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電子發(fā)燒友網(wǎng)>今日頭條>《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》硅片清洗技術(shù)的演變

《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》硅片清洗技術(shù)的演變

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半導(dǎo)體晶圓的加工工藝中,對晶圓邊緣磨削是非常重要的一環(huán)。晶錠材料被切割成晶圓后會形成銳利邊緣,有棱角、毛刺、崩邊,甚至有小的裂縫或其它缺陷,邊緣的表面也比較粗糙。而晶圓的構(gòu)成材料如Si、Ge
2019-09-17 16:41:44

新興的半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展趨勢

文/編譯楊碩王家農(nóng)在網(wǎng)絡(luò)無處不在、IP無處不在和無縫移動連接的總趨勢下,國際半導(dǎo)體技術(shù)路線圖(ITRS)項目組在他們的15年半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展預(yù)測中認(rèn)為,隨著技術(shù)和體系結(jié)構(gòu)推進(jìn)“摩爾定律”和生產(chǎn)力極限
2019-07-24 08:21:23

晶圓清洗、酸洗、腐蝕機(jī)

蘇州晶淼半導(dǎo)體公司 是集半導(dǎo)體、LED、太陽能電池、MEMS、硅片硅料、集成電路于一體的非標(biāo)化生產(chǎn)相關(guān)清洗腐蝕設(shè)備的公司 目前與多家合作過 現(xiàn)正在找合作伙伴 !如果有意者 請聯(lián)系我們。
2016-08-17 16:08:23

有關(guān)半導(dǎo)體工藝的問題

circuit technique )(百度百科)電子集成技術(shù)工藝方法分為以硅平面工藝為基礎(chǔ)的單片集成電路、以薄膜技術(shù)為基礎(chǔ)的薄膜集成電路和以絲網(wǎng)印刷技術(shù)為基礎(chǔ)的厚膜集成電路。 半導(dǎo)體工藝是集成電路工藝
2009-09-16 11:51:34

有需要半導(dǎo)體設(shè)備的嗎

蘇州晶淼有限公司專業(yè)制作半導(dǎo)體設(shè)備、LED清洗腐蝕設(shè)備、硅片清洗、酸洗設(shè)備等王經(jīng)理***/13771786452
2016-07-20 11:58:26

氮化鎵功率半導(dǎo)體技術(shù)解析

氮化鎵功率半導(dǎo)體技術(shù)解析基于GaN的高級模塊
2021-03-09 06:33:26

淺析化合物半導(dǎo)體技術(shù)

、日本等國家和組織啟動了至少12項研發(fā)計劃,總計投入研究經(jīng)費達(dá)到6億美元。借助各國***的大力支持,自從1965年第一支GaAs晶體管誕生以來,化合物半導(dǎo)體器件的制造技術(shù)取得了快速的進(jìn)步,為化合物半導(dǎo)體
2019-06-13 04:20:24

芯片制造-半導(dǎo)體工藝制程實用教程

芯片制造-半導(dǎo)體工藝制程實用教程學(xué)習(xí)筆記[/hide]
2009-11-18 11:44:51

蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備

其中國市場的開發(fā)、推廣。公司自有產(chǎn)品包括半導(dǎo)體前段、后段、太陽能、平板顯示FPD、LED、MEMS應(yīng)用中的各種濕制程設(shè)備,例如硅片濕法清洗、蝕刻,硅芯硅棒濕法化學(xué)處理,液晶基板清洗,LED基片顯影脫膜等
2015-04-02 17:26:21

蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司招賢納士

實驗操作和樣品分析;4、熟悉DOE方法和品質(zhì)管理理念;5、具有良好的團(tuán)隊合作精神和進(jìn)取精神。二、半導(dǎo)體工藝開發(fā)工程師職責(zé)描述:1、負(fù)責(zé)硅工藝、第三代半導(dǎo)體材料的清洗、濕法腐蝕、去膠等設(shè)備提升和工藝開發(fā)
2016-10-26 17:05:04

