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電子發(fā)燒友網(wǎng)>今日頭條>方差分析在等離子蝕刻工序中的應(yīng)用

方差分析在等離子蝕刻工序中的應(yīng)用

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半導(dǎo)體材料特性分析

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PCB堿性蝕刻常見(jiàn)問(wèn)題原因及解決方法

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ATA-7030高壓放大器在等離子體實(shí)驗(yàn)中的應(yīng)用有哪些

高壓放大器在等離子體實(shí)驗(yàn)中有多種重要應(yīng)用。等離子體是一種帶電粒子與電中性粒子混合的物質(zhì),其具有多種獨(dú)特的物理性質(zhì),因此在許多領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用,例如聚變能源、等離子體醫(yī)學(xué)、材料加工等。下面安泰電子將介紹高壓放大器在等離子體實(shí)驗(yàn)中的應(yīng)用。
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2023-09-19 06:28:29223

PCB線(xiàn)路板的蝕刻工藝需要注意哪些細(xì)節(jié)問(wèn)題

一站式PCBA智造廠家今天為大家講講pcb打樣蝕刻工藝注意事項(xiàng)有哪些?PCB打樣蝕刻工藝注意事項(xiàng)。PCB打樣中,在銅箔部分預(yù)鍍一層鉛錫防腐層,保留在板外層,即電路的圖形部分,然后是其余的銅箔被化學(xué)方法腐蝕,稱(chēng)為蝕刻。
2023-09-18 11:06:30669

淺談PCB蝕刻質(zhì)量及先期存在的問(wèn)題

要注意的是,蝕刻時(shí)的板子上面有兩層銅。在外層蝕刻工藝中僅僅有一層銅是必須被全部蝕刻掉的,其余的將形成最終所需要的電路。這種類(lèi)型的圖形電鍍,其特點(diǎn)是鍍銅層僅存在于鉛錫抗蝕層的下面。
2023-09-07 14:41:12474

pcb蝕刻是什么意思

 在印制板外層電路的加工工藝中,還有另外一種方法,就是用感光膜代替金屬鍍層做抗蝕層。這種方法非常近似于內(nèi)層蝕刻工藝,可以參閱內(nèi)層制作工藝中的蝕刻。
2023-09-06 09:36:57811

六氟化硫等離子體的熱反應(yīng)離子蝕刻

眾所周知,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)嚴(yán)重依賴(lài)于集成電路制造中使用的材料,例如單晶硅。然而,由于金屬、玻璃和壓電陶瓷的特殊性質(zhì),這些材料在MEMS中的使用正在迅速增加。
2023-09-01 10:19:20204

半導(dǎo)體制造工藝之光刻工藝詳解

半導(dǎo)體制造工藝之光刻工藝詳解
2023-08-24 10:38:541221

使用銅納米結(jié)構(gòu)控制等離子

來(lái)自斯圖加特大學(xué)(德國(guó))的 Harald Gie?en 教授的團(tuán)隊(duì)正在致力于將光子學(xué)和納米技術(shù)用于新的應(yīng)用和設(shè)備。研究人員正在研究通過(guò)控制等離子體效應(yīng)來(lái)創(chuàng)建顯示器的技術(shù)。等離激元學(xué)研究光與金屬納米
2023-08-23 06:33:33215

如何實(shí)現(xiàn)PCB蝕刻工藝中的均勻性呢?有哪些方法?

PCB蝕刻工藝中的“水池效應(yīng)”現(xiàn)象,通常發(fā)生在頂部,這種現(xiàn)象會(huì)導(dǎo)致大尺寸PCB整個(gè)板面具有不同的蝕刻質(zhì)量。
2023-08-10 18:25:431013

等離子體顯示器與液晶顯示器相比有何特點(diǎn) 等離子體顯示器的顯示原理

等離子體顯示器在對(duì)比度、視角和響應(yīng)速度等方面的優(yōu)勢(shì)較為顯著,適合用于娛樂(lè)和家庭影院等方面;而液晶顯示器則在功耗、分辨率和便攜性等方面有一定的優(yōu)勢(shì),適合辦公和移動(dòng)設(shè)備等領(lǐng)域。選擇時(shí),可以根據(jù)使用需求和個(gè)人偏好來(lái)進(jìn)行選擇。
2023-08-10 14:38:36767

