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VT6000激光共聚焦掃描顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。它是以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
在相同物鏡放大的條件下,激光共聚焦掃描顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細,橫向分辨率更高。如同為微納檢測的利器,共聚焦顯微鏡卻是與白光干涉儀有著諸多不同,如果用一個字眼來形容,那么白光干涉儀是“文”,而共聚焦顯微鏡是“武”。白光擅長亞納米級超光滑表面的檢測,追求檢測數(shù)值的精準;而共聚焦擅長微納級粗糙輪廓的檢測,雖在檢測分辨率上略遜一籌,但能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。
VT6000激光共聚焦掃描顯微鏡圖片
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