蘇州晶淼半導(dǎo)體 非標(biāo)清洗設(shè)備

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2016-08-17 16:38:15

超聲波清洗機(jī),蘇州晶淼半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

蘇州晶淼半導(dǎo)體設(shè)備有限公司位于蘇州工業(yè)園區(qū),致力于半導(dǎo)體集成電路、光電子器件、分立器件、傳感器和光通信、LED等行業(yè),中高端濕法腐蝕、清洗設(shè)備、CDS集中供液系統(tǒng)、通風(fēng)柜/廚等一站式的解決方案
2020-05-26 10:43:05

適合用于射頻、微波等高頻電路的半導(dǎo)體材料及工藝情況介紹

,元素半導(dǎo)體指硅、鍺單一元素形成的半導(dǎo)體,化合物指砷化鎵、磷化銦等化合物形成的半導(dǎo)體。隨著無線通信的發(fā)展,高頻電路應(yīng)用越來越廣,今天我們來介紹適合用于射頻、微波等高頻電路的半導(dǎo)體材料及工藝情況。
2019-06-27 06:18:41

采用艾邁斯半導(dǎo)體的ASV技術(shù)有什么特點?

怎樣通過ASV技術(shù)去生成準(zhǔn)確的3D深度圖?采用艾邁斯半導(dǎo)體的ASV技術(shù)有什么特點?
2021-07-09 06:25:46

半導(dǎo)體設(shè)備治具清洗爐-新工藝

半導(dǎo)體設(shè)備用治具的清洗爐(Vacuum Bake Cleaner)●該設(shè)備用于去除附著在 MOCVD 托盤和零部件上的沉積物(GaN、AlN 等)。采用潔凈氣體的干式清洗法,因此不需要濕法后道處
2022-01-14 14:21:00

專為半導(dǎo)體光伏光電行業(yè)設(shè)計PFA清洗槽酸缸PFA方槽

PFA清洗槽一、產(chǎn)品介紹PFA清洗槽又叫PFA方槽、酸缸。是即四氟清洗桶后的升級款,專為半導(dǎo)體光伏光電等行業(yè)設(shè)計的,一體成型。主要用于浸泡、清洗帶芯片硅片電池片的花籃。由于PFA的特點抗清洗溶液
2022-09-01 13:25:23

半導(dǎo)體清洗工藝

雜質(zhì)玷污對器件性能的影響 硅片表面雜質(zhì)玷污的來源 有機(jī)溶劑的去污作用 堿在化學(xué)清洗中的作用 。。。。。。 。。。。。。
2010-08-20 16:23:5947

盛美半導(dǎo)體發(fā)表十二英寸單片兆聲波清洗設(shè)備的

盛美半導(dǎo)體發(fā)表了十二英寸單片兆聲波清洗設(shè)備的最新工藝,本工藝用于45nm技術(shù)及以下節(jié)點的十二英寸高端硅片清洗
2011-03-22 09:17:541310

半導(dǎo)體清洗工藝全集

半導(dǎo)體清洗工藝全集 晶圓清洗半導(dǎo)體制造典型工序中最常應(yīng)用的加工步驟。就硅來說,清洗操作的化學(xué)制品和工具已非常成熟,有多年廣泛深入的研究以及重要的工業(yè)設(shè)備的支持。所
2011-12-15 16:11:44186

清洗步驟貫穿半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈,濕法清洗占據(jù)市場90%份額

半導(dǎo)體清洗設(shè)備直接影響集成電路的成品率,是貫穿半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的重要環(huán)節(jié),在單晶硅片制造、光刻、刻蝕、沉積等關(guān)鍵制程及封裝工藝中均為必要環(huán)節(jié),約占所有芯片制造工序步驟30%以上,且隨著節(jié)點的推進(jìn),清洗工序的數(shù)量和重要性會繼續(xù)提升,清洗設(shè)備的需求量也將相應(yīng)增加。
2020-09-28 14:53:285659

全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)馬太效應(yīng)明顯,濕法清洗占據(jù)市場90%份額

