收占比均超過70%；客戶方面，盛美半導(dǎo)體與海力士有著長(zhǎng)期合作關(guān)系，并已進(jìn)入長(zhǎng)江存儲(chǔ)、中芯國(guó)際、華力微電子、長(zhǎng)電科技等企業(yè)生產(chǎn)線。

盡管盛美半導(dǎo)體在國(guó)內(nèi)清洗設(shè)備產(chǎn)業(yè)處于領(lǐng)先地位，但與國(guó)際巨頭相比，其在規(guī)模、產(chǎn)品系列數(shù)、利潤(rùn)和研發(fā)投入絕對(duì)值上尚不在一個(gè)量級(jí)。

另觀北方華創(chuàng)，與盛美半導(dǎo)體長(zhǎng)期通過自主創(chuàng)新主攻單片清洗設(shè)備不同，北方華創(chuàng)作為國(guó)內(nèi)擁有最豐富產(chǎn)品線的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)，其清洗設(shè)備產(chǎn)品覆蓋了單片和槽式。

2017年8月，北方華創(chuàng)以1500萬(wàn)美元收購(gòu)了美國(guó)半導(dǎo)體清洗設(shè)備企業(yè)Akrion，該交易已于今年1月宣布正式完成交割。Akrion在清洗設(shè)備方面擁有多年的技術(shù)積累和客戶基礎(chǔ)，進(jìn)一步豐富了北方華創(chuàng)的產(chǎn)品線。

截至目前，北方華創(chuàng)在清洗設(shè)備領(lǐng)域，已經(jīng)形成涵蓋應(yīng)用于集成電路、先輩封裝、功率器件、微機(jī)電系統(tǒng)和半導(dǎo)體照明等半導(dǎo)體領(lǐng)域的8-12英寸批式和單片清洗機(jī)產(chǎn)品。

盛美半導(dǎo)體走自主創(chuàng)新之路，北方華創(chuàng)結(jié)合創(chuàng)新與吸收、收購(gòu)，至純科技則基于自身優(yōu)勢(shì)與國(guó)際廠商合作，三者均已取得一定成績(jī)，但總體而言，國(guó)內(nèi)清洗設(shè)備國(guó)產(chǎn)化仍有很長(zhǎng)的路要走。

不過，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)明顯向中國(guó)轉(zhuǎn)移，國(guó)產(chǎn)清洗設(shè)備企業(yè)將迎來(lái)良好的機(jī)遇。至純科技在調(diào)研中提及，其與下游客戶的溝通結(jié)果來(lái)看，2018-2019是建廠高峰期，2019-2021是設(shè)備的高峰期，整體行業(yè)正進(jìn)入清潔設(shè)備采購(gòu)期。

如此一來(lái)，國(guó)產(chǎn)清洗設(shè)備企業(yè)有望在這波晶圓建廠浪潮中異軍突起。