等離子體浸置型離子注入及等離子體摻雜系統(tǒng)介紹

在常規(guī)離子注入中,三氟化硼常用于形成P型淺結(jié)的注入不是B,因?yàn)锽F2+離子大且重。B10H14,B18H22和硼烷(C2B10&或CBH)是研究中的大分子。
2023-07-21 10:18:571399

Advanced Energy推出Luxtron FOT傳感系統(tǒng)

新型Luxtron M-1100是等離子增強(qiáng)半導(dǎo)體沉積和蝕刻制造工藝的理想之選,其工作溫度下至-200°C(低溫范圍的起始),上至450°C(“熱吸盤(pán)”溫度),具有行業(yè)領(lǐng)先的精度(+/-0.1°C)和穩(wěn)定性(+/-0.05°C)。
2023-07-20 11:21:34215

【芯聞時(shí)譯】Greene Tweed推出Chemraz G57高性能彈性體

來(lái)源:半導(dǎo)體芯科技編譯 干法等離子蝕刻工藝中的污染最小。 Greene Tweed推出了全氟彈性體Chemraz G57,由Greene Tweed材料科學(xué)家和應(yīng)用工程師專(zhuān)門(mén)研發(fā),用來(lái)滿(mǎn)足侵蝕性干法
2023-07-19 16:32:11222

sps等離子燒結(jié)脈沖電源,真空爐加熱電源,高頻電加熱脈沖電源-濟(jì)南能華

1、產(chǎn)品簡(jiǎn)介:      放電等離子燒結(jié) (SPS)是一種快速、低溫、節(jié)能、環(huán)保的材料制備新技術(shù),可用來(lái)制備金屬、陶瓷、納米材料、非晶材料、復(fù)合材料、梯度材料等
2023-07-16 23:06:19

深度解讀硅微納技術(shù)之的蝕刻技術(shù)

蝕刻是一種從材料上去除的過(guò)程?;砻嫔系囊环N薄膜基片。當(dāng)掩碼層用于保護(hù)特定區(qū)域時(shí)在晶片表面,蝕刻的目的是“精確”移除未覆蓋的材料戴著面具。
2023-07-14 11:13:32183

深度解讀硅微納技術(shù)之蝕刻技術(shù)

蝕刻是一種從材料上去除的過(guò)程?;砻嫔系囊环N薄膜基片。當(dāng)掩碼層用于保護(hù)特定區(qū)域時(shí)在晶片表面,蝕刻的目的是“精確”移除未覆蓋的材料戴著面具。
2023-07-12 09:26:03190

等離子體微弧氧化雙向脈沖電源穩(wěn)流穩(wěn)壓

行業(yè)簡(jiǎn)介:微弧氧化(MAO)又稱(chēng)微等離子體氧化(MPO)、陽(yáng)極火花沉積(ASD)或火花放電陽(yáng)極氧化(ANOF),還有人稱(chēng)之為等離子體增強(qiáng)電化學(xué)表面陶瓷化(PECC)。該技術(shù)的基本原理及特點(diǎn)是:普通
2023-07-11 14:27:42

美國(guó) KRi 考夫曼離子源應(yīng)用于雙腔室高真空等離子 ALD 系統(tǒng)

上海伯東美國(guó) KRi 考夫曼離子源 KDC 40 應(yīng)用于雙腔室高真空等離子 ALD 系統(tǒng), 實(shí)現(xiàn)小規(guī)模試驗(yàn)中 2-4 英寸硅片等半導(dǎo)體襯底表面的清潔, 確保樣品表面清潔無(wú)污染, 滿(mǎn)足 TiN, ZnO, Al2O3, TiO2 等制備.
2023-07-07 14:55:44439

等離子蝕刻率的限制

隨著集成電路互連線(xiàn)的寬度和間距接近3pm,鋁和鋁合金的等離子蝕刻變得更有必要。為了防止蝕刻掩模下的橫向蝕刻,我們需要一個(gè)側(cè)壁鈍化機(jī)制。盡管AlCl和AlBr都具有可觀的蒸氣壓,但大多數(shù)鋁蝕刻的研究
2023-06-27 13:24:11318

