--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
- XY平臺 尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同
- Z軸行程 100mm,電動
- Z向掃描范圍 10mm
- Z向分辨率 0.1nm
- 粗糙度RMS重復性 0.005nm
--- 產(chǎn)品詳情 ---
中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀設計簡潔、用途多樣,能夠測量不同的材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、表面粗糙度和波度,涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的形貌測量應用。
白光干涉儀應用操作步驟:
1. 將樣品放置在夾具上,確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定;
2. 將夾具放置在載物臺上;
3. 檢查電機連接和環(huán)境噪聲,確認儀器狀態(tài);
4. 使用操縱桿調(diào)節(jié)三軸位置,將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋;
5. 完成掃描設置和命名等操作;
6. 點擊開始測量(進入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會);
7. 進入數(shù)據(jù)處理界面,點擊“去除外形",采用默認參數(shù),點擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓;
8. 進入分析工具模塊,點擊參數(shù)分析,直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù),點擊右側(cè)參數(shù)標準可更換參數(shù)標準,增刪參數(shù)類型;
9. 如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù),則需提取剖面線;
10. 進入數(shù)據(jù)處理界面,點擊“提取剖面"圖標,選擇合適方向剖面線進行剖面輪廓提??;
11. 進入分析工具界面,點擊“參數(shù)分析"圖標,點擊右側(cè)參數(shù)標準,勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù),即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。
白光干涉儀的應用場景一:超光滑的弧形表面
上圖是一款旋轉(zhuǎn)拋物面零件,用于微小位移和角度檢測,其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征,針對其凹面弧形的檢測需求,現(xiàn)有的顯微測量儀器中,原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡,均分別因有損測量或分辨率不夠的原因而排除,只有以白光干涉為原理的光學3D表面輪廓儀,能同時滿足無損、超高分辨率、耐高反等條件。
針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求,中圖儀器SuperView W1的復合型EPSI重建算法,解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,只需要確定起點和終點,即可自動掃描, 重建其超光滑的表面區(qū)域,不見一絲重疊縫隙。
白光干涉儀的應用場景二:粗糙的特征表面
上圖是涂覆在電極棒的催化劑表面全景圖,整體尺寸在7mm左右,中心的催化劑區(qū)域呈低反射率特點,而圓環(huán)外呈高反射率特點,整體的輪廓尺寸和微觀的輪廓起伏反映了涂覆的質(zhì)量。
根據(jù)客戶精度要求,可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法,并可依據(jù)表面粗糙程度,選擇不同步距進行速度調(diào)節(jié)。
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