--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
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--- 產(chǎn)品詳情 ---
SuperViewW3大尺寸三維微觀形貌測量儀具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能,其中表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能,粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別。是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。
SuperViewW3大尺寸三維微觀形貌測量儀的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為300*300mm,真空吸附盤能檢測12寸以下尺寸的Wafer;氣浮隔振設(shè)計&吸音材質(zhì)隔離設(shè)計,確保儀器在千級車間中能夠有效濾除地面和聲波的震動干擾,穩(wěn)定工作。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號:SuperView W3
產(chǎn)品名稱:白光干涉儀
原理:非接觸、三維白光掃描干涉儀
掃描裝置:長范圍,Z軸納米光柵控制
物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×)
物鏡座:5孔電動物鏡塔臺(標(biāo)準(zhǔn))
測量陣列:1024*1024,工業(yè)級相機
Z軸:100mm行程,納米位移閉環(huán)反饋
安全性:系統(tǒng)集成緊急制動功能
樣品臺:0.1nm電動,俯仰傾斜±6°,電動調(diào)節(jié),XY行程300*300,尺寸450*450mm,亞微米閉環(huán)反饋
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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SuperViewW3大尺寸三維微觀形貌測量儀測量是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量。
產(chǎn)品功能
1) 樣件測量能力:滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量;
2) 自動測量功能:自動單區(qū)域測量功能、自動多區(qū)域測量功能、自動拼接測量功能;
3) 編程測量功能:可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,結(jié)合自動測量功能,實現(xiàn)一鍵測量;
4) 數(shù)據(jù)處理功能:提供位置調(diào)整、去噪、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5) 數(shù)據(jù)分析功能:提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。
6) 批量分析功能:可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,針對同類型參數(shù)實現(xiàn)一鍵批量分析;
半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)m棶a(chǎn)品功能
1)同步支持6、8、12英寸三種規(guī)格的晶圓片測量,并可一鍵實現(xiàn)三種規(guī)格的真空吸盤的自動切換以適配不同尺寸晶圓;
2)具備研磨工藝后減薄片的粗糙度自動測量功能,能夠一鍵測量數(shù)十個小區(qū)域的粗糙度求取均值;
3)具備晶圓制造工藝中鍍膜臺階高度的測量,覆蓋從1nm~1mm的測量范圍,實現(xiàn)高精度測量;
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