制造等離子納米金剛石

近日,Nano Letters(《納米快報(bào)》)在線(xiàn)發(fā)表武漢大學(xué)高等研究院梁樂(lè)課題組和約翰霍普金斯大學(xué)Ishan Barman課題組關(guān)于高效構(gòu)建等離子增強(qiáng)NV色心的納米器件研究進(jìn)展,他們利用自下向上的DNA自組裝方法開(kāi)發(fā)了一種混合型獨(dú)立式等離子體納米金剛石
2023-06-26 17:04:52396

鍺、硅、SiNx薄膜的各向同性等離子蝕刻

CMOS和MEMS制造技術(shù),允許相對(duì)于其他薄膜選擇性地去除薄膜,在器件集成中一直具有很高的實(shí)用性。這種化學(xué)性質(zhì)非常有用,但是當(dāng)存在其他材料并且也已知在HF中蝕刻時(shí),這就成了問(wèn)題。由于器件的靜摩擦、緩慢的蝕刻速率以及橫向或分層膜的蝕刻速率降低,濕法化學(xué)也會(huì)有問(wèn)題。
2023-06-26 13:32:441053

四大因素解析:常規(guī)阻抗控制為什么只能是10%?

、2116、1080,下表為各種PP片、樹(shù)脂含量、厚度一覽表: 三、蝕刻制程的線(xiàn)路偏差 PCB線(xiàn)路制程,一般會(huì)經(jīng)過(guò)貼膜-曝光-顯影-蝕刻-退膜這幾道工序,線(xiàn)路蝕刻工序則會(huì)影響最終的線(xiàn)寬,從而影響阻抗
2023-06-25 10:25:55

常規(guī)阻抗控制為什么只能是10%?華秋一文告訴你

、2116、1080,下表為各種PP片、樹(shù)脂含量、厚度一覽表: 三、蝕刻制程的線(xiàn)路偏差 PCB線(xiàn)路制程,一般會(huì)經(jīng)過(guò)貼膜-曝光-顯影-蝕刻-退膜這幾道工序,線(xiàn)路蝕刻工序則會(huì)影響最終的線(xiàn)寬,從而影響阻抗
2023-06-25 09:57:07

半導(dǎo)體八大工藝之刻蝕工藝-干法刻蝕

離子蝕刻 (Ion beam etch) 是一種物理干法蝕刻工藝。由此,氬離子以約1至3keV的離子束輻射到表面上。由于離子的能量,它們會(huì)撞擊表面的材料。晶圓垂直或傾斜入離子束,蝕刻過(guò)程是絕對(duì)
2023-06-20 09:48:563989

上海伯東大口徑射頻離子源成功應(yīng)用于12英寸IBE 離子蝕刻機(jī)

上海伯東美國(guó)?KRi?考夫曼公司大口徑射頻離子源?RFICP 380, RFICP 220 成功應(yīng)用于 12英寸和 8英寸?IBE 離子蝕刻機(jī), 實(shí)現(xiàn) 300mm 和 200mm 硅片蝕刻, 刻蝕
2023-06-15 14:58:47665

利用氧化和“轉(zhuǎn)化-蝕刻”機(jī)制對(duì)富鍺SiGe的熱原子層蝕刻 引言

器件尺寸的不斷縮小促使半導(dǎo)體工業(yè)開(kāi)發(fā)先進(jìn)的工藝技術(shù)。近年來(lái),原子層沉積(ALD)和原子層蝕刻(ALE)已經(jīng)成為小型化的重要加工技術(shù)。ALD是一種沉積技術(shù),它基于連續(xù)的、自限性的表面反應(yīng)。ALE是一種蝕刻技術(shù),允許以逐層的方式從表面去除材料。ALE可以基于利用表面改性和去除步驟的等離子體或熱連續(xù)反應(yīng)。
2023-06-15 11:05:05526

氣體放電管- GDT /氣體等離子體避雷器?2R3600ML5

交流電源板過(guò)載防護(hù)高電壓氣體放電管  氣體放電管- GDT /氣體等離子體避雷器 2R3600ML5  Gas Discharge
2023-06-14 17:30:02

