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電子發(fā)燒友網(wǎng)>今日頭條>SiC基芯片背面通孔刻蝕工藝研究的優(yōu)勢是什么

SiC基芯片背面通孔刻蝕工藝研究的優(yōu)勢是什么

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干法刻蝕與濕法刻蝕各有什么利弊?

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刻蝕工藝流程和步驟 酸性蝕刻和堿性蝕刻的區(qū)別

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14.1 SiC基本性質(zhì)(上)_clip002

SiC
jf_75936199發(fā)布于 2023-06-24 19:13:16

14.1 SiC基本性質(zhì)(上)_clip001

SiC
jf_75936199發(fā)布于 2023-06-24 19:12:34

英特爾在芯片中實現(xiàn)背面供電

英特爾表示,它是業(yè)內(nèi)第一個在類似產(chǎn)品的測試芯片上實現(xiàn)背面供電的公司,實現(xiàn)了推動世界進入下一個計算時代所需的性能。PowerVia 將于 2024 年上半年在英特爾 20A 工藝節(jié)點上推出,正是英特爾業(yè)界領(lǐng)先的背面供電解決方案。它通過將電源路由移動到晶圓的背面,解決了面積縮放中日益嚴重的互連瓶頸問題。
2023-06-20 15:39:06326

半導(dǎo)體八大工藝刻蝕工藝-干法刻蝕

離子束蝕刻 (Ion beam etch) 是一種物理干法蝕刻工藝。由此,氬離子以約1至3keV的離子束輻射到表面上。由于離子的能量,它們會撞擊表面的材料。晶圓垂直或傾斜入離子束,蝕刻過程是絕對
2023-06-20 09:48:563989

基于SiC器件的電力電子變流器研究

基于SiC器件的電力電子變流器研究
2023-06-20 09:36:23410

半導(dǎo)體前端工藝刻蝕——有選擇性地刻蝕材料,以創(chuàng)建所需圖形

在半導(dǎo)體制程工藝中,有很多不同名稱的用于移除多余材料的工藝,如“清洗”、“刻蝕”等。如果說“清洗”工藝是把整張晶圓上多余的不純物去除掉,“刻蝕工藝則是在光刻膠的幫助下有選擇性地移除不需要的材料,從而創(chuàng)建所需的微細圖案。半導(dǎo)體“刻蝕工藝所采用的氣體和設(shè)備,在其他類似工藝中也很常見。
2023-06-15 17:51:571176

PCB做了盲埋,還有必要再做盤中工藝

時,,另一次是其它非盤中的電鍍。按照IPC-A-6012里面的規(guī)定,最小的過孔銅二級是18um,平均銅是20um,三級是最小20um,平均銅是25um。如果按照IPC二級標準,使用1/3OZ
2023-06-14 16:33:40

重點闡述濕法刻蝕

光刻工藝后,在硅片或晶圓上形成了光刻膠的圖形,下一步就是刻蝕。
2023-06-08 10:52:353314

英特爾PowerVia技術(shù)率先實現(xiàn)芯片背面供電,突破互連瓶頸

英特爾率先在產(chǎn)品級芯片上實現(xiàn)背面供電技術(shù),使單元利用率超過90%,同時也在其它維度展現(xiàn)了業(yè)界領(lǐng)先的性能。 英特爾宣布在業(yè)內(nèi)率先在產(chǎn)品級測試芯片上實現(xiàn)背面供電(backside power
2023-06-06 16:22:00314

SiC外延工藝基本介紹

外延層是在晶圓的基礎(chǔ)上,經(jīng)過外延工藝生長出特定單晶薄膜,襯底晶圓和外延薄膜合稱外延片。其中在導(dǎo)電型碳化硅襯底上生長碳化硅外延層制得碳化硅同質(zhì)外延片,可進一步制成肖特基二極管、MOSFET、 IGBT 等功率器件,其中應(yīng)用最多的是4H-SiC 型襯底。
2023-05-31 09:27:092823

晶圓背面研磨(Back Grinding)工藝簡介

經(jīng)過前端工藝處理并通過晶圓測試的晶圓將從背面研磨(Back Grinding)開始后端處理。背面研磨是將晶圓背面磨薄的工序,其目的不僅是為了減少晶圓厚度,還在于聯(lián)結(jié)前端和后端工藝以解決前后兩個工藝
2023-05-22 12:44:23691

