SuperView W1白光干涉儀——微觀形貌測量利器

近年來，在新興技術(shù)的高速發(fā)展和強(qiáng)力推動(dòng)下，超精密加工技術(shù)不斷發(fā)展和進(jìn)步。微機(jī)電系統(tǒng)、微光學(xué)元件等微觀結(jié)構(gòu)的制造與發(fā)展，對微結(jié)構(gòu)表面形貌測量的高精度和高可靠性等要求日漸提高。表面形貌不僅對接觸部件的機(jī)械與物理特性產(chǎn)生影響，而且也會(huì)影響非接觸表面的特性，如光學(xué)器件的反射等等。對結(jié)構(gòu)的測量是對結(jié)構(gòu)加工的先決條件和質(zhì)量保證，所以表面形貌的測量在材料和工程零部件的屬性和功能方面起著至關(guān)重要的作用，由此對于微納結(jié)構(gòu)的測量方法精度要求越來越高，表面形貌測量技術(shù)在技術(shù)成熟方面和應(yīng)用范圍方面都得到了發(fā)展。

表面形貌測量廣泛應(yīng)用于刀具檢測、精密加工、材料科學(xué)、電子工業(yè)、生物醫(yī)學(xué)等相關(guān)領(lǐng)域，尤其是在超精密加工、微機(jī)電系統(tǒng)制造領(lǐng)域，隨著超精密加工技術(shù)的發(fā)展，微結(jié)構(gòu)由結(jié)構(gòu)簡單、形狀規(guī)則的工件逐漸擴(kuò)展到結(jié)構(gòu)復(fù)雜、形狀不規(guī)則的工件，對微結(jié)構(gòu)進(jìn)行高精度、高可靠性表面形貌測量越來越重要。微結(jié)構(gòu)的表面三維形貌會(huì)對器件的可靠性和使用性能產(chǎn)生影響，同時(shí)也可反映工件加工的好壞，以改善工件質(zhì)量。因此，表面測量技術(shù)對保證產(chǎn)品的高性能和高穩(wěn)定性具有重要意義。

當(dāng)前現(xiàn)有的微結(jié)構(gòu)測量方法可以分為非光學(xué)和光學(xué)測量方法。其中光學(xué)測量方法以精度高、效率高、無損害等優(yōu)點(diǎn)得到廣泛應(yīng)用。光學(xué)測量方法精度上已經(jīng)達(dá)到納米級別，我們今天介紹的就是一種簡單快速、適用性廣的表面形貌測量方法——白光干涉測量法。

白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分威兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。

SuperView W1白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。