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電子發(fā)燒友網(wǎng)>模擬技術(shù)>重磅!國產(chǎn)SiC襯底激光剝離實現(xiàn)新突破

重磅!國產(chǎn)SiC襯底激光剝離實現(xiàn)新突破

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SiC/GaN具有什么優(yōu)勢?

基于SiC/GaN的新一代高密度功率轉(zhuǎn)換器SiC/GaN具有的優(yōu)勢
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SiC功率器件SiC-MOSFET的特點

,不需要進行電導(dǎo)率調(diào)制就能夠以MOSFET實現(xiàn)高耐壓和低阻抗。而且MOSFET原理上不產(chǎn)生尾電流,所以用SiC-MOSFET替代IGBT時,能夠明顯地減少開關(guān)損耗,并且實現(xiàn)散熱部件的小型化。另外
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Sic mesfet工藝技術(shù)研究與器件研究

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激光剝離技術(shù)

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2016-06-27 13:25:29

激光刻蝕

TMM、Duorid和PTFE。在加工柔性基材和敏感基材時,激光直接成型技術(shù)優(yōu)勢更明顯,不用與材料接觸,就能進行光蝕,因此更可靠,不會對基材產(chǎn)生損害。激光直接大面積剝離銅層不傷基底材料(軟基,硬基均可)汪先生 ***
2016-06-27 13:27:15

激光直接剝離,形成電路

TMM、Duorid和PTFE。在加工柔性基材和敏感基材時,激光直接成型技術(shù)優(yōu)勢更明顯,不用與材料接觸,就能進行光蝕,因此更可靠,不會對基材產(chǎn)生損害。激光直接大面積剝離銅層不傷基底材料(軟基,硬基均可)汪先生 ***
2016-06-27 13:26:43

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什么是碳化硅(SiC)?它有哪些用途?碳化硅(SiC)的結(jié)構(gòu)是如何構(gòu)成的?
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-SBD和Si-SBD均具有高速性的特征,SiC-SBD不僅擁有優(yōu)異的高速性且實現(xiàn)了高耐壓。Si-SBD的耐壓極限為200V,而SiC具有硅10倍的擊穿場強,故ROHM已經(jīng)開始量產(chǎn)1200V的產(chǎn)品,同時在推進
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2023年國產(chǎn)汽車芯片、SIC進展報告

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、機械應(yīng)力和熱預(yù)算等方面都有獨特的要求,因此確定合適的剝離技術(shù)比較困難。這里只是枚舉了幾個例子,實際情況更為復(fù)雜。我們將在本文中重點討論激光剝離(laser debonding):如抗高溫更兼容的材料可應(yīng)用于哪些情況,激光剝離的特性適于哪些應(yīng)用等。
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2019-05-07 10:21:2813090

襯底LED未來有望引領(lǐng)市場發(fā)展

LED襯底材料是半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)材料,其決定了半導(dǎo)體照明技術(shù)的發(fā)展路線。目前,能作為LED襯底的材料包括Al2O3、SiC、Si、GaN、GaAs、Zno等,但商用最廣泛的是Al2O3、SiC
2019-07-30 15:14:033716

高功率激光國產(chǎn)化加快發(fā)展瓶頸亟真空焊接爐來助力

高功率激光國產(chǎn)化加快 發(fā)展瓶頸亟待突破 高功率激光器具有體積小、重量輕、電光轉(zhuǎn)換效率高、性能穩(wěn)定、可靠性高和壽命長等特點。目前低功率激光器和中功率激光器正在逐步實現(xiàn)國產(chǎn)化,高功率激光國產(chǎn)
2019-12-02 23:09:00391

第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展已成為半導(dǎo)體行業(yè)實現(xiàn)突破的關(guān)鍵環(huán)節(jié)

全球SiC的產(chǎn)業(yè)格局呈現(xiàn)美國、歐洲、日本三足鼎立的態(tài)勢。美國的科銳、德國的英飛凌、日本的羅姆這三家公司占據(jù)了全球SiC市場約70%的份額,其中科銳、羅姆實現(xiàn)了從SiC襯底、外延、設(shè)計、器件及模塊制造的全產(chǎn)業(yè)鏈布局。
2020-09-26 10:14:562013

