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電子發(fā)燒友網(wǎng)>今日頭條>氧化硅濕蝕刻中枝晶狀缺陷的去除方法

氧化硅濕蝕刻中枝晶狀缺陷的去除方法

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2023-08-18 11:05:22586

工業(yè)產(chǎn)品表面缺陷檢測方法研究

制造業(yè)的全面智能化發(fā)展對工業(yè)產(chǎn)品的質(zhì)量檢測提出了新的要求。本文總結(jié)了機(jī)器學(xué)習(xí)方法在表面缺陷檢測中的研究現(xiàn)狀,表面缺陷檢測是工業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量檢測的關(guān)鍵部分。首先,根據(jù)表面特征的用途,從紋理特征、顏色特征
2023-08-17 11:23:29529

半導(dǎo)體蝕刻系統(tǒng)市場預(yù)計(jì)增長到2028年的120億美元,復(fù)合年增長率為2.5%

半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備是半導(dǎo)體製造過程中使用的設(shè)備。 化學(xué)溶液通過將晶片浸入化學(xué)溶液(蝕刻劑)中來選擇性地去除半導(dǎo)體晶片的特定層或區(qū)域,化學(xué)溶液溶解并去除晶片表面所需的材料。
2023-08-15 15:51:58319

化硅 SiC 可持續(xù)發(fā)展的未來 #碳化硅 #SiC #MCU #電子愛好者

工業(yè)控制化硅
Asd666發(fā)布于 2023-08-10 22:08:03

如何實(shí)現(xiàn)PCB蝕刻工藝中的均勻性呢?有哪些方法?

PCB蝕刻工藝中的“水池效應(yīng)”現(xiàn)象,通常發(fā)生在頂部,這種現(xiàn)象會導(dǎo)致大尺寸PCB整個(gè)板面具有不同的蝕刻質(zhì)量。
2023-08-10 18:25:431013

smt加工中出現(xiàn)焊接缺陷的原因有哪些?

給大家分享一下焊接缺陷的表現(xiàn)和出現(xiàn)原因:一、潤濕性差:潤濕性差表現(xiàn)在焊盤吃錫不好或元器件引腳吃錫不好。產(chǎn)生的原因:1、元器件引腳或焊盤已經(jīng)被氧化/污染;2、過低的再流
2023-08-10 18:00:05580

氧化鋅避雷器測試儀(直流)

 一、產(chǎn)品簡介HM6020氧化鋅避雷器測試儀是專門用于檢測10kV及以下電力系統(tǒng)用無間隙氧化鋅避雷器MOA閥電間接觸不良的內(nèi)部缺陷,測量MOA的直流參考電壓(U1mA)和0.75 U1mA
2023-08-08 11:01:16

刻蝕工藝流程和步驟 酸性蝕刻和堿性蝕刻的區(qū)別

刻蝕和蝕刻實(shí)質(zhì)上是同一過程的不同稱呼,常常用來描述在材料表面上進(jìn)行化學(xué)或物理腐蝕以去除或改變材料的特定部分的過程。在半導(dǎo)體制造中,這個(gè)過程常常用于雕刻芯片上的細(xì)微結(jié)構(gòu)。
2023-07-28 15:16:594140

微弧氧化電源_單脈沖陽極氧化電源_雙脈沖陽極氧化電源

陽極氧化的基礎(chǔ)上,利用弧光放電增強(qiáng)并激活在陽極上發(fā)生的反應(yīng),從而在以鋁、鈦、鎂金屬及其合金為材料的工件表面形成優(yōu)質(zhì)的強(qiáng)化陶瓷膜的方法。   
2023-07-21 16:01:32

PID箱恒溫恒試驗(yàn)箱

各種材料耐熱,耐寒,耐的性能??蓾M足以下標(biāo)準(zhǔn):GB2423.1-89低溫試驗(yàn)方法、GB2423.2-89高溫試驗(yàn)方法、GB2423-93試驗(yàn)D6交變濕熱試驗(yàn)方法
2023-07-17 11:37:20

深度解讀硅微納技術(shù)之的蝕刻技術(shù)

