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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>模擬數(shù)字論文>控制多晶硅（poly-Si）/4H-SiC異質(zhì)結(jié)二極管能壘高度（ΦB）的方法

      控制多晶硅（poly-Si）/4H-SiC異質(zhì)結(jié)二極管能壘高度（ΦB）的方法

      2024-04-23 | pdf | 0.35 MB | 次下載 | 1積分

      資料介紹

      　　我們實(shí)驗(yàn)研究了一種控制多晶硅(poly-Si)/4H-SiC異質(zhì)結(jié)二極管(HJD)能壘高度(ΦB)的方法，并使用ΦB控制對(duì)一種新型低VON和低反向恢復(fù)電流二極管進(jìn)行了數(shù)值模擬。摻砷n+-poly-Si的HJD的ΦB為0.79eV，摻硼p+-poly-Si的HJD為1.59eV。通過改變多晶硅的摻雜劑和離子注入劑量，ΦB可以控制在很寬的范圍內(nèi)。還提出了一種新的合并HJD(M-HJD)，通過ΦB控制獲得了兩個(gè)不同的ΦB值。數(shù)值模擬結(jié)果表明，在高反向電壓下，M-HJD在不增加反向漏電流的情況下降低了VON。

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