什么是MEMS制造技術，它的作用又是什么

MEMS是一種制造技術，諸如杠桿、齒輪、活塞、發(fā)動機甚至蒸汽機都是由MEMS制造的。相比于芯片制造業(yè)越來越被普通人熟知，而與芯片采用相同工藝的MEMS技術顯得有些神秘。什么是MEMS？

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）稱為微機電系統(tǒng)，或微電子和微機電系統(tǒng)，是為利用機械手段實現(xiàn)特定功能而建造的小型化結構和設備。MEMS最早是在1960年代提出的，但是直到1980年代才商業(yè)化。其實在現(xiàn)實生活中MEMS技術實際離普通人很近，它包括MEMS麥克風，微馬達，mems光學傳感器，MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀等產(chǎn)品，在手機、智能穿戴等產(chǎn)品中有著廣泛應用。

而像手機的麥克風，攝像頭，加速度計等產(chǎn)品，都使用了體積非常小、功能非常全的MEMS產(chǎn)品，它可以融微集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路為一體。雖然許多MEMS采用類似于集成電路的批量加工技術進行制造和封裝，但關鍵的區(qū)別在于它們有與周圍環(huán)境互動的移動或動態(tài)部件。當需要精度、低功耗操作和緊湊的外形尺寸時，會使用不同的MEMS設計。

MEMS系統(tǒng)被設計為具有感知、響應和影響環(huán)境的能力。作為一個完整系統(tǒng)的一部分，它們意義非凡。MEMS被部署在許多應用中，包括傳感、檢測、轉換、執(zhí)行和其他需要小尺寸性能和精度的物理技術。它們可以在許多市場的技術中找到，包括工業(yè)、醫(yī)療、電信、航空航天和國防。它們的物理尺寸可以從幾微米到幾毫米不等。

MEMS應用可以采用不同的基本技術，包括壓阻、壓電、微流體、光調(diào)制、熱膨脹或其他方法來響應系統(tǒng)的輸入。由于MEMS設計涉及電子學、力學和光學，這些技術的工程和制造是高度跨學科的，并應用不同的專業(yè)知識。使用MEMS技術設計一個器件，除了需要電子制造和裝配工藝外，還需要電子和機械工程、材料科學、化學、流體學、光學和射頻設計方面的工作知識。現(xiàn)在，MEMS已經(jīng)被大規(guī)模應用，這些設備需要可靠的批量生產(chǎn)。

可見MEMS技術的持續(xù)創(chuàng)新為許多市場帶來了顛覆性的技術，從支持自主車輛和感知機器人的激光雷達系統(tǒng)，到下一代電信天線中的可轉向波束成形相控陣，以及用于通信、導航、金融和云計算的芯片級原子鐘。 未來隨著5G技術的普及和物聯(lián)網(wǎng)的廣泛應用，MEMS器件的應用場景越來越多，需求越來越旺盛。

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