半導(dǎo)體清洗設(shè)備直接影響集成電路的成品率,是貫穿半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的重要環(huán)節(jié),在單晶硅片制造、光刻、刻蝕、沉積等關(guān)鍵制程及封裝工藝中均為必要環(huán)節(jié),約占所有芯片制造工序步驟30%以上,且隨著節(jié)點的推進(jìn),清洗工序的數(shù)量和重要性會繼續(xù)提升,清洗設(shè)備的需求量也將相應(yīng)增加。
2020-12-08 14:37:347429

半導(dǎo)體單晶拋光片清洗工藝分析

通過對 Si , CaAs , Ge 等半導(dǎo)體材料單晶拋光片清洗工藝技術(shù)的研究 , 分析得出了半導(dǎo)體材料單晶拋光片的清洗關(guān)鍵技術(shù)條件。首先用氧化性溶液將晶片表面氧化 , 然后用一定的方法將晶片表面
2021-04-08 14:05:3949

向65nm工藝提升中的半導(dǎo)體清洗技術(shù)

由于器件尺寸由90mm技術(shù)節(jié)點向 65mm節(jié)點的縮進(jìn),在前道工藝的濕法清洗中去除0.1um及更小尺寸的污染粒子正在成為一種新的技術(shù)挑戰(zhàn)。評價了在向65mm技術(shù)節(jié)點的邁進(jìn)中,器件的新結(jié)構(gòu)、新材料對于
2021-04-12 09:49:4743

臭氧在半導(dǎo)體晶片清洗工藝中的應(yīng)用

近年來,在半導(dǎo)體工業(yè)中,逐漸確立了將臭氧運(yùn)用于晶圓清洗工藝中,這主要是利用了臭氧在水相中氧化有機(jī)污染物和金屬污染物的性能。
2021-09-27 17:39:032287

半導(dǎo)體清洗科技材料系統(tǒng)

書籍:《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》 文章:下一代半導(dǎo)體清洗科技材料系統(tǒng) 編號:JFKJ-21-188 作者:炬豐科技 摘要 本文簡要概述了面臨的挑戰(zhàn)晶圓清洗技術(shù)正面臨著先進(jìn)的silicon技術(shù)向非平面
2023-04-23 11:03:00246

半導(dǎo)體工藝—晶片清洗工藝評估

摘要 本文介紹了半導(dǎo)體晶片加工中為顆粒去除(清洗)工藝評估而制備的受污染測試晶片老化的實驗研究。比較了兩種晶片制備技術(shù):一種是傳統(tǒng)的濕法技術(shù),其中裸露的硅晶片浸泡在充滿顆粒的溶液中,然后干燥;另一種
2022-03-04 15:03:502588

半導(dǎo)體制造CMP工藝后的清洗技術(shù)

技術(shù)需要更嚴(yán)格地管理半導(dǎo)體芯片中使用的材料的變化、平坦度和缺陷的問題,盡管用于嵌入和平坦化的基本工藝保持不變。在此,從CMP裝置的基本變遷,特別闡述CMP清洗的基本技術(shù)。
2022-03-21 13:39:083886

半導(dǎo)體制造過程中的新一代清洗技術(shù)

VLSI制造過程中,晶圓清洗球定義的重要性日益突出。這是當(dāng)晶片表面存在的金屬、粒子等污染物對設(shè)備的性能和產(chǎn)量(yield)產(chǎn)生深遠(yuǎn)影響時的門。在典型的半導(dǎo)體制造工藝中,清潔工藝工藝前后反復(fù)進(jìn)行
2022-03-22 14:13:163579

半導(dǎo)體制造CMP工藝后的清洗技術(shù)

使用。在本文中,為了在半導(dǎo)體制造中的平坦化工藝,特別是在形成布線層的工程中實現(xiàn)CMP后的高清潔面,關(guān)于濕法清洗所要求的功能和課題,關(guān)于適用新一代布線材料時所擔(dān)心的以降低腐蝕及表面粗糙度為焦點的清洗技術(shù),介紹了至今為止的成果和課題,以及今后的展望。
2022-04-20 16:11:292429