國產(chǎn)光纖激光器的突破與不足

全球新一輪動力電池產(chǎn)能擴充釋放巨大的鋰電材料、設(shè)備市場需求空間,國產(chǎn)鋰電設(shè)備迎來新的發(fā)展機遇和挑戰(zhàn)。 在銳科激光冠名的智能制造升級專場,銳科激光副董事長閆大鵬作了“國產(chǎn)光纖激光器的現(xiàn)狀及未來”的主題
2020-12-23 17:54:423118

電子行業(yè)將迎來新的發(fā)展機遇,正在實現(xiàn)國產(chǎn)突破

同時,伴隨著我國產(chǎn)業(yè)制造升級,芯片和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)把握住需求和供給的矛與盾,在外部環(huán)境和內(nèi)部大循環(huán)的推動下,正在實現(xiàn)國產(chǎn)突破。
2021-01-19 15:30:143380

創(chuàng)新工藝可以消除SiC襯底中的缺陷

日本關(guān)西學(xué)院大學(xué)和豐田通商于3月1日宣布,他們已開發(fā)出“動態(tài)AGE-ing”技術(shù),這是一種表面納米控制工藝技術(shù),可以消除使SiC襯底上的半導(dǎo)體性能變差的缺陷。
2021-03-06 10:20:083028

簡述碳化硅襯底國產(chǎn)化進程

來探討一下碳化硅襯底國產(chǎn)化進程。 ◆ 碳化硅襯底類型 碳化硅分為立方相(閃鋅礦結(jié)構(gòu))、六方相(纖鋅礦結(jié)構(gòu))和菱方相3大類共 260多種結(jié)構(gòu),目前只有六方相中的 4H-SiC、6H-SiC才有商業(yè)價值。另碳化硅根據(jù)電學(xué)性能的不同主要可分
2021-07-29 11:01:184375

深入解讀?國產(chǎn)高壓SiC MOSFET及競品分析

在開關(guān)頻率、散熱、耐壓、功率密度方面優(yōu)勢更為凸顯。 下文主要對國產(chǎn)SiC MOSFET進行介紹并與國外相近參數(shù)的主流產(chǎn)品相對比。 國產(chǎn)1700V SiC MOSFET 派恩杰2018年開始專注于第三代半導(dǎo)體SiC、GaN的功率器件的研究。公司成立半年后就研制出了首款650V GaN功率器件,在基于
2021-09-16 11:05:374228

光致抗蝕劑剝離和清洗對器件性能的影響

退火后對結(jié)特性的剝離和清潔對于實現(xiàn)預(yù)期和一致的器件性能至關(guān)重要,發(fā)現(xiàn)光致抗蝕劑剝離和清洗會導(dǎo)致:結(jié)蝕刻、摻雜劑漂白和結(jié)氧化,植入條件可以增強這些效應(yīng),令人驚訝的是,剝離和清潔也會影響摻雜劑分布,并且
2022-05-06 15:55:47349

鍺基襯底抗蝕劑剝離工藝研究

具有高k柵極電介質(zhì)的鍺和絕緣體上鍺(GeOI)MOSFET由于鍺比硅具有更好的載流子傳輸特性,最近受到了先進技術(shù)節(jié)點的關(guān)注。對于Ge或GeOI CMOS,必須確定Ge專用的抗蝕劑剝離工藝,因為
2022-05-25 16:43:16319

比亞迪半導(dǎo)體全新推出1200V 1040A SiC功率模塊

作為國內(nèi)首批自主研發(fā)并量產(chǎn)應(yīng)用SiC器件的公司,在SiC功率器件領(lǐng)域,比亞迪半導(dǎo)體于2020年取得重大技術(shù)突破重磅推出首款1200V 840A/700A三相全橋SiC功率模塊,并已實現(xiàn)在新能源汽車高端車型電機驅(qū)動控制器中的規(guī)?;瘧?yīng)用。
2022-06-21 14:40:571216

新GaAs IC 金屬剝離的方法

在圖案化的抗蝕劑上濺射或蒸發(fā)金屬,然后剝離金屬,傳統(tǒng)上用于在砷化鎵晶片處理中定義互連,在剝離工藝中,首先在襯底上沉積并圖案化諸如光致抗蝕劑的犧牲材料,然后將金屬沉積在頂部,隨后通過暴露于溶劑浸泡
2022-06-27 17:21:55807

國產(chǎn)8英寸SiC襯底捷報頻出,與海外龍頭差距還有多大?