遠(yuǎn)程等離子體選擇性蝕刻的新途徑

為了提供更優(yōu)良的靜電完整性,三維(3D)設(shè)計(jì)(如全圍柵(GAA)場(chǎng)電子晶體管(FET ))預(yù)計(jì)將在互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體技術(shù)中被采用。3D MOS架構(gòu)為蝕刻應(yīng)用帶來(lái)了一系列挑戰(zhàn)。雖然平面設(shè)備更多地依賴(lài)于各向異性蝕刻,但是3D設(shè)備在不同材料之間具有高選擇性,需要更多的各向異性蝕刻能力。
2023-06-14 11:03:531779

載體晶圓對(duì)蝕刻速率、選擇性、形貌的影響

等離子蝕刻是氮化鎵器件制造的一個(gè)必要步驟,然而,載體材料的選擇可能會(huì)實(shí)質(zhì)上改變蝕刻特性。在小型單個(gè)芯片上制造氮化鎵(GaN)設(shè)備,通常會(huì)導(dǎo)致晶圓的成本上升。在本研究中,英思特通過(guò)鋁基和硅基載流子來(lái)研究蝕刻過(guò)程中蝕刻速率、選擇性、形貌和表面鈍化的影響。
2023-05-30 15:19:54452

淺談蝕刻工藝開(kāi)發(fā)的三個(gè)階段

納米片工藝流程中最關(guān)鍵的蝕刻步驟包括虛擬柵極蝕刻、各向異性柱蝕刻、各向同性間隔蝕刻和通道釋放步驟。通過(guò)硅和 SiGe 交替層的剖面蝕刻是各向異性的,并使用氟化化學(xué)。優(yōu)化內(nèi)部間隔蝕刻(壓痕)和通道釋放步驟,以極低的硅損失去除 SiGe。
2023-05-30 15:14:111071

金屬銀鍍PTFE涂層等離子處理原理 提高PTFE粘附性

金屬銀鍍PTFE涂層等離子處理是指在金屬鍍銀進(jìn)行PTFE涂層,并在PTFE涂層上進(jìn)行等離子處理的一種表面處理技術(shù)。該技術(shù)可以使金屬表面具有一定的耐腐蝕性、耐磨性和耐高溫性,同時(shí)還可以提高金屬表面的潤(rùn)滑性和粘附性。
2023-05-25 15:54:14513

濕式化學(xué)蝕刻法制備硅片微孔

微孔利用光和物質(zhì)的相互作用來(lái)獲得獨(dú)特的性質(zhì),特別是,當(dāng)用紫外光、可見(jiàn)光或近紅外光在其表面等離子體極化頻率附近照射時(shí),金屬微孔結(jié)構(gòu)表現(xiàn)出強(qiáng)烈的共振。然而,用于制造微孔的技術(shù)是耗時(shí)的,并且需要昂貴的設(shè)備和專(zhuān)業(yè)人員。因此,英思特開(kāi)發(fā)了一種通過(guò)濕化學(xué)蝕刻硅襯底來(lái)制造微孔的方法。
2023-05-25 13:47:51846

PTFE表面等離子改性的原理 引入活性基團(tuán) 提高粘附性

PTFE表面等離子改性是一種有效的技術(shù)手段,可以改變PTFE表面的性質(zhì),增加其在各個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用。通過(guò)引入親水基團(tuán)、改善表面形貌、形成致密的氟化物膜等方式,可以提高PTFE表面的粘附性、潤(rùn)濕性、抗腐蝕性、耐磨性、生物相容性和電性能。
2023-05-19 10:45:39628

如何在蝕刻工藝中實(shí)施控制?

蝕刻可能是濕制程階段最復(fù)雜的工藝,因?yàn)橛泻芏嘁蛩貢?huì)影響蝕刻速率。如果不保持這些因素的穩(wěn)定,蝕刻率就會(huì)變化,因而影響產(chǎn)品質(zhì)量。如果希望利用一種自動(dòng)化方法來(lái)維護(hù)蝕刻化學(xué),以下是你需要理解的基本概念。
2023-05-19 10:27:31575

PCB常見(jiàn)的五種蝕刻方式

一般適用于多層印制板的外層電路圖形的制作或微波印制板陰板法直接蝕刻圖形的制作抗蝕刻 圖形電鍍之金屬抗蝕層如鍍覆金、鎳、錫鉛合金
2023-05-18 16:23:484918

