--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
- 注釋 如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
--- 產(chǎn)品詳情 ---
WD4000晶圓厚度粗糙度微納三維形貌測量儀通過非接觸測量,將晶圓的三維形貌進行重建,強大的測量分析軟件穩(wěn)定計算晶圓厚度,TTV,BOW、WARP、在高效測量測同時有效防止晶圓產(chǎn)生劃痕缺陷。它采用白光光譜共焦多傳感器和白光干涉顯微測量雙向掃描技術(shù),完成非接觸式掃描并建立表面3D層析圖像,實現(xiàn)Wafer厚度、翹曲度、平面度、線粗糙度、總體厚度變化(TTV)及分析反映表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。
WD4000晶圓厚度粗糙度微納三維形貌測量儀自動測量Wafer厚度、表面粗糙度、三維形貌、單層膜厚、多層膜厚。
1、使用光譜共焦對射技術(shù)測量晶圓Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等參數(shù),同時生成Mapping圖;
2、采用白光干涉測量技術(shù)對Wafer表面進行非接觸式掃描同時建立表面3D層析圖像,顯示2D剖面圖和3D立體彩色視圖,高效分析表面形貌、粗糙度及相關(guān)3D參數(shù);
3、基于白光干涉圖的光譜分析儀,通過數(shù)值七點相移算法計算,達到亞納米分辨率測量表面的局部高度,實現(xiàn)膜厚測量功能;
4、紅外傳感器發(fā)出的探測光在Wafer不同表面反射并形成干涉,由此計算出兩表面間的距離(即厚度),可適用于測量BondingWafer的多層厚度。該傳感器可用于測量不同材料的厚度,包括碳化硅、藍寶石、氮化鎵、硅等。
WD4000晶圓厚度粗糙度微納三維形貌測量儀兼容不同材質(zhì)不同粗糙度、可測量大翹曲wafer、測量晶圓雙面數(shù)據(jù)更準確??蓪崿F(xiàn)砷化鎵、氮化鎵、磷化鎵、鍺、磷化銦、鈮酸鋰、藍寶石、硅、碳化硅、玻璃不同材質(zhì)晶圓的量測。
應(yīng)用領(lǐng)域
可廣泛應(yīng)用于襯底制造、晶圓制造、及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、顯示面板、MEMS器件等超精密加工行業(yè)??蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的厚度、粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
測量功能
1、厚度測量模塊:厚度、TTV(總體厚度變化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等;
2、顯微形貌測量模塊:粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、面積、體積等。
3、提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能。其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
4、提供幾何輪廓分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等;粗糙度分析包括國際標準ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù);結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷。
產(chǎn)品優(yōu)勢
1、非接觸厚度、三維維納形貌一體測量
集成厚度測量模組和三維形貌、粗糙度測量模組,使用一臺機器便可完成厚度、TTV、LTV、BOW、WARP、粗糙度、及三維形貌的測量。
2、高精度厚度測量技術(shù)
(1)采用高分辨率光譜共焦對射技術(shù)對Wafer進行高效掃描。
(2)搭配多自由度的靜電放電涂層真空吸盤,晶圓規(guī)格最大可支持至12寸。
(3)采用Mapping跟隨技術(shù),可編程包含多點、線、面的自動測量。
3、高精度三維形貌測量技術(shù)
(1)采用光學(xué)白光干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和高精度3D重建算法,Z向分辨率高可到0.1nm;
(2)隔振設(shè)計降低地面振動和空氣聲波振動噪聲,獲得高測量重復(fù)性。
(3)機器視覺技術(shù)檢測圖像Mark點,虛擬夾具擺正樣品,可對多點形貌進行自動化連續(xù)測量。
4、大行程高速龍門結(jié)構(gòu)平臺
(1)大行程龍門結(jié)構(gòu)(400x400x75mm),移動速度500mm/s。
(2)高精度花崗巖基座和橫梁,整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、可靠。
