--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
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--- 產(chǎn)品詳情 ---
SuperViewW系列輪廓測量儀也叫白光干涉儀,是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的3D三維測量儀器之一。在同等放大倍率下,測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。3D光學輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域,除了3D光學輪廓測量儀,其它儀器達不到檢測的精度要求。
部分參數(shù)
產(chǎn)品型號:SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱:光學3D表面輪廓儀
Z向分辨率:0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復(fù)性:0.1nm
表面形貌重復(fù)性:0.1nm
臺階測量:重復(fù)性:0.1% 1σ;準確度:0.75%
主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、快速高效
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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優(yōu)點
一是非接觸高精密測量,不會劃傷甚至破壞工件;
二是測量速度快,不必像探頭逐點進行測量;
三是不必作探頭半徑補正,光點位置就是工件表面測量的位置;
四是對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而精確的得到理想的測量結(jié)果。
SuperViewW系列輪廓測量儀的X/Y方向標準行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。而SuperViewW1-Pro 型號增大了測量范圍,可覆蓋8英寸及以下晶圓,定制版真空吸附盤,穩(wěn)定固定Wafer;氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計,隔離地面震動與噪聲干擾。
SuperViewW系列輪廓測量儀可廣泛應(yīng)用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。
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