晶圓背面研磨(Back Grinding)工藝簡介

經(jīng)過前端工藝處理并通過晶圓測試的晶圓將從背面研磨(Back Grinding)開始后端處理。背面研磨是將晶圓背面磨薄的工序,其目的不僅是為了減少晶圓厚度,還在于聯(lián)結(jié)前端和后端工藝以解決前后兩個工藝
2023-05-12 12:39:18759

半導(dǎo)體圖案化工藝流程之刻蝕簡析

圖案化工藝包括曝光(Exposure)、顯影(Develope)、刻蝕(Etching)和離子注入等流程。
2023-04-28 11:24:271073

PCB Layout中焊盤和過孔的設(shè)計標準及工藝要求

  主要講述 PCB Layout 中焊盤和過孔的設(shè)計標準及工藝要求,包括 BGA 焊盤。   一、 過孔的設(shè)置(適用于二層板,四層板和多層板)的設(shè)計   過線:制成板的最小孔徑定義取決于板厚度
2023-04-25 18:13:15

第三代半導(dǎo)體SIC產(chǎn)業(yè)鏈研究(下)

半導(dǎo)體SiC
電子發(fā)燒友網(wǎng)官方發(fā)布于 2023-04-25 17:57:10

第三代半導(dǎo)體SIC產(chǎn)業(yè)鏈研究(上)

半導(dǎo)體SiC
電子發(fā)燒友網(wǎng)官方發(fā)布于 2023-04-25 17:50:53

2023年國產(chǎn)汽車芯片SIC進展報告

芯片SiC
電子發(fā)燒友網(wǎng)官方發(fā)布于 2023-04-25 17:38:23

PCB工藝設(shè)計要考慮的基本問題

利。   工藝性設(shè)計要考慮:   a)自動化生產(chǎn)所需的傳送邊、定位、光學(xué)定位符號;   b)與生產(chǎn)效率有關(guān)的拼板;   c)與焊接合格率有關(guān)的元件封裝選型、基板材質(zhì)選擇、組裝方式、元件布局、焊盤設(shè)計、阻焊
2023-04-25 16:52:12

半導(dǎo)體工藝之金屬布線工藝介紹

本篇要講的金屬布線工藝,與前面提到的光刻、刻蝕、沉積等獨立的工藝不同。在半導(dǎo)體制程中,光刻、刻蝕工藝,其實是為了金屬布線才進行的。在金屬布線過程中,會采用很多與之前的電子元器件層性質(zhì)不同的配線材料(金屬)。
2023-04-25 10:38:49986

分享一下波峰焊與通回流焊的區(qū)別

技術(shù)中的個工藝環(huán)節(jié)。通回流焊大的好處就是可以在發(fā)揮表面貼裝制造工藝的優(yōu)點的同時使用通插件來得到較好的機械連接強度。  通回流焊接工藝與波峰焊接工藝相比的優(yōu)勢  1、通回流焊接工藝首先是減少
2023-04-21 14:48:44

半導(dǎo)體刻蝕工藝簡述

等離子體均勻性和等離子體位置的控制在未來更加重要。對于成熟的技術(shù)節(jié)點,高的產(chǎn)量、低的成本是與現(xiàn)有生產(chǎn)系統(tǒng)競爭的關(guān)鍵因素。如果可以制造低成本的可靠的刻蝕系統(tǒng),從長遠來看,可以為客戶節(jié)省大量費用,有可能
2023-04-21 09:20:221347

半導(dǎo)體行業(yè)之刻蝕工藝介紹

壓力主要控制刻蝕均勻性和刻蝕輪廓,同時也能影響刻蝕速率和選擇性。改變壓力會改變電子和離子的平均自由程(MFP),進而影響等離子體和刻蝕速率的均勻性。
2023-04-17 10:36:431922

SiC MOSFET的溫度特性及結(jié)溫評估研究進展

的電氣參量;然后研究分析了功率器件結(jié)溫測量的各類方法, 并重點闡述了溫敏電參數(shù) (TSEP) 法在 SiC MOSFET 結(jié)溫評估領(lǐng)域的應(yīng)用前景, 從線性度、 靈敏度等 6 個方面對比分析了 各方
2023-04-15 10:03:061452