(3)關(guān)鍵運動機構(gòu)采用高精度直線導(dǎo)軌導(dǎo)引、AC伺服直驅(qū)電機驅(qū)動,搭配分辨率0.1μm的光柵系統(tǒng),保證設(shè)備的高精度、高效率。
5、操作簡單、輕松無憂
(1)集成XYZ三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前準工作。
(2)具備雙重防撞設(shè)計,避免誤操作導(dǎo)致的物鏡與待測物因碰撞而發(fā)生的損壞情況。
(3)具備電動物鏡切換功能,讓觀察變得快速和簡單。
應(yīng)用場景
1、無圖晶圓厚度、翹曲度的測量
通過非接觸測量,將晶圓上下面的三維形貌進行重建,強大的測量分析軟件穩(wěn)定計算晶圓厚度、粗糙度、總體厚度變化(TTV),有效保護膜或圖案的晶片的完整性。
2、無圖晶圓粗糙度測量
Wafer減薄工序中粗磨和細磨后的硅片表面3D圖像,用表面粗糙度Sa數(shù)值大小及多次測量數(shù)值的穩(wěn)定性來反饋加工質(zhì)量。在生產(chǎn)車間強噪聲環(huán)境中測量的減薄硅片,細磨硅片粗糙度集中在5nm附近,以25次測量數(shù)據(jù)計算重復(fù)性為0.046987nm,測量穩(wěn)定性良好。
部分技術(shù)規(guī)格
品牌 | CHOTEST中圖儀器 |
型號 | WD4000系列 |
測量參數(shù) | 厚度、TTV(總體厚度變化)、BOW、WARP、LTV、粗糙度等 |
可測材料 | 砷化鎵、氮化鎵、磷化鎵、鍺、磷化銦、 鈮酸鋰、藍寶石、硅、碳化硅、氮化鎵、玻璃、外延材料等 |
厚度和翹曲度測量系統(tǒng) | |
可測材料 | 砷化鎵 ;氮化鎵 ;磷化 鎵;鍺;磷化銦;鈮酸鋰;藍寶石;硅 ;碳化硅 ;玻璃等 |
測量范圍 | 150μm~2000μm |
掃描方式 | Fullmap面掃、米字、自由多點 |
測量參數(shù) | 厚度、TTV(總體厚度變 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、線粗糙度 |
三維顯微形貌測量系統(tǒng) | |
測量原理 | 白光干涉 |
干涉物鏡 | 10X(2.5X、5X、20X、50X,可選多個) |
可測樣品反射率 | 0.05%~100 |
粗糙度RMS重復(fù)性 | 0.005nm |
測量參數(shù) | 顯微形貌 、線/面粗糙度、空間頻率等三大類300余種參數(shù) |
膜厚測量系統(tǒng) | |
測量范圍 | 90um(n= 1.5) |
景深 | 1200um |
最小可測厚度 | 0.4um |
紅外干涉測量系統(tǒng) | |
光源 | SLED |
測量范圍 | 37-1850um |
晶圓尺寸 | 4"、6"、8"、12" |
晶圓載臺 | 防靜電鏤空真空吸盤載臺 |
X/Y/Z工作臺行程 | 400mm/400mm/75mm |
懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。
如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
為你推薦
-
復(fù)雜零件尺寸三坐標檢測儀2024-10-23 15:24
產(chǎn)品型號:Mars系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
國產(chǎn)2.5次元影像尺寸檢測儀2024-10-23 15:18
產(chǎn)品型號:Novator系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
白光干涉3D表面形貌測量儀2024-10-23 15:16
產(chǎn)品型號:SuperViewW系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
輪廓形狀粗糙度測量儀2024-10-23 10:41
產(chǎn)品型號:SJ5800系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
共聚焦3D成像檢測顯微鏡2024-10-23 10:39
產(chǎn)品型號:VT6000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
中圖儀器高精度閃測儀器2024-10-23 10:37
產(chǎn)品型號:VX8000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
材料3D觀察測量共聚焦顯微鏡2024-10-22 16:59
產(chǎn)品型號:VT6000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
大空間適用性臺式掃描電鏡2024-10-22 16:54
產(chǎn)品型號:CEM3000 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
大范圍激光跟蹤高精度測量儀2024-10-21 14:29
