TC-Wafer是將高精度溫度傳感器鑲嵌在晶圓表面，對晶圓表面的溫度進(jìn)行實(shí)時測量。通過晶圓的測溫點(diǎn)了解特定位置晶圓的真實(shí)溫度，以及晶圓整體的溫度分布，同還可以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備控溫過程中晶圓發(fā)生的溫度變化，獲得升溫、降溫以及恒溫過程期間的溫度溫度數(shù)據(jù)，從而了解半導(dǎo)體設(shè)備的溫度均勻度。
- 傳輸通道數(shù)量可定制;
- 優(yōu)異的軟件功能，可用圖形及顏色顯示溫度分布狀況;
- 數(shù)據(jù)可儲存調(diào)用;
- 可提供溫度曲線圖，方便直觀的看到溫度變化趨勢
- 真空環(huán)境下，溫度傳感器保持高精度和良好的穩(wěn)定性
測溫范圍：-50℃至1200℃
熱電偶類型：K型
精度：±0.5℃±0.1%讀數(shù)
線徑：0.127、0.254mm
測溫點(diǎn)數(shù)：1~68個
傳感器引線：可定制
工藝：焊接設(shè)計(jì)
絕緣材料：石英、Teflon、二氧化硅、陶瓷、PA
測溫探頭接口：DB37、微型插座
晶圓材質(zhì)：硅片，藍(lán)寶石，碳化硅等（基材形狀和尺寸可定制）
晶圓尺寸：50mm，100mm，150mm，200mm，300mm
真空貫通帶：聚酰亞胺扁平電纜，大氣壓可達(dá)10-7Torr（長度由客戶指定）
TC-Wafer晶圓溫度測量系統(tǒng)應(yīng)用于許多行業(yè)，包括快速熱處理 (RTP)、快速熱退火 (RTA)、曝光后烘烤 (PEB)、化學(xué)氣相沉積 (CVD)、物理氣相沉積 (PVD)、ION 等應(yīng)用注入、太陽能電池和許多其他熱驅(qū)動工藝。智測電子具有高精度溫度測量與控制技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)，支持產(chǎn)品定制
