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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電源/新能源>電源新聞>采用PowerFill外延硅工藝的電源器件

采用PowerFill外延硅工藝的電源器件

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2018-10-26 17:33:0610616

LED外延片技術(shù)的七大發(fā)展方向及工藝解析

LED的波長、亮度、正向電壓等主要光電參數(shù)基本上取決于外延片材料,因此,外延片材料作為LED工作原理中的核心部分,了解LED外延片技術(shù)的發(fā)展及工藝非常重要。
2018-11-01 16:41:124524

國星光宣布電擴產(chǎn)新一代LED封裝器件及配套外延芯片

1月9日晚間,國星光電(002449)發(fā)布公告,宣布投資10億擴產(chǎn)新一代LED封裝器件及配套外延芯片。
2019-01-14 15:05:403112

半導(dǎo)體器件外延層的存在有何意義

看到一些新聞,表示某國高科技企業(yè)開發(fā)了一種新型襯底材料,與GaN晶格匹配,可以良好生長GaN。(備注:GaN體單晶制備難度非常大,因此此處所提的GaN是外延層,此處暴露了外延層存在的意義之一
2021-01-11 11:18:0823512

砷化鎵基板對外延磊晶質(zhì)量造成哪些影響

最近做芯片和外延的研究,發(fā)現(xiàn)同樣的外延工藝和芯片工藝做出來的芯片性能差別很大,大到改變試驗設(shè)計的“世界觀”?;逡r底的質(zhì)量好壞很關(guān)鍵。
2021-08-12 10:55:584302

外延層的摻雜濃度對SiC功率器件的重要性

控制外延層的摻雜類型和濃度對 SiC 功率器件的性能至關(guān)重要,它直接決定了后續(xù)器件的比導(dǎo)通電阻,阻斷電壓等重要的電學(xué)參數(shù)。
2022-04-11 13:44:444802

外延沉積前原位工藝清洗的效果

本文研究了外延沉積前原位工藝清洗的效果,該過程包括使用溶解的臭氧來去除晶片表面的有機物,此外,該過程是在原位進行的,沒有像傳統(tǒng)上那樣將晶圓從工藝轉(zhuǎn)移到?jīng)_洗罐。結(jié)果表明,與不使用溶解臭氧作為表面處理
2022-04-12 13:25:49559

半導(dǎo)體之選擇性外延工藝介紹

通過圖形化硅氧化或氮化硅掩蔽薄膜生長,可以在掩蔽膜和硅暴露的位置生長外延層。這個過程稱為選擇性外延生長(SEG)。
2022-09-30 15:00:385892

淺談GaN芯片的制備工藝(GaN HEMT工藝為例)

本文聊一下GaN芯片的制備工藝。 GaN-般都是用外延技術(shù)制備出來。GaN的外延工藝大家可以看看中村修二的書。
2022-10-19 11:53:401459

外延工藝(Epitaxy)

固相外延,是指固體源在襯底上生長一層單晶層,如離子注入后的熱退火實際上就是一種固相外延過程。離于注入加工時,硅片的硅原子受到高能注入離子的轟擊
2022-11-09 09:33:5210250

氮化鎵外延工藝介紹 氮化鎵外延片的應(yīng)用

氮化鎵外延片生長工藝較為復(fù)雜,多采用兩步生長法,需經(jīng)過高溫烘烤、緩沖層生長、重結(jié)晶、退火處理等流程。兩步生長法通過控制溫度,以防止氮化鎵外延片因晶格失配或應(yīng)力而產(chǎn)生翹曲,為目前全球氮化鎵外延片主流制備方法。
2023-02-05 14:50:004345

硅基氮化鎵外延片是什么 硅基氮化鎵外延工藝

氮化鎵外延片指采用外延方法,使單晶襯底上生長一層或多層氮化鎵薄膜而制成的產(chǎn)品。近年來,在國家政策支持下,我國氮化鎵外延片行業(yè)規(guī)模不斷擴大。
2023-02-06 17:14:353012

硅基氮化鎵工藝流程

硅基氮化鎵外延生長是在硅片上經(jīng)過各種氣體反應(yīng)在硅片上層積幾層氮化鎵外延層,為中間產(chǎn)物。氮化鎵功率器件是把特定電路所需的各種電子組件及線路,縮小并制作在極小面積上的一種電子產(chǎn)品。氮化鎵功率器件制造主要
2023-02-11 11:31:426159

氮化鎵外延片的工藝及分類介紹

通常是指的在藍寶石襯底上用外延的方法(MOCVD)生長的GaN。外延片上面一般都已經(jīng)做有u-GaN,n-GaN,量子阱,p-GaN。
2023-02-12 14:31:252100

氮化鎵外延工藝流程介紹 外延片與晶圓的區(qū)別

氮化鎵外延工藝是一種用于制備氮化鎵外延片的工藝,主要包括表面清洗、氮化處理、清洗處理、干燥處理和檢測處理等步驟。
2023-02-20 15:50:3210569

功率半導(dǎo)體分立器件工藝流程

功率半導(dǎo)體分立器件的主要工藝流程包括:在硅圓片上加工芯片(主要流程為薄膜制造、曝光和刻蝕),進行芯片封裝,對加工完畢的芯片進行技術(shù)性能指標測試,其中主要生產(chǎn)工藝外延工藝、光刻工藝、刻蝕工藝、離子注入工藝和擴散工藝等。
2023-02-24 15:34:133185

