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中圖儀器光學(xué)3D表面輪廓儀帶你探索超精密加工后的微觀世界

精密測(cè)量 ? 2018-11-07 13:00 ? 次閱讀

禪宗有看山看水的參禪三重境,講的是人對(duì)客觀事物的認(rèn)識(shí)由淺及深乃至徹底明悟的過(guò)程。今天就由中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀為大家?guī)?lái)關(guān)于超精密加工后的微結(jié)構(gòu)的探索與發(fā)現(xiàn),帶領(lǐng)大家踏上一場(chǎng)“參禪三重境”的視覺(jué)之旅。

一重境:看山是山,看水是水。我們選取了一張經(jīng)由VCUT微刻刀加工過(guò)的塑料薄片,初看下面的這張塑料片,想必讀者一看再看,也無(wú)法找到它和其它的透明塑料片有何不同,“這只是一張普通的塑料片”是各位讀者所能得到的初步認(rèn)識(shí),此乃一重境。

二重境:看山不是山,看水不是水。既然肉眼不可辯,那么將這張普通的塑料片放到顯微鏡下一探究竟。一面布滿了點(diǎn)狀顆粒,另一面則被條狀溝槽所填滿,構(gòu)成了塑料片表面的微觀世界,但只知其平面外形卻不知其三維形態(tài),知其一不知其二,可謂二重境。

三重境:看山仍是山,看水仍是水。為一窺真容,使用中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀對(duì)這張塑料片上下表面進(jìn)行掃描,點(diǎn)顆粒和溝槽輪廓一覽無(wú)余。

點(diǎn)顆粒是凸點(diǎn),而溝槽則是弧形波,進(jìn)一步使用儀器的輪廓分析功能對(duì)凸點(diǎn)和弧形波進(jìn)行測(cè)量,得到它們的尺寸數(shù)據(jù)。

單個(gè)凸點(diǎn)截面直徑約42μm、高3.8um、夾角160°,分布周期97μm;單個(gè)弧形波高約1.6μm、寬約35μm,周期35μm。掌握了全部的輪廓數(shù)據(jù),對(duì)這有著微結(jié)構(gòu)的塑料片,我們有了全面而精確的認(rèn)識(shí),稱得上“看山還是山,看水還是水”。

超精密加工,是在傳統(tǒng)精密加工上的升級(jí),代表著先進(jìn)制造業(yè)的發(fā)展方向,也代表著一個(gè)國(guó)家制造業(yè)的最高水準(zhǔn),超精密的加工水準(zhǔn)必須匹配超高性能的檢測(cè)儀器,而以白光干涉為原理研制而成中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀,就像一雙能夠明察秋毫的眼鏡,幫助我們?cè)诔芗庸さ奈⒂^世界里,具備“看山還是山,看水還是水”的本領(lǐng)。


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