愛德萬推出全新晶圓用MVM-SEM測試系統(tǒng)E3310

　　全球測試設(shè)備廠愛德萬測試（Advantest）宣佈推出專為晶圓所開發(fā)的全新多視角量測掃描式電子顯微鏡（MVM-SEM）系統(tǒng)E3310，這套系統(tǒng)可在各種晶圓上量測精細接腳間距圖樣，以Advantest的專利電子束掃描技術(shù)，實現(xiàn)高精確性。

　　E3310承襲了Advantest光罩用多視角量測掃描式電子顯微鏡E3630的先進技術(shù)，可為下一代設(shè)備提供超越群倫的晶圓掃描和量測功能，而其高穩(wěn)定性、高精確性的特色，更成為開發(fā)1Xnm節(jié)點製程與22nm以上節(jié)點製程晶片量產(chǎn)的理想解決方案，有助于縮短製程週期時間，提升晶片品質(zhì)。

　　過去半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，始終遵循著摩爾定律，但在今日邁向更小製程發(fā)展時仍不免遇上技術(shù)瓶頸。FINFET （鰭狀場效電晶體）等3D電晶體技術(shù)的發(fā)展，可望銜接22nm節(jié)點與后續(xù)1Xnm節(jié)點量產(chǎn)之間的鴻溝。Advantest全新E3310正可提供高穩(wěn)定性、高精確性的3D量測功能，滿足發(fā)展下一代技術(shù)之需。

　　E3310的多重偵測器配置設(shè)定，可在1Xnm 節(jié)點穩(wěn)定進行高精確性量測。此外，它還提供專利偵測演算法，可對目前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)全面採行的3D FinFET架構(gòu)進行量測。E3310具備了高精確性定位平臺、電荷控制功能、降低污染技術(shù)，即使在掃描式電子顯微鏡高度放大的情況下，仍能穩(wěn)定進行全自動量測。支援的材料除了硅晶圓之外，還包括AlTiC、石英、碳化硅晶圓等，每種類型所支援的尺寸從150mm到300mm不等。

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Keysight是德+34410A 數(shù)字萬用表

是德(原安捷倫) 34410A 是一款高性能數(shù)字萬用表，可提供高速的觸發(fā)功能，可提供滿足現(xiàn)在和未來需求的多種功能。34410A 同時也是一款具有雙模顯示及 Keysight(原Agilent

2023-08-04 14:12:22

Keysight是德/安捷倫34470A臺式萬用表

，可選 GPIB啟用 BenchVue 軟件Keysight 34470A 7 位高性能 Truevolt 數(shù)字萬用表提供更高水平的精度、速度和分辨率?？焖佾@得更多洞

2023-08-01 09:55:58

SEM5000交付中國農(nóng)科院作科所重大平臺中心

場發(fā)射掃描電鏡SEM5000正式上線使用左側(cè)設(shè)備為鎢燈絲掃描電鏡SEM3200右側(cè)設(shè)備為場發(fā)射掃描電鏡SEM5000近日，國儀量子場發(fā)射掃描電鏡SEM5000交付中國農(nóng)科院作科所重大

2023-07-31 23:30:26

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A-SEM附加的頻譜發(fā)射模板的測試要求

今天我們繼續(xù)學習Additional spectrumemission mask，附加的頻譜發(fā)射模板。什么是附加？其實我們大概兩年前，在一起來學5G終端射頻測試標準（A-MPR-1）中已經(jīng)學習過Additional（附加）的概念，A-MPR是附加的最大輸出功率回退。A-SEM是附加的頻譜發(fā)射模板。

2023-07-31 11:14:56

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