EDS能譜儀的原理及應(yīng)用

1. 設(shè)備型號(hào)

Horiba 7021-H

2. 原理

EDS能譜儀，是一種分析物質(zhì)元素的儀器，常與掃描電鏡或者透射電鏡聯(lián)用，在真空室下用電子束轟擊樣品表面，激發(fā)物質(zhì)發(fā)射出特征x射線，根據(jù)特征x射線的波長(zhǎng)，定性與半定量分析元素周期表中B-U的元素，EDS可提供樣品表面之微區(qū)定性或半定量之成份元素分析，以及特定區(qū)域之point、line scan、mapping分析。

3. 分析數(shù)據(jù)注意點(diǎn)

主要用于元素的定性分析；

能譜儀能夠分析原子序數(shù)大于5的元素，波譜儀可以分析原子序數(shù)從4～92之間的所有元素；

EDS的分析方式有點(diǎn)分析、線分析和面分析；點(diǎn)分析得到一點(diǎn)的所有元素；線分析每次對(duì)的一條線做一種元素分析，多次掃描得到所有元素的線分布；面分析對(duì)一個(gè)面內(nèi)的所有元素分析，測(cè)得元素含量是測(cè)量面范圍的平均值；

EDS做微區(qū)分析時(shí)所激發(fā)的體積為10um3 左右；

EDS常常與SEM結(jié)合使用，可對(duì)目標(biāo)部位進(jìn)行點(diǎn)、線、面形貌掃描和成分分析；

檢測(cè)極限：0.1%，只能做半定量分析，精度一般在1%到5%，深度一般為1~5微米。

4. 應(yīng)用領(lǐng)域及分析案例

（1）燈珠來料元素檢測(cè)

（2）芯片結(jié)構(gòu)分析

（3）支架結(jié)構(gòu)分析

（4）鋰電池材料元素分布

（5）其他方面應(yīng)用

EDS能譜儀，物質(zhì)元素分析，成分分析，定性定量測(cè)試，元素測(cè)試，SEM/EDS掃描電鏡，能譜分析，EDS能譜點(diǎn)線面mapping。

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