蝕刻是一種從材料上去除的過程。基片表面上的一種薄膜基片。當(dāng)掩碼層用于保護(hù)特定區(qū)域時(shí)在晶片表面,蝕刻的目的是“精確”移除未覆蓋的材料戴著面具。
2023-07-14 11:13:32183

AMEYA360:八英寸碳化硅成中外廠商必爭之地!#碳化硅

化硅
jf_81091981發(fā)布于 2023-07-13 11:39:58

深度解讀硅微納技術(shù)之蝕刻技術(shù)

蝕刻是一種從材料上去除的過程?;砻嫔系囊环N薄膜基片。當(dāng)掩碼層用于保護(hù)特定區(qū)域時(shí)在晶片表面,蝕刻的目的是“精確”移除未覆蓋的材料戴著面具。
2023-07-12 09:26:03190

微弧氧化電源_單脈沖陽極氧化電源_雙脈沖陽極氧化電源

陽極氧化的基礎(chǔ)上,利用弧光放電增強(qiáng)并激活在陽極上發(fā)生的反應(yīng),從而在以鋁、鈦、鎂金屬及其合金為材料的工件表面形成優(yōu)質(zhì)的強(qiáng)化陶瓷膜的方法。   
2023-07-11 14:28:29

750V微弧氧化電源,高壓脈沖電源,脈沖氧化電源設(shè)備

陽極氧化的基礎(chǔ)上,利用弧光放電增強(qiáng)并激活在陽極上發(fā)生的反應(yīng),從而在以鋁、鈦、鎂金屬及其合金為材料的工件表面形成優(yōu)質(zhì)的強(qiáng)化陶瓷膜的方法。   
2023-07-11 12:18:07

CMUT電容式微機(jī)械超聲換能器

on insulator,SOI)晶圓頂層硅制成的振動膜、在氧化硅蝕刻的真空腔、氧化硅隔離層、硅襯底和金屬鋁底電極。在外界大氣壓強(qiáng)的作用下,薄膜向下凹陷。CMUT 在工作狀態(tài)下需要在上下電極之間施加直流偏置電壓,通過提高薄膜應(yīng)力來提高靈敏度。
2023-06-28 09:23:491409

鋁等離子體蝕刻率的限制

都使用Cl基蝕刻化學(xué)物質(zhì)。當(dāng)在等離子體放電中分解時(shí),CCl為還原物質(zhì)提供了來源,并用于去除表面氧化物和Cl,與下面的Al反應(yīng)。
2023-06-27 13:24:11318

鍺、硅、SiNx薄膜的各向同性等離子體蝕刻

CMOS和MEMS制造技術(shù),允許相對于其他薄膜選擇性地去除薄膜,在器件集成中一直具有很高的實(shí)用性。這種化學(xué)性質(zhì)非常有用,但是當(dāng)存在其他材料并且也已知在HF中蝕刻時(shí),這就成了問題。由于器件的靜摩擦、緩慢的蝕刻速率以及橫向或分層膜的蝕刻速率降低,濕法化學(xué)也會有問題。
2023-06-26 13:32:441053

基于GAN的零缺陷樣本產(chǎn)品表面缺陷檢測

少的情況下實(shí)現(xiàn)高精度的檢測呢?目前有兩種方法,一種是小樣本學(xué)習(xí),另一種是用GAN。本文將介紹一種GAN用于無缺陷樣本產(chǎn)品表面缺陷檢測。
2023-06-26 09:49:01549

氧化誘導(dǎo)時(shí)間測試儀:原理、應(yīng)用與未來發(fā)展

氧化誘導(dǎo)時(shí)間測試儀是一種用于測定高分子材料氧化誘導(dǎo)時(shí)間的儀器。該儀器通過測量材料在高溫氧化環(huán)境中誘導(dǎo)期的時(shí)間,來評估材料的熱穩(wěn)定性和氧化誘導(dǎo)速度。本文將詳細(xì)介紹氧化誘導(dǎo)時(shí)間測試儀的基本原理、使用方法
2023-06-25 11:01:06511