電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/梁浩斌)“碳化硅行業(yè)得襯底者得天下”,襯底作為SiC產(chǎn)業(yè)鏈中成本占比最大的部分,自然是各家必爭之地。在下游需求帶動下,SiC襯底正在從6英寸開始向8英寸推進,更大的襯底尺寸
2022-11-23 07:20:031487

世界最高電阻率的半絕緣GaN自支撐襯底

近年來,半絕緣SiC襯底上外延生長的GaN高遷移率晶體管(GaN-on-SiC HEMTs)已廣泛應(yīng)用于微波射頻領(lǐng)域的功率放大器電路中。
2022-12-02 11:43:46473

8英寸導(dǎo)電型4H-SiC單晶襯底制備與表征

使用物理氣相傳輸法(PVT)制備出直徑 209 mm 的 4H-SiC 單晶,并通過多線切割、研磨和拋光等一系列加工工藝制備出標(biāo)準 8 英寸 SiC 單晶襯底。使用拉曼光譜儀、高分辨 X-射線衍射
2022-12-20 11:35:501698

使用 SiC 實現(xiàn)更快的 EV 充電

使用 SiC 實現(xiàn)更快的 EV 充電
2022-12-29 10:02:50493

天科合達談八英寸SiC

本實驗通過以自主研發(fā)的由c軸偏向<11-20>方向4°的6英寸4H-SiC襯底作為籽晶和擴徑生長的起始點,采用物理氣相傳輸(physical vapor transport, PVT)法進行擴徑生長獲得直徑放大的SiC單晶。
2023-01-17 14:10:101194

簽下六年保供協(xié)議,派恩杰確定SiC營收新目標(biāo)

經(jīng)過在SiC賽道長達十年甚至更久的技術(shù)及硬件積累,上述這些SiC芯片供應(yīng)商們由于特定的歷史條件,大多是IDM模式,而且如今包括ST、安森美、羅姆等多家廠商還通過投資或購買SiC襯底產(chǎn)業(yè)鏈逐漸實現(xiàn)更上游的自我供給。
2023-02-08 14:03:281127

硅基氮化鎵襯底是什么 襯底減薄的原因

  硅基氮化鎵襯底是一種新型的襯底,它可以提高襯底的熱穩(wěn)定性和抗拉強度,從而提高襯底的性能。它主要用于電子、光學(xué)、電力、航空航天等領(lǐng)域。
2023-02-14 14:36:081130

SiC功率器件的封裝形式

SiC器件的封裝襯底必須便于處理固態(tài)銅厚膜導(dǎo)電層,且具有高熱導(dǎo)率和低熱膨脹系數(shù),從而可以把大尺寸SiC芯片直接焊接到襯底上。SiN是一種極具吸引力的襯底,因為它具有合理的熱導(dǎo)率(60W/m-K)和低熱膨脹系數(shù)(2.7ppm/℃),與SiC的熱膨脹系數(shù) (3.9ppm/℃)十分接近。
2023-02-16 14:05:573194

8吋!SiC行業(yè)又增5個“玩家”

根據(jù)《2022碳化硅(SiC)產(chǎn)業(yè)調(diào)研白皮書》,目前全球已有超14家企業(yè)在8吋碳化硅襯底方面實現(xiàn)突破,而Wolfspeed已于去年實現(xiàn)生產(chǎn)。謝明凱指出,在8吋方面,盛新材料與Wolfspeed的距離只有一年之遙。
2023-03-17 10:55:07904

盛美上海首次獲得 Ultra C SiC 碳化硅襯底清洗設(shè)備的采購訂單

解決方案的領(lǐng)先供應(yīng)商,今宣布首次獲得Ultra C SiC 碳化硅襯底清洗設(shè)備的采購訂單。該平臺還可配置盛美上海自主研發(fā)的空間交變相位移(SAPS)清洗技術(shù),在不損傷器件的前提下實現(xiàn)更全面的清洗。該訂單來自中國領(lǐng)先的碳化硅襯底制造商,
2023-03-28 17:17:11336

