真空等離子清洗機(jī)VP-R5真空腔體石英玻璃材質(zhì)，腔體容積5L，兩路進(jìn)氣通道，進(jìn)氣量可調(diào)，流量實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，數(shù)顯真空檢測(cè)，實(shí)時(shí)觀察自動(dòng)泄壓動(dòng)態(tài)，中英文操作系統(tǒng)，觸摸屏控制，頻率13.56MHz，能對(duì)材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用，滿功率運(yùn)行30分鐘，腔體溫度不高于32℃，不損傷樣品，適用于微流控芯片PDMS鍵合、ITO導(dǎo)電玻璃、石墨烯、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理。
