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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術(shù)企業(yè)，致力于全尺寸鏈精密測(cè)量?jī)x器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。

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光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x，微米級(jí)3d掃描測(cè)量?jī)x

型號(hào)： SuperView W3

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • 原理 非接觸、三維白光掃描干涉儀

--- 產(chǎn)品詳情 ---

現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，表面三維微觀形貌的測(cè)量能更真實(shí)地反映零件表面的特征以及衡量表面的質(zhì)量。SuperView W3微米級(jí)3d掃描測(cè)量?jī)x可以達(dá)到納米級(jí)的檢測(cè)精度，它利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)，是用于樣品表面微觀形貌檢測(cè)、快速獲得被測(cè)工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)的光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x器。

 

中圖儀器三維輪廓光學(xué)掃描測(cè)量?jī)x，讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單示例圖1

 

產(chǎn)品功能

1）具備各種類(lèi)型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測(cè)量功能；

2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測(cè)功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級(jí)別；

3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；

4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；

5）具備自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)測(cè)量、自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量、自動(dòng)拼接測(cè)量等自動(dòng)化功能；

6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能。

 

技術(shù)指標(biāo)

中圖儀器三維輪廓光學(xué)掃描測(cè)量?jī)x，讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單示例圖2

 

SuperView W3微米級(jí)3d掃描測(cè)量?jī)x廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類(lèi)精密工件表面質(zhì)量高要求的領(lǐng)域中，可以說(shuō)只有3d非接觸式光學(xué)輪廓儀才能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測(cè)量。

 

半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)ｍ?xiàng)功能

* 同步支持6、8、12英寸三種規(guī)格的晶圓片測(cè)量，并可一鍵實(shí)現(xiàn)三種規(guī)格的真空吸盤(pán)的自動(dòng)切換以適配不同尺寸晶圓；

* 具備研磨工藝后減薄片的粗糙度自動(dòng)測(cè)量功能，能夠一鍵測(cè)量數(shù)十個(gè)小區(qū)域的粗糙度求取均值；

* 具備劃片工藝中激光鐳射開(kāi)槽后的槽道深寬輪廓數(shù)據(jù)測(cè)量功能，能夠一鍵實(shí)現(xiàn)槽道深寬相關(guān)的面和多條剖面線(xiàn)的數(shù)據(jù)測(cè)量與分析；

* 具備晶圓制造工藝中鍍膜臺(tái)階高度的測(cè)量，覆蓋從1nm~1mm的測(cè)量范圍，實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。


 

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