SiC在UPS中的應(yīng)用優(yōu)勢

我們聊了關(guān)于UPS的概念和分類,以及在線式UPS的三個工作模式。第三代寬禁帶半導(dǎo)體WBG的誕生和發(fā)展,讓很多使用Si基半導(dǎo)體器件的行業(yè)得到提升,今天我們就簡單地聊聊SiC在UPS中的應(yīng)用優(yōu)勢。
2023-04-14 14:35:10788

半導(dǎo)體行業(yè)之刻蝕工藝介紹

金屬刻蝕具有良好的輪廓控制、殘余物控制,防止金屬腐蝕很重要。金屬刻蝕時鋁中如果 有少量銅就會引起殘余物問題,因為Cu Cl2的揮發(fā)性極低且會停留在晶圓表面。
2023-04-10 09:40:542330

半導(dǎo)體行業(yè)之刻蝕工藝技術(shù)

DRAM柵工藝中,在多晶硅上使用鈣金屬硅化物以減少局部連線的電阻。這種金屬硅化物和多晶硅的堆疊薄膜刻蝕需要增加一道工藝刻蝕W或WSi2,一般先使用氟元素刻蝕鈞金屬硅化合物層,然后再使用氯元素刻蝕多晶硅。
2023-04-07 09:48:162198

SIC438BEVB-B

SIC438BEVB-B
2023-04-06 23:31:02

PCB生產(chǎn)商的通插裝工藝模板的印刷方法有幾種?

PCB生產(chǎn)商的通插裝工藝模板的印刷方法有幾種?
2023-04-06 16:12:14

PCB半工藝設(shè)計需要注意的細節(jié)問題

的藍牙模組/NBlot模組,這些不可或缺的通信模組可以像芯片一樣焊接到PCB板上。這些小載板特點為:尺寸較小、單元邊有整排金屬化半,通過這些金屬化半與母板以及元器件的引腳焊接到一起,行業(yè)內(nèi)對于這種
2023-03-31 15:03:16

SIC碳化硅MOSFET的制造工藝

介紹了SIC碳化硅材料的特性,包括材料結(jié)構(gòu),晶體制備,晶體生長,器件制造工藝細節(jié)等等。。。歡迎大家一起學(xué)習(xí)
2023-03-31 15:01:4817

攻克光子芯片制程中光刻、刻蝕、蒸鍍等多項核心工藝 陜西先進光子器件工程創(chuàng)新平臺全面啟用

陜西光電子先導(dǎo)院先進光子器件工程創(chuàng)新平臺3月30日在西安全面啟用。該平臺具備光子芯片制程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項核心工藝,將為光子產(chǎn)業(yè)項目提供產(chǎn)品研發(fā)、中試、檢測等全流程技術(shù)服務(wù),為光子產(chǎn)業(yè)各類
2023-03-30 19:09:10410

單晶硅刻蝕工藝流程

FinFET三維器件也可以用體硅襯底制作,這需要更好地控制單晶硅刻蝕工藝,如CD、深度和輪廓。
2023-03-30 09:39:182458

ROHM的SiC MOSFET和SiC SBD成功應(yīng)用于Apex Microtechnology的工業(yè)設(shè)備功率模塊系列

V SiC MOSFET“S4101”和650V SiC SBD“S6203”是以裸芯片的形式提供的,采用ROHM的這些產(chǎn)品將有助于應(yīng)用的小型化并提高模塊的性能和可靠性。另外
2023-03-29 15:06:13

板內(nèi)盤中設(shè)計狂飆,細密間距線路中招

,大概是12um(銅)+20um(盤中銅)+20um(非盤中銅),總的銅厚度在52um左右。從上面POFV的工藝流程中,我們可以看出第5工序有減銅的流程,但是通常銅厚不能減太多,大概在
2023-03-27 14:33:01

介紹芯片鍵合(die bonding)工藝

作為半導(dǎo)體制造的后工序,封裝工藝包含背面研磨(Back Grinding)、劃片(Dicing)、芯片鍵合(Die Bonding)、引線鍵合(Wire Bonding)及成型(Molding)等步驟。
2023-03-27 09:33:377222

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