利用氧化和“轉(zhuǎn)化-蝕刻”機(jī)制對富鍺SiGe的熱原子層蝕刻 引言

器件尺寸的不斷縮小促使半導(dǎo)體工業(yè)開發(fā)先進(jìn)的工藝技術(shù)。近年來,原子層沉積(ALD)和原子層蝕刻(ALE)已經(jīng)成為小型化的重要加工技術(shù)。ALD是一種沉積技術(shù),它基于連續(xù)的、自限性的表面反應(yīng)。ALE是一種蝕刻技術(shù),允許以逐層的方式從表面去除材料。ALE可以基于利用表面改性和去除步驟的等離子體或熱連續(xù)反應(yīng)。
2023-06-15 11:05:05526

遠(yuǎn)程等離子體選擇性蝕刻的新途徑

為了提供更優(yōu)良的靜電完整性,三維(3D)設(shè)計(jì)(如全圍柵(GAA)場電子晶體管(FET ))預(yù)計(jì)將在互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體技術(shù)中被采用。3D MOS架構(gòu)為蝕刻應(yīng)用帶來了一系列挑戰(zhàn)。雖然平面設(shè)備更多地依賴于各向異性蝕刻,但是3D設(shè)備在不同材料之間具有高選擇性,需要更多的各向異性蝕刻能力。
2023-06-14 11:03:531779

電鍍對印制PCB電路板的重要性有哪些?

使用對比反轉(zhuǎn)光敏聚合物干膜電鍍阻劑(最常使用的一種類型)時(shí),其負(fù)底片可以用相對便宜的激光印制機(jī)或繪圖筆制作。線路電鍍中陽極的耗銅量較少,在蝕刻過程中需要去除的銅也較少,因此降低了電解槽的分析和維護(hù)保養(yǎng)費(fèi)
2023-06-09 14:19:07

化硅原理用途及作用是什么

化硅原理用途及作用是什么 碳化硅是一種非金屬陶瓷材料,具有高溫、耐腐蝕、抗氧化、熱穩(wěn)定性好等優(yōu)良性能。它由碳素和硅素兩種元素組成,碳化硅由結(jié)構(gòu)單元SiC構(gòu)成,每個(gè)SiC結(jié)構(gòu)單元都由一個(gè)硅原子
2023-06-05 12:48:351971

化硅MOSFET什么意思

化硅MOSFET什么意思 碳化硅MOSFET是一種新型的功率半導(dǎo)體器件,其中"MOSFET"表示金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管,"碳化硅"指的是其材料。碳化硅
2023-06-02 15:33:151180

常見電路板焊接缺陷的種類及因素有哪些?

我們在PCB打樣的過程,經(jīng)常會出現(xiàn)很多焊接缺陷,從而影響電路板的合格率。那么,PCB電路板出現(xiàn)焊接缺陷的因素有哪些? 1、翹曲產(chǎn)生的焊接缺陷。電池線路板和元器件在焊接過程,由于電池線路板的上下
2023-06-01 14:34:40

化硅功率模組有哪些

化硅功率模組有哪些 碳化硅功率器件系列研報(bào)深受眾多專業(yè)讀者喜愛,本期為番外篇,前五期主要介紹了碳化硅功率器件產(chǎn)業(yè)鏈的上中下游,本篇將深入了解碳化硅功率器件的應(yīng)用市場,以及未來的發(fā)展趨勢,感謝各位
2023-05-31 09:43:20390

載體晶圓對蝕刻速率、選擇性、形貌的影響

等離子體蝕刻是氮化鎵器件制造的一個(gè)必要步驟,然而,載體材料的選擇可能會實(shí)質(zhì)上改變蝕刻特性。在小型單個(gè)芯片上制造氮化鎵(GaN)設(shè)備,通常會導(dǎo)致晶圓的成本上升。在本研究中,英思特通過鋁基和硅基載流子來研究蝕刻過程中蝕刻速率、選擇性、形貌和表面鈍化的影響。
2023-05-30 15:19:54452

淺談蝕刻工藝開發(fā)的三個(gè)階段

納米片工藝流程中最關(guān)鍵的蝕刻步驟包括虛擬柵極蝕刻、各向異性柱蝕刻、各向同性間隔蝕刻和通道釋放步驟。通過硅和 SiGe 交替層的剖面蝕刻是各向異性的,并使用氟化化學(xué)。優(yōu)化內(nèi)部間隔蝕刻(壓痕)和通道釋放步驟,以極低的硅損失去除 SiGe。
2023-05-30 15:14:111071

