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提出了一種基于橫向塞曼激光器的新的滾轉(zhuǎn)角測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)在已有技術(shù)的基礎(chǔ)上,將測(cè)量放大倍率又?jǐn)U展了4 倍,從而大大提高了滾轉(zhuǎn)角的測(cè)量精度。系統(tǒng)以橫向塞曼激光器出射的正交線偏振光作為測(cè)量光,首先經(jīng)1/4 波片將線偏振光變成微橢圓偏振光(即進(jìn)行微橢偏化) ,然后測(cè)量光通過作為傳感器的1/ 2 波片,由直角反射鏡將光路折回,使測(cè)量光再次通過作為傳感器的1/ 2 波片。由于直角反射鏡提供了合理的坐標(biāo)變換,所以使得測(cè)量光在兩次通過1/ 2 波片時(shí),偏振方向的改變被疊加了,相當(dāng)于被測(cè)量的滾轉(zhuǎn)角放大了4 倍。最后測(cè)量光經(jīng)檢偏器合成,再用光電探測(cè)器接收。由測(cè)量光的相位變化可以求出工作臺(tái)的滾轉(zhuǎn)角變化。在整周期內(nèi),測(cè)量光的相位變化與滾轉(zhuǎn)角成非線性關(guān)系,但在特定的角度上會(huì)出現(xiàn)線性很好的滾轉(zhuǎn)角測(cè)量靈敏度倍增區(qū)。采用這種方法,測(cè)量放大倍率可以達(dá)到200 倍,能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的滾轉(zhuǎn)角測(cè)量。使用分辨率為01003°的相位計(jì),滾轉(zhuǎn)角的測(cè)量分辨率可達(dá)到011″。
關(guān)鍵詞: 滾轉(zhuǎn)角; 靈敏度倍增; 偏振方向改變; 橫行塞曼激光器
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