半導(dǎo)體工藝之氣相外延介紹

在半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的發(fā)展中,氣相外延發(fā)揮了重要作用,該技術(shù)已廣泛用于Si半導(dǎo)體器件和集成電路的工業(yè)化生產(chǎn)。
2023-05-19 09:06:462467

SiC外延工藝基本介紹

外延層是在晶圓的基礎(chǔ)上,經(jīng)過外延工藝生長出特定單晶薄膜,襯底晶圓和外延薄膜合稱外延片。其中在導(dǎo)電型碳化硅襯底上生長碳化硅外延層制得碳化硅同質(zhì)外延片,可進一步制成肖特基二極管、MOSFET、 IGBT 等功率器件,其中應(yīng)用最多的是4H-SiC 型襯底。
2023-05-31 09:27:092827

異質(zhì)外延單晶金剛石及其相關(guān)電子器件的研究進展

金剛石異質(zhì)外延已發(fā)展 30 年有余,而基于 Ir 襯底的大面積、高質(zhì)量的異質(zhì)外延單晶金剛石已取得較大進展。本文主要從關(guān)于異質(zhì)外延單晶金剛石及其電子器件兩個方面對異質(zhì)外延單晶金剛石的發(fā)展進行了闡述。
2023-07-12 15:22:23843

SiC外延片是SiC產(chǎn)業(yè)鏈條的核心環(huán)節(jié)嗎?

碳化硅功率器件與傳統(tǒng)硅功率器件制作工藝不同,不能直接制作在碳化硅單晶材料上,必須在導(dǎo)通型單晶襯底上額外生長高質(zhì)量的外延材料,并在外延層上制造各類器件。
2023-08-03 11:21:03286

SiC外延片制備技術(shù)解析

碳化硅功率器件與傳統(tǒng)硅功率器件制作工藝不同,不能直接制作在碳化硅單晶材料上,必須在導(dǎo)通型單晶襯底上額外生長高質(zhì)量的外延材料,并在外延層上制造各類器件。
2023-08-15 14:43:341001

氮化鎵功率器件工藝技術(shù)說明

氮化鎵功率器件與硅基功率器件的特性不同本質(zhì)是外延結(jié)構(gòu)的不同,本文通過深入對比氮化鎵HEMT與硅基MOS管的外延結(jié)構(gòu)
2023-09-19 14:50:342703

硅基復(fù)合襯底上分子束外延HgTe/CdTe超晶格結(jié)構(gòu)材料工藝研究

列陣探測器引起了人們的廣泛關(guān)注。為了滿足高性能、雙多色紅外焦平面器件制備的要求,需要對碲鎘汞p型摻雜與激活進行專項研究。使用分子束外延方法直接在碲鎘汞工藝中進行摻雜,As很難占據(jù)Te位,一般作為間隙原子或者占據(jù)金屬位,
2023-09-26 09:18:14284

LED外延芯片工藝流程及晶片分類

電子發(fā)燒友網(wǎng)站提供《LED外延芯片工藝流程及晶片分類.doc》資料免費下載
2023-11-03 09:42:540

半導(dǎo)體器件為什么要有襯底及外延層之分呢?外延層的存在有何意義?

半導(dǎo)體器件為什么要有襯底及外延層之分呢?外延層的存在有何意義? 半導(dǎo)體器件往往由襯底和外延層組成,這兩個部分在制造過程中起著重要的作用,并且在器件的性能和功能方面具有重要意義。 首先,襯底是半導(dǎo)體
2023-11-22 17:21:281513

什么是外延工藝?什么是單晶與多晶?哪些地方會涉及到外延工藝?

外延工藝的介紹,單晶和多晶以及外延生長的方法介紹。
2023-11-30 18:18:16878

三種碳化硅外延生長爐的差異

碳化硅襯底有諸多缺陷無法直接加工,需要在其上經(jīng)過外延工藝生長出特定單晶薄膜才能制作芯片晶圓,這層薄膜便是外延層。幾乎所有的碳化硅器件均在外延材料上實現(xiàn),高質(zhì)量的碳化硅同質(zhì)外延材料是碳化硅器件研制的基礎(chǔ),外延材料的性能直接決定了碳化硅器件性能的實現(xiàn)。
2023-12-15 09:45:53607

分子束外延(MBE)工藝及設(shè)備原理介紹

分子束外延(Molecular beam epitaxy,MBE)是一種在超高真空狀態(tài)下,進行材料外延技術(shù),下圖為分子束外延的核心組成,包括受熱的襯底和釋放到襯底上的多種元素的分子束。
2024-01-15 18:12:10963

外延層在半導(dǎo)體器件中的重要性

只有體單晶材料難以滿足日益發(fā)展的各種半導(dǎo)體器件制作的需要。因此,1959年末開發(fā)了薄層單晶材料生長技外延生長。那外延技術(shù)到底對材料的進步有了什么具體的幫助呢?
2024-02-23 11:43:59300

半導(dǎo)體襯底和外延有什么區(qū)別?

襯底(substrate)是由半導(dǎo)體單晶材料制造而成的晶圓片,襯底可以直接進入晶圓制造環(huán)節(jié)生產(chǎn)半導(dǎo)體器件,也可以進行外延工藝加工生產(chǎn)外延片。
2024-03-08 11:07:41161

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