硅在氫氧化鈉和四甲基氫氧化銨中的溫度依賴性蝕刻

過去利用堿氫氧化物水溶液研究了硅的取向依賴蝕刻,這是制造硅中微結(jié)構(gòu)的一種非常有用的技術(shù)。以10M氫氧化鉀(KOH)為蝕刻劑,研究了單晶硅球和晶片的各向異性蝕刻過程,測量了沿多個(gè)矢量方向的蝕刻速率,用單晶球發(fā)現(xiàn)了最慢的蝕刻面。英思特利用這些數(shù)據(jù),提出了一種預(yù)測不同方向表面的傾角的方法
2023-05-29 09:42:40618

如何在蝕刻工藝中實(shí)施控制?

蝕刻可能是濕制程階段最復(fù)雜的工藝,因?yàn)橛泻芏嘁蛩貢绊?b class="flag-6" style="color: red">蝕刻速率。如果不保持這些因素的穩(wěn)定,蝕刻率就會變化,因而影響產(chǎn)品質(zhì)量。如果希望利用一種自動化方法來維護(hù)蝕刻化學(xué),以下是你需要理解的基本概念。
2023-05-19 10:27:31575

PCB常見的五種蝕刻方式

一般適用于多層印制板的外層電路圖形的制作或微波印制板陰板法直接蝕刻圖形的制作抗蝕刻 圖形電鍍之金屬抗蝕層如鍍覆金、鎳、錫鉛合金
2023-05-18 16:23:484918

高速硅濕式各向異性蝕刻技術(shù)在批量微加工中的應(yīng)用

蝕刻是微結(jié)構(gòu)制造中采用的主要工藝之一。它分為兩類:濕法蝕刻和干法蝕刻,濕法蝕刻進(jìn)一步細(xì)分為兩部分,即各向異性和各向同性蝕刻。硅濕法各向異性蝕刻廣泛用于制造微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的硅體微加工和太陽能電池應(yīng)用的表面紋理化。
2023-05-18 09:13:12700

激光與碳化硅相互作用的機(jī)理及應(yīng)用

本文介紹了激光在碳化硅(SiC)半導(dǎo)體晶圓制程中的應(yīng)用,概括講述了激光與碳化硅相互作用的機(jī)理,并重點(diǎn)對碳化硅晶圓激光標(biāo)記、背金激光表切去除、晶粒隱切分片的應(yīng)用進(jìn)行了介紹。
2023-05-17 14:39:041222

簡述晶圓減薄的幾種方法

減薄晶片有四種主要方法,(1)機(jī)械研磨,(2)化學(xué)機(jī)械平面化,(3)濕法蝕刻(4)等離子體干法化學(xué)蝕刻(ADP DCE)。四種晶片減薄技術(shù)由兩組組成:研磨和蝕刻。為了研磨晶片,將砂輪和水或化學(xué)漿液結(jié)合起來與晶片反應(yīng)并使之變薄,而蝕刻則使用化學(xué)物質(zhì)來使基板變薄。
2023-05-09 10:20:06979

《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》單晶的濕法蝕刻和紅外吸收

書籍:《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》 文章:單晶的濕法蝕刻和紅外吸收 編號:JFKJ-21-206 作者:炬豐科技 摘要 采用濕法腐蝕、x射線衍射和紅外吸收等方法研究了物理氣相色譜法生長AlN單晶的缺陷
2023-04-23 11:15:00118

激光在碳化硅半導(dǎo)體晶圓制程中的應(yīng)用

本文介紹了激光在碳化硅(SiC)半導(dǎo)體晶圓制程中的應(yīng)用,概括講述了激光與碳化硅相互作用的機(jī)理,并重點(diǎn)對碳化硅晶圓激光標(biāo)記、背金激光表切去除、晶粒隱切分片的應(yīng)用進(jìn)行了介紹。
2023-04-23 09:58:27712

印制電路板PCB的制作及檢驗(yàn)

進(jìn)行的?! 、偃咫婂?b class="flag-6" style="color: red">方法可用于制造寬度和間距要求不太嚴(yán)格的印制電路板。全板電鍍的工藝流程如下:  化學(xué)鍍銅→活化→電鍍銅→防氧化處理→水沖洗→干燥→刷板→印制負(fù)相抗蝕圖象→修版→電鍍抗蝕金屬→水沖洗→去除抗蝕劑
2023-04-20 15:25:28

PCB Layout時(shí)如何避免立碑缺陷呢?

