資料介紹
為了獲得優(yōu)質(zhì)的碲鋅鎘單晶體,采用工控機和組態(tài)王6?53開發(fā)了一種晶體生長參數(shù)的檢測優(yōu)化系統(tǒng).實現(xiàn)對晶體生長爐內(nèi)各個溫區(qū)的溫度、籽晶桿的旋轉(zhuǎn)方式及各個時段的旋轉(zhuǎn)速度、布里奇垂直下降速度、坩堝位置及溫度等參數(shù)的實時檢測、記錄和存儲.根據(jù)檢測數(shù)據(jù)可對晶體生長質(zhì)量及生長缺陷做出分析,為改進晶體生長方案、提高晶體生長質(zhì)量和優(yōu)化控制參數(shù)提供可靠的依據(jù).
關(guān)鍵詞:晶體生長;參數(shù)檢測;參數(shù)優(yōu)化;組態(tài)王6?53
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