強(qiáng)磁場(chǎng)中等離子體湍流的性質(zhì)和機(jī)制

在天體物理學(xué)中,有許多天體都具有強(qiáng)大的磁場(chǎng),例如恒星、行星和黑洞。這些天體周?chē)ǔS写罅康?b class="flag-6" style="color: red">等離子體,例如恒星風(fēng)、行星際介質(zhì)和吸積盤(pán)。
2023-05-17 09:24:16452

小型考夫曼離子源,真空鍍膜離子

10: 考夫曼型離子源 Gridded 系列最小型號(hào)的離子源. 適用于集成小型的真空設(shè)備, 例如預(yù)清洗, 離子濺射, 離子蝕刻.
2023-05-11 16:02:30

射頻等離子體源,射頻離子

曼品牌離子源, 推出 RF2100ICP Plasma Source 射頻等離子體源及配套控制器, RF2100 等離子體放電, RFICP 2MHz, 電子
2023-05-11 14:57:22

射頻離子源,真空鍍膜離子

100 緊湊設(shè)計(jì), 適用于離子濺鍍和離子蝕刻. 小尺寸設(shè)計(jì)但是可以輸出 >400 mA 離子流. 考夫曼型離子源 RFICP 100 源直徑19cm 安裝在10”C
2023-05-11 14:28:30

美國(guó) KRi 大面積射頻離子

離子源 RFICP 220 高能量柵極離子源, 適用于離子濺鍍, 離子沉積和離子蝕刻. 離子束濺射工藝, 射頻離子源 RFICP 220 配有離子光學(xué)元件, 可以
2023-05-11 14:09:08

簡(jiǎn)述晶圓減薄的幾種方法

減薄晶片有四種主要方法,(1)機(jī)械研磨,(2)化學(xué)機(jī)械平面化,(3)濕法蝕刻(4)等離子體干法化學(xué)蝕刻(ADP DCE)。四種晶片減薄技術(shù)由兩組組成:研磨和蝕刻。為了研磨晶片,將砂輪和水或化學(xué)漿液結(jié)合起來(lái)與晶片反應(yīng)并使之變薄,而蝕刻則使用化學(xué)物質(zhì)來(lái)使基板變薄。
2023-05-09 10:20:06979

PCB主板不同顏色代表什么意思?

其實(shí)不同顏色的PCB,它們的制造的材料、制造工序都是一樣的,包括敷銅層的位置也是一樣的,經(jīng)過(guò)蝕刻工藝后就在PCB上留下了最終的布線(xiàn),例如下圖這塊剛經(jīng)過(guò)蝕刻工藝的PCB,敷銅走線(xiàn)就是原本的銅色,而PCB基板略顯微黃色。
2023-05-09 10:02:431699

芯片等離子活化原理 提高化學(xué)惰性、抗腐蝕性、耐磨性

芯片等離子活化技術(shù)是一種物理處理技術(shù),通過(guò)改變材料表面的化學(xué)性質(zhì)、物理性質(zhì)和機(jī)械性能,實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的表面處理和改性。芯片等離子活化技術(shù)具有處理效率高、處理精度高、無(wú)需添加劑、處理后材料性能穩(wěn)定和應(yīng)用范圍廣泛等優(yōu)勢(shì)。
2023-05-06 10:44:50651

鋁箔等離子表面處理設(shè)備原理 增加鋁箔表面的粘附力

通過(guò)金徠等離子體處理,可以提高金屬表面的活性,改善金屬表面的結(jié)合力、增強(qiáng)涂層附著力等性質(zhì),使得金屬制品的質(zhì)量和性能得到明顯的改善和提升。此外,等離子體處理還可以改善金屬表面的光潔度,使得金屬表面更加平整光滑。
2023-05-05 10:51:23526

光子晶體用硅中圓柱形納米孔的深反應(yīng)離子蝕刻

反應(yīng)離子蝕刻 (RIE)是一種干法蝕刻工藝,與半導(dǎo)體工業(yè)中使用的互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)方法兼容。
2023-04-14 14:26:161253

