--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
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--- 產(chǎn)品詳情 ---
光學(xué)器件,例如各種光學(xué)鏡片和玻璃,屬于超精密加工的產(chǎn)物,因此其表面質(zhì)量等級很高。一般的非接觸式光學(xué)影像方法沒有辦法客服其高透明度,中圖儀器SuperViewW1光學(xué)表面3D輪廓儀器為光學(xué)鏡片和玻璃的表面質(zhì)量檢測提供了標(biāo)準(zhǔn)解決方案。
SuperViewW1光學(xué)表面3D輪廓儀器結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。
可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中;
可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
產(chǎn)品性能
縱向掃描:≤10.3mm,與選用物鏡相關(guān)
掃描幀速:50FPS/s
粗糙度重復(fù)性:0.005nm(依據(jù)ISO 25178-2012)
光學(xué)分辨率:0.4μm~3.7μm,與選用物鏡相關(guān)
至大點(diǎn)數(shù):1048576(標(biāo)準(zhǔn))
臺階測量:準(zhǔn)確度≤0.3%,重復(fù)性≤0.08%1σ
應(yīng)用示例
【玻璃表面臺階檢測】
下圖為透明玻璃表面鍍的一層金屬膜,需要測膜層的厚度,由于其非透明的特性,薄膜測厚儀無法進(jìn)行測量,而由于其膜層厚度精度在納米級別,接觸式的臺階儀和其它的非接觸式光學(xué)儀器也存在測量誤差較大的風(fēng)險(xiǎn),而以光學(xué)干涉原理為基礎(chǔ)研制成的中圖儀器白光干涉儀,以其亞納米級別的測量精度,則可對該膜層厚度進(jìn)行準(zhǔn)確測量。
對兩臺階高的檢測
上圖是利用軟件的自動面臺階高檢測功能對重建的3D圖像兩臺階高進(jìn)行檢測,從數(shù)值可知,兩臺階面平均高度差為82nm,而至大高度差90nm,至小高度差為78nm。
【玻璃屏檢測】
玻璃屏常見于我們?nèi)粘K玫闹悄墚a(chǎn)品中,例如智能手機(jī)、智能手表,還有平板電腦等,為了獲得更好的觸屏體驗(yàn),需要對玻璃屏的表面粗糙度和微觀輪廓進(jìn)行檢測。以手機(jī)玻璃屏為例,說明光學(xué)3D表面輪廓儀在其中的應(yīng)用:
玻璃屏表面粗糙度檢測
如上圖,選取的測量區(qū)域發(fā)現(xiàn)了一條寬6um,深6nm的肉眼無法觀測到的劃痕,玻璃屏表面的粗糙度在1nm附近。
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