重磅突破:鳳凰動力高速AGV舵輪

重磅突破:鳳凰動力高速AGV舵輪,較傳統(tǒng)AGV舵輪5倍速度提升,意味著客戶提升5倍運轉(zhuǎn)效率,明智之選鳳凰動力真給力
2023-04-12 15:15:38548

重磅國產(chǎn)SiC襯底激光剝離實現(xiàn)突破

以砂漿線切割為例,多達40%的碳化硅晶錠以粉塵的形式浪費掉,而且切割線的高速行走過程還會造成20~50μm的粗糙起伏與表面/亞表面結(jié)構(gòu)損傷,據(jù)分析,碳化硅多線切割技術(shù)的總材料損耗量高達30%~50%。
2023-05-24 17:03:181488

SiC外延工藝基本介紹

外延層是在晶圓的基礎(chǔ)上,經(jīng)過外延工藝生長出特定單晶薄膜,襯底晶圓和外延薄膜合稱外延片。其中在導(dǎo)電型碳化硅襯底上生長碳化硅外延層制得碳化硅同質(zhì)外延片,可進一步制成肖特基二極管、MOSFET、 IGBT 等功率器件,其中應(yīng)用最多的是4H-SiC襯底。
2023-05-31 09:27:092828

2023年SiC襯底市場將持續(xù)強勁增長

研究機構(gòu)TECHCET日前預(yù)測,盡管全球經(jīng)濟普遍放緩,但2023年SiC襯底市場將持續(xù)強勁增長。
2023-06-08 10:12:34436

國產(chǎn)CVD設(shè)備在4H-SiC襯底上的同質(zhì)外延實驗

SiC薄膜生長方法有多種,其中化學(xué)氣相沉積(chemical vapor deposition, CVD)法具有可以精確控制外延膜厚度和摻雜濃度、缺陷較少、生長速度適中、過程可自動控制等優(yōu)點,是生長用于制造器件的SiC 外延膜的最常用的方法。
2023-06-19 09:35:52644

度亙激光重磅發(fā)布通信級單模980nm半導(dǎo)體激光芯片與模塊產(chǎn)品

度亙激光重磅發(fā)布通信級單模980nm半導(dǎo)體激光芯片與模塊產(chǎn)品
2022-11-23 10:29:16689

山大與南砂晶圓團隊在8英寸SiC襯底位錯缺陷控制方面的突破

碳化硅(SiC)作為第三代半導(dǎo)體材料, 具有高擊穿場強、高飽和電子漂移速率、高熱導(dǎo)率、強化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)良特性
2023-08-31 16:13:05580

新能源汽車拉動SiC第三代半導(dǎo)體上車:襯底與外延環(huán)節(jié)的材料,設(shè)備國產(chǎn)化機遇

導(dǎo)電型襯底Wolfspeed一家獨大,絕緣型襯底天岳先進入圍前三。2020年全球?qū)щ娦?b class="flag-6" style="color: red">SiC襯底依舊被Wolfspeed、II-VI、羅姆壟斷,CR3高達90%,其中Wolfspeed市占率高達62
2023-09-07 16:26:321599

第三代半導(dǎo)體SiC產(chǎn)業(yè)鏈研究

SiC 襯底是由 SiC 單晶材料制造 而成的晶圓片。襯底可以直接進入 晶圓制造環(huán)節(jié)生產(chǎn)半導(dǎo)體器件,也 可以經(jīng)過外延加工,即在襯底上生 長一層新的單晶,形成外延片。
2023-10-18 15:35:394

科友半導(dǎo)體官宣,首批8吋碳化硅襯底下線

科友半導(dǎo)體8英寸碳化硅(SiC)中試線在2023年4月正式貫通后,同步推進晶體生長厚度、良率提升和襯底加工產(chǎn)線建設(shè),加快襯底加工設(shè)備調(diào)試與工藝參數(shù)優(yōu)化。
2023-10-18 17:43:40724

SiC襯底,產(chǎn)業(yè)瓶頸亟待突破.zip

SiC襯底,產(chǎn)業(yè)瓶頸亟待突破
2023-01-13 09:06:233

市場空間巨大,SiC國產(chǎn)化趨勢加速.zip

市場空間巨大,SiC國產(chǎn)化趨勢加速
2023-01-13 09:07:052

2023年國產(chǎn)SiC上車

2023年國產(chǎn)SiC上車
2023-10-31 23:02:000

國產(chǎn)薄片激光實現(xiàn)突破!