神奇的光等離子 輝光(2)#科技與物理

電路分析元器件電路分析基礎(chǔ)
jf_49750429發(fā)布于 2023-04-13 16:28:13

神奇的光等離子 輝光(1)#科技與物理

電路分析元器件電路分析基礎(chǔ)
jf_49750429發(fā)布于 2023-04-13 16:27:42

干法蝕刻與濕法蝕刻-差異和應(yīng)用

干法蝕刻與濕法蝕刻之間的爭(zhēng)論是微電子制造商在項(xiàng)目開(kāi)始時(shí)必須解決的首要問(wèn)題之一。必須考慮許多因素來(lái)決定應(yīng)在晶圓上使用哪種類(lèi)型的蝕刻劑來(lái)制作電子芯片,是液體(濕法蝕刻)還是氣體(干法蝕刻
2023-04-12 14:54:331004

利用等離子體色散效應(yīng)來(lái)增強(qiáng)硅基電光調(diào)制器的性能

全硅等離子體色散效應(yīng)環(huán)形諧振器調(diào)制器具有誘人的發(fā)展前景。然而,其性能目前受限于調(diào)制深度和開(kāi)關(guān)速度之間的權(quán)衡。
2023-04-12 09:12:121594

從頭到尾的半導(dǎo)體技術(shù)

濕法蝕刻工藝的原理是使用化學(xué)溶液將固體材料轉(zhuǎn)化為液體化合物。選擇性非常高
2023-04-10 17:26:10453

介紹PCBA生產(chǎn)的各個(gè)工序

  PCBA是指將PCB裸板進(jìn)行元器件的貼裝、插件并實(shí)現(xiàn)焊接的工藝過(guò)程。PCBA的生產(chǎn)過(guò)程需要經(jīng)過(guò)一道道的工序才能生產(chǎn)完成,本文就為大家介紹PCBA生產(chǎn)的各個(gè)工序?! CBA是指在PCB裸板基礎(chǔ)上
2023-04-07 14:24:29

等離子光譜儀需要進(jìn)行哪種維修保養(yǎng)

大家目前對(duì)于等離子光譜儀的普遍使用早已見(jiàn)怪不怪了,這種相對(duì)來(lái)說(shuō)較為細(xì)致的設(shè)備是一定要盡早的實(shí)施維修保養(yǎng)的,否則很容易就沒(méi)辦法運(yùn)用或者機(jī)械設(shè)備產(chǎn)生情況,下面大家一起來(lái)看看等離子光譜儀需要進(jìn)行哪種
2023-04-07 07:37:42124

等離子電視關(guān)鍵技術(shù)探秘

? 導(dǎo)讀:?屏(也叫面板),是等離子電視最重要的部件,占整機(jī)成本的六、七成。屏的好壞,直接決定著平板電視的優(yōu)劣。目前世界上只有韓國(guó)LG、三星和日本的松下等少數(shù)廠商具備等離子屏的生產(chǎn)能力,其中LG的A3生產(chǎn)線(xiàn)被公認(rèn)為最先進(jìn)的等離子生產(chǎn)線(xiàn)。很大程度上,等離子電視的選擇就是等離子屏的選擇。 ?
2023-03-30 15:56:10452

PCB加工的蝕刻工

印刷線(xiàn)路板從光板到顯出線(xiàn)路圖形的過(guò)程是一個(gè)比較復(fù)雜的物理和化學(xué)反應(yīng)的過(guò)程,本文就對(duì)其最后的一步--蝕刻進(jìn)行解析。目前,印刷電路板(PCB)加工的典型工藝采用"圖形電鍍法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

氣體放電管- GDT /氣體等離子體避雷器3600V

2RM3600A6L2 氣體放電管- GDT /氣體等離子體避雷器3600Discharge 2-Electrode Arrester  5.5*6 直流擊穿電壓3600V氣體
2023-03-27 17:04:09

使用 ClF 3 H 2遠(yuǎn)程等離子體在氧化硅上選擇性蝕刻氮化硅

在濕蝕刻的情況下,隨著SiNx/SiOy層的厚度減小,剩余的SiOy層由于表面張力而坍塌,蝕刻溶液對(duì)孔的滲透變得更具挑戰(zhàn)性。
2023-03-27 10:17:49402

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