--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
- 臺階高測量 準確度0.3%,重復性0.08% 1σ
- 粗糙度RMS重復性 0.005nm
- 水平調(diào)整 ±5°手動
- 光學ZOOM 0.5×,(0.75×,1×可選)
- 影像系統(tǒng) 1024×1024
--- 產(chǎn)品詳情 ---
表面粗糙度跟形狀誤差、波紋度等參數(shù)一樣,是表面微觀幾何特征,它們共同構(gòu)成了物體的表面原始形貌特征。在納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質(zhì)量高要求的領(lǐng)域中,可以說只有白光干涉儀才能達到微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。
中圖儀器推出的SuperView W1白光干涉儀分辨率0.1μm,重復性0.1%,應用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。
產(chǎn)品功能
1)具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能;
2)具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能,粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別;
3)具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能;
4)具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能;
5)具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能;
6)具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能;
7)具備word、excel等數(shù)據(jù)報表導出功能。
目前,SuperView W1白光干涉儀主要用來測量3C玻璃、硅晶片、藍寶石襯底等表面粗糙度(微納米、納米級別)、MEMS微機電系統(tǒng)臺階高、金屬件表面磨損和摩擦情況以及超光滑加工表面粗糙度、平整度、劃痕等。
SuperView W1白光干涉儀不僅可用于硅晶片、光學透鏡、窗口片、藍寶石表鏡、手機屏等表面粗糙度檢測儀,還可對LED襯底、紅外觀察窗口、超精密工件、微機電系統(tǒng)等進行超精密檢測,在民用領(lǐng)域也有著廣泛應用。
未來,中圖儀器仍將繼續(xù)專注于精密計量儀器和精密檢測設備的技術(shù)發(fā)展,自強不息、知難而上,用現(xiàn)代化的技術(shù)手段大幅提高測量效率和精度,圖中國儀器技術(shù)之強大,鑄中國產(chǎn)業(yè)提升之利器!
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