產(chǎn)品型號:GTS系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。 -
高精度多功能光柵測長儀2024-10-21 14:27
產(chǎn)品型號:SJ5100系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
-
展會預(yù)告|金秋十月,中圖儀器邀您共赴蘇州雙展2024-10-19 08:02
-
機床測頭在雙主軸數(shù)控車床中的應(yīng)用2024-10-19 08:02
當前數(shù)控車床的數(shù)字化、智能化發(fā)展已成為制造業(yè)的必然趨勢。在這一過程中,機床測頭作為數(shù)控車床的“加工之眼,質(zhì)量之源”,發(fā)揮著重要作用。機床測頭能夠?qū)崟r、高精度地采集加工過程中的各種數(shù)據(jù),為數(shù)控車床的智能化控制和優(yōu)化提供可靠依據(jù),推動著數(shù)控車床向數(shù)字化、網(wǎng)絡(luò)化、智能化的方向不斷發(fā)展??蛻舯尘罢憬彻?,主要生產(chǎn)氣動元件及線軌產(chǎn)品等,現(xiàn)場使用的是臺灣和日本生產(chǎn)的中 -
剖析激光干涉測量技術(shù)應(yīng)用:在多領(lǐng)域展現(xiàn)精準測量魅力2024-10-17 11:18
-
激光跟蹤儀可以測量什么?有哪些特點?2024-10-15 14:27
-
從“制造”到“智造”:中圖光學(xué)測量儀器的進階與應(yīng)用2024-10-12 14:48
在當今全球化和科技快速發(fā)展的時代,制造業(yè)正經(jīng)歷著從傳統(tǒng)的“制造”模式向智能化的“智造”模式的深刻轉(zhuǎn)變。消費者對產(chǎn)品質(zhì)量和個性化的要求越來越高,產(chǎn)品的更新?lián)Q代速度加快,傳統(tǒng)的制造模式難以滿足這些需求。例如,在半導(dǎo)體芯片制造領(lǐng)域,隨著芯片制程的不斷縮小,對芯片表面的平整度和粗糙度等微觀幾何特征的要求越來越高。同時,3C電子行業(yè)的快速發(fā)展也促使產(chǎn)品更新?lián)Q代加速,對 -
測量表面粗糙度:白光共聚焦顯微鏡的優(yōu)點2024-10-12 14:47
表面粗糙度作為衡量表面質(zhì)量的關(guān)鍵指標之一,其測量的準確性和可靠性直接影響到產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。在當今科技飛速發(fā)展的時代,隨著半導(dǎo)體制造、3C電子、光學(xué)加工等行業(yè)的不斷發(fā)展,對表面粗糙度測量儀器的要求也越來越高。SuperViewWT3000白光共聚焦顯微鏡(復(fù)合型光學(xué)3D表面輪廓儀)應(yīng)運而生,它集成了白光干涉儀和共聚焦顯微鏡兩種技術(shù),為表面粗糙度測量提供了更精874瀏覽量 -
影像儀如何全自動測量?有哪些應(yīng)用場景2024-10-11 14:35
影像儀全自動測量可以通過以下步驟實現(xiàn):一、準備工作1.選擇合適的影像儀:根據(jù)測量需求選擇具有高精度、高分辨率、穩(wěn)定性能好的影像儀,確保其能夠滿足測量任務(wù)的要求。2.安裝與校準:正確安裝影像儀,并進行校準操作,包括像素校準、長度校準、角度校準等,以確保測量結(jié)果的準確性。3.準備被測物體:將被測物體清潔干凈,放置在影像儀的測量平臺上,并確保其穩(wěn)定固定,不會在測量212瀏覽量 -
使用激光跟蹤儀提升碼垛機器人精度2024-09-30 16:37
-
灣區(qū)行|張鵬:在“痛并快樂著”的科研道路上不斷前行2024-09-26 08:03
-
CEM3000系列臺式掃描電鏡:臺式電鏡領(lǐng)域的又一“中國神話”2024-09-26 08:03
-
輪廓測長|中圖儀器SJ51系列測長機實現(xiàn)高精度二維長度測量2024-01-25 15:37
-
顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準捕捉三維形貌2024-01-25 15:34
-
激光干涉儀檢測機床的方法(以線性檢測為例)2023-10-27 15:21
-
納米級測量儀器:窺探微觀世界的利器2023-10-11 13:49
-
微納共聚焦顯微鏡:檢測摩擦學(xué)研究的重難點2023-09-22 09:13
-
先進封裝廠關(guān)于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
飛拍測量|Novator系列影像儀大幅提升半導(dǎo)體模具測量效率2023-09-06 14:23
-
數(shù)控機床測頭提升新能源汽車部件加工良品率2023-09-06 14:20
-
上傳時間:2024-10-14 11:43
0次下載 -
上傳時間:2024-10-14 11:41
0次下載 -
上傳時間:2024-05-28 10:04
0次下載 -
上傳時間:2024-05-28 10:00
0次下載 -
上傳時間:2024-05-28 09:58
0次下載