激光干涉儀可以將線性測量結果生成的誤差補償表，該表涵蓋了各個測量點的補償值，運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。
SJ6000激光干涉儀標準裝置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成，可滿足0~80m范圍內的線性測量。其中，線性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等。線性鏡組可以針對不同方向的運動軸而搭建相應的測量光路。
直線度測量參數(shù)
系統(tǒng)主要組件
1、激光主機
準確——激光頻率穩(wěn)定度高，可溯源至國家標準。
主機由DC12V電源適配器供電，輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。
支持USB通信接口，可與計算機高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。
配備的SCSI接口，可提供外部觸發(fā)信號輸入和正交信號輸出，以及其它擴展應用。
2、EC20環(huán)境補償單元
可靠——對空氣溫度、濕度、氣壓和材料溫度進行自動環(huán)境補償。
激光干涉儀是以激光波長為載體，測量過程中環(huán)境條件（空氣溫度、濕度、氣壓）的變化會影響激光波長。
EC20環(huán)境補償單元可實時檢測環(huán)境條件的變化，同事進行激光波長補償。
EC20環(huán)境補償單元可連接三個材料溫度探頭，監(jiān)測被測對象其材料的溫度變化，同事進行材料的熱膨脹補償。
EC20環(huán)境補償單元采用低功耗設計，無需額外的供電電源，其工作電源集成于USB接口。
為了方便現(xiàn)場使用，EC20環(huán)境補償單元配備磁性掛板，溫度探頭的標準線長5m，亦可定制線長。
3、三腳架及便攜箱