濕法清洗中去除硅片表面的顆粒

半導(dǎo)體制造中的清洗過程中使用的酸和堿溶液研究了硅片表面的顆粒去除。
2022-07-05 17:20:171682

探秘半導(dǎo)體制造中單片式清洗設(shè)備

隨著集成電路制造工藝不斷進(jìn)步,半導(dǎo)體器件的體積正變得越來越小,這也導(dǎo)致了非常微小的顆粒也變得足以影響半導(dǎo)體器件的制造和性能,槽式清洗工藝已經(jīng)不能滿足需求,單片式設(shè)備可以利用很少的藥液達(dá)到槽式工藝不能
2022-08-15 17:01:354061

半導(dǎo)體清洗設(shè)備對比分析

半導(dǎo)體清洗設(shè)備通過不斷將各種污染雜質(zhì)控制在工藝要求范圍內(nèi),提高芯片的良率和性能,是芯片良率的重要保障。隨著芯片技術(shù)的不斷提升,清洗設(shè)備的要求也越來越高。根據(jù)結(jié)構(gòu)清洗設(shè)備可分為單片清洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備、批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設(shè)備、洗刷器等。
2022-10-24 17:15:284284

一文讀懂半導(dǎo)體硅片

單晶硅錠經(jīng)過切片、研磨、蝕刻、拋光、外延(如有)、鍵合(如有)、清洗工藝步驟,制造成為半導(dǎo)體硅片。在生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,半導(dǎo)體硅片需要盡可能地減少晶體缺陷,保持極高的平整度與表面潔凈度,以保證集成電路或半導(dǎo)體器件的可靠性。
2022-11-02 09:26:274255

半導(dǎo)體制造中的清洗工藝技術(shù)改進(jìn)方法

隨著晶體管尺寸的不斷微縮,晶圓制造工藝日益復(fù)雜,對半導(dǎo)體濕法清洗技術(shù)的要求也越來越高。
2023-08-01 10:01:561639

非接觸除塵設(shè)備在半導(dǎo)體清洗領(lǐng)域的應(yīng)用

今天我們來聊一下非接觸除塵設(shè)備在半導(dǎo)體清洗領(lǐng)域的應(yīng)用,說起半導(dǎo)體清洗,是指對晶圓表面進(jìn)行無損傷清洗,用于去除半導(dǎo)體硅片制造、晶圓制造和封裝測試每個步驟中可能產(chǎn)生的雜質(zhì),避免雜質(zhì)影響芯片良率和性能。而非接觸精密除塵設(shè)備可以大幅提升芯片良率,為企業(yè)實現(xiàn)降本增效的目的。
2023-09-04 18:47:39787

華林科納PFA管在半導(dǎo)體清洗工藝中的卓越應(yīng)用

隨著科技的不斷發(fā)展,半導(dǎo)體技術(shù)在全球范圍內(nèi)得到了廣泛應(yīng)用。半導(dǎo)體設(shè)備在制造過程中需要經(jīng)過多個工藝步驟,而每個步驟都需要使用到各種不同的材料和設(shè)備。其中,華林科納的PFA管在半導(dǎo)體清洗工藝中扮演著
2023-10-16 15:34:34258

半導(dǎo)體硅片行業(yè)深度報告.zip

半導(dǎo)體硅片行業(yè)深度報告
2023-01-13 09:06:496

在濕臺工藝中使用RCA清洗技術(shù)

半導(dǎo)體制造業(yè)依賴復(fù)雜而精確的工藝來制造我們需要的電子元件。其中一個過程是晶圓清洗,這個是去除硅晶圓表面不需要的顆?;驓埩粑锏倪^程,否則可能會損害產(chǎn)品質(zhì)量或可靠性。RCA清洗技術(shù)能有效去除硅晶圓表面的有機(jī)和無機(jī)污染物,是一項標(biāo)準(zhǔn)的晶圓清洗工藝。
2023-12-07 13:19:14235

半導(dǎo)體清洗工藝介紹

根據(jù)清洗介質(zhì)的不同,目前半導(dǎo)體清洗技術(shù)主要分為濕法清洗和干法清洗兩種工藝路線
2024-01-12 23:14:23769

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