末(顆粒)與糊狀助焊劑(松香、稀釋劑、穩(wěn)定劑等)載體均勻混合而成的膏狀焊料。其中合金顆粒是形成焊點(diǎn)的主要成分;助焊劑則是去除焊接表面的氧化層,提高潤濕性,是確保錫膏質(zhì)量的關(guān)鍵材料。錫膏就重量而言,一般
2023-04-18 14:16:12

光子晶體用硅中圓柱形納米孔的深反應(yīng)離子蝕刻

反應(yīng)離子蝕刻 (RIE)是一種干法蝕刻工藝,與半導(dǎo)體工業(yè)中使用的互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)方法兼容。
2023-04-14 14:26:161253

干法蝕刻與濕法蝕刻-差異和應(yīng)用

干法蝕刻與濕法蝕刻之間的爭論是微電子制造商在項(xiàng)目開始時(shí)必須解決的首要問題之一。必須考慮許多因素來決定應(yīng)在晶圓上使用哪種類型的蝕刻劑來制作電子芯片,是液體(濕法蝕刻)還是氣體(干法蝕刻
2023-04-12 14:54:331004

化硅SiC MOSFET:低導(dǎo)通電阻和高可靠性的肖特基勢壘二極管

Toshiba研發(fā)出一種SiC金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(MOSFET),其將嵌入式肖特基勢壘二極管(SBD)排列成格子花紋(check-pattern embedded SBD),以降低導(dǎo)通電
2023-04-11 15:29:18

如何防止PCBA焊接中常見的假焊和虛焊缺陷呢?

如何防止PCBA焊接中常見的假焊和虛焊缺陷呢?有哪些方法呢?
2023-04-06 16:33:09

什么是PCBA虛焊?解決PCBA虛焊的方法介紹

。  目前最好的方法是在氮?dú)獗Wo(hù)的氛圍下使用含磷的焊料,可將浮渣率控制在最低程度,焊接缺陷最少、工藝控制最佳?! ∪?、焊接過程的工藝參數(shù)控制  焊接工藝參數(shù)對焊接表面質(zhì)量的影響比較復(fù)雜,并涉及到較多的技術(shù)
2023-04-06 16:25:06

PCB制作干膜和膜可能會帶來哪些品質(zhì)不良的問題?

PCB制作干膜和膜可能會帶來哪些品質(zhì)不良的問題?以及問題如何解決呢?
2023-04-06 15:51:01

PCB加工的蝕刻工藝

印刷線路板從光板到顯出線路圖形的過程是一個(gè)比較復(fù)雜的物理和化學(xué)反應(yīng)的過程,本文就對其最后的一步--蝕刻進(jìn)行解析。目前,印刷電路板(PCB)加工的典型工藝采用"圖形電鍍法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

調(diào)溫調(diào)箱的特點(diǎn)介紹

調(diào)溫調(diào)箱全名“恒溫恒試驗(yàn)箱”是航空、汽車、家電、科研等領(lǐng)域必備的測試設(shè)備,用于測試和確定電工、電子及其他產(chǎn)品及材料進(jìn)行高溫、低溫、濕熱度或恒定試驗(yàn)的溫度環(huán)境變化后的參數(shù)及性能,它主要用于根據(jù)試驗(yàn)
2023-03-28 09:02:36

使用 ClF 3 H 2遠(yuǎn)程等離子體在氧化硅上選擇性蝕刻化硅

在濕蝕刻的情況下,隨著SiNx/SiOy層的厚度減小,剩余的SiOy層由于表面張力而坍塌,蝕刻溶液對孔的滲透變得更具挑戰(zhàn)性。
2023-03-27 10:17:49402

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