高功率超快激光器應(yīng)用于先進制造、信息、微電子、醫(yī)療、能源、軍事等領(lǐng)域,相關(guān)科技應(yīng)用研究對推進國家戰(zhàn)略發(fā)展至關(guān)重要。激光增益器件是高功率超快激光器的核心基礎(chǔ)材料,受到世界各國的高度關(guān)注。
2023-11-21 10:52:44235

2家SiC材料廠完成數(shù)億元新一輪融資

去年7月,超芯星6英寸SiC襯底進入美國一流器件廠商,由此成功打入美國市場;同年,超芯星成功研制出8英寸SiC襯底;今年7月,超芯星在官微宣布,公司已與國內(nèi)知名下游客戶簽訂了8英寸SiC深度戰(zhàn)略合作協(xié)議。為滿足國內(nèi)外市場需求,超芯星計劃將6-8英寸SiC襯底的年產(chǎn)量提升至150萬片。
2023-12-15 17:16:161131

大尺寸SiC單晶的研究進展

在新能源產(chǎn)業(yè)強勁需求下,全球SiC產(chǎn)業(yè)步入高速成長期,推升了對SiC襯底產(chǎn)能的需求。
2023-12-19 10:09:18295

海目星激光重磅推出高智能雙層寬幅高速涂布機

海目星激光重磅推出高智能雙層寬幅高速涂布機,具備更精密的工藝制程、更智能的生產(chǎn)過程、更高的生產(chǎn)效率,突破鋰電高端產(chǎn)能。
2024-01-18 10:36:29256

碳化硅襯底價格戰(zhàn)風(fēng)起云涌?聽產(chǎn)業(yè)鏈上市公司怎么說

對于一線SiC廠商掀起“價格戰(zhàn)”、SiC襯底降價近三成等說法,業(yè)內(nèi)持有不同觀點。
2024-02-23 11:14:58130

8英寸SiC襯底陣容加速發(fā)展 全球8英寸SiC晶圓廠將達11座

近年來,隨著碳化硅(SiC襯底需求的持續(xù)激增,降低SiC成本的呼聲日益強烈,最終產(chǎn)品價格仍然是消費者的關(guān)鍵決定因素。SiC襯底的成本在整個成本結(jié)構(gòu)中占比最高,達到50%左右。
2024-03-08 14:24:32197

融資2億!這家SiC企業(yè)加快IPO進程

前不久,SiC晶錠襯底企業(yè)博雅新材公布IPO進度,近日,該公司完成了2億元融資,加快IPO進程。
2024-03-14 11:39:49374

差距縮至2年內(nèi)!國內(nèi)8英寸SiC襯底最新進展

SiC晶圓廠,也意味著8英寸襯底正式拉開量產(chǎn)大幕。 ? 那么8英寸襯底有哪些優(yōu)點以及技術(shù)難點,目前國內(nèi)廠商的進度又如何?近期包括天科合達、爍科晶體等廠商以及產(chǎn)業(yè)人士都分享了一些最新觀點。 ? 8 英寸碳化硅襯底的必要性 ? 正如硅基芯片所用到的
2023-06-22 00:16:002283

車規(guī)產(chǎn)品井噴!盤點2023年推出的國產(chǎn)車規(guī)SiC MOSFET產(chǎn)品

電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/梁浩斌)在過去的2023年里,國內(nèi)碳化硅產(chǎn)業(yè)經(jīng)歷了可能是發(fā)展速度最快的一年。首先是碳化硅襯底取得突破,8英寸進展神速,同時三安和天岳先進、天科合達等獲得海外芯片巨頭的認可,簽下
2024-01-16 09:03:131704

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