--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
- 穩(wěn)頻精度 0.05nm
--- 產(chǎn)品詳情 ---
雙頻干涉儀在單頻干涉儀基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀,克服了單頻激光干涉儀的弱點,即使是光強大幅度衰減的情況下,仍可得到合適的電信號。SJ6000雙頻激光干涉儀除了環(huán)境適應(yīng)能力好,還可以進行動態(tài)高速測量,選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。
系統(tǒng)組件
1、激光主機
準確——激光頻率穩(wěn)定度高,可溯源至國家標準。
SJ6800激光主機由DC12V電源適配器供電,輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。
支持USB通信接口,可與計算機高速通信,兼容USB3.0接口和USB2.0接口。
配備的SCSI接口,可提供外部觸發(fā)信號輸入和正交信號輸出,以及其它擴展應(yīng)用。
2、EC20環(huán)境補償單元
可靠——激光干涉儀能對空氣溫度、濕度、氣壓和材料溫度進行自動環(huán)境補償。
激光干涉儀是以激光波長為載體,測量過程中環(huán)境條件(空氣溫度、濕度、氣壓)的變化會影響激光波長。
EC20環(huán)境補償單元可實時檢測環(huán)境條件的變化,同事進行激光波長補償。
EC20環(huán)境補償單元可連接三個材料溫度探頭,監(jiān)測被測對象其材料的溫度變化,同事進行材料的熱膨脹補償。
EC20環(huán)境補償單元采用低功耗設(shè)計,無需額外的供電電源,其工作電源集成于USB接口。
為了方便現(xiàn)場使用,EC20環(huán)境補償單元配備磁性掛板,溫度探頭的標準線長5m,亦可定制線長。
3、三腳架及便攜箱
其他組件
1、光學(xué)鏡組
(1)線性鏡組
應(yīng)用于機器軸的定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等;也可用于機器軸的動態(tài)測量分析。
(2)角度鏡組
應(yīng)用于機器軸的角擺測量和轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度測量;亦可以用于轉(zhuǎn)軸的角速度和角加速度的動態(tài)測量分析。
(3)直線度鏡組
應(yīng)用于導(dǎo)軌或機器軸的直線度測量,包含水平方向和垂直方向的直線度。
(4)平面度鏡組
按照國標方式進行平面度的測量和分析,其平面度羈絆長度可調(diào)。
(5)線性附件-輕型線性鏡組
輕型線性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡,其中小角錐反射鏡重量僅為8g,可以直接在被測物體上,有效降低線性反射鏡過重帶來的影響。主要應(yīng)用于先行反射鏡的重量可能影響到被測軸系的機械性能或精度;線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場合;負載敏感的動態(tài)測量。
(6)大角錐反射鏡
應(yīng)用于機器Z軸方向的直線度測量或垂直度測量,起反射光束的作用。
(7)垂直度鏡組
應(yīng)用于兩條相互垂直的機器軸的垂直度測量場合。
2、其他附件
(1)線性附件-可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡
能把水平射出的激光俯仰偏轉(zhuǎn)25°以上,結(jié)合線性鏡組可用于傾斜機床、三坐標對角線的測量。
(2)磁性表座
科隙蛛在鋼鐵表面,通過轉(zhuǎn)動手柄,來轉(zhuǎn)動里面的磁鐵,特別適用于機床和導(dǎo)軌上面的安裝。配合安裝柱使用,可將安裝柱鎖緊在磁性表座上。
(3)直線度基板
用于機器Z軸的垂直度測量,需配合磕掉轉(zhuǎn)向鏡和大角錐反射鏡使用。
(4)輔助安裝塊
用于鏡組不能直接安裝的場合。配合磁性表座使用;也可以直接結(jié)合安裝柱使用。
(5)垂直度安裝附件
在測量機器Z軸垂直度時,用于安裝90°轉(zhuǎn)向鏡。
(6)夾緊孔座
用于鏡組的安裝和夾持,可緊固各鏡組在安裝柱上。
(7)90°轉(zhuǎn)向鏡
應(yīng)用于機器Z軸方向的直線度測量或垂直度測量,起偏轉(zhuǎn)光束的作用。
(8)安裝柱
主要用于夾緊孔座的安裝定位,可鎖在磁性表座或輔助安裝塊上。安裝柱可以相互對接延長,以便增加夾緊孔座的可調(diào)范圍。
激光干涉儀采用的光源是雙頻氦氖激光器。其精度高,抗干擾能力強,空氣湍流、熱波動等影響甚微,因此降低了對環(huán)境條件的要求,使它不僅能用于實驗室,還可在車間條件下測量大距離用。
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