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電子發(fā)燒友網(wǎng)>今日頭條>如何減少硅晶片表面上的金屬雜質(zhì)

如何減少硅晶片表面上的金屬雜質(zhì)

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濺射工藝對晶片碎片的影響

  介紹了半導體晶片制造設(shè)備濺射機和濺射工藝對晶片碎片的影響,給出了如何減少晶片應(yīng)力以達到少碎片的目的。
2022-03-10 14:45:082

Cu雜質(zhì)對Si(110)濕法蝕刻的影響

我們在蝕刻的硅(110)表面上實驗觀察到的梯形小丘的形成,描述它們的一般幾何形狀并分析關(guān)鍵表面位置的相對穩(wěn)定性和(或)反應(yīng)性。在我們的模型中,小丘被蝕刻劑中的銅雜質(zhì)穩(wěn)定,銅雜質(zhì)吸附在表面上并作
2022-03-10 16:15:56228

IPA蒸汽干燥硅晶片中的水分實驗研究

后異丙醇(IPA)的解吸和晶片中的水分。結(jié)果表明,在這些實驗條件下,定性和定量的微量雜質(zhì)小至單分子吸附層的1/10。結(jié)果證實,濕化學過程和干燥方法對晶片表面條件的影響。
2022-03-10 16:17:53787

半導體制造中有效的濕法清洗工藝

隨著器件尺寸縮小到深亞微米級,半導體制造中有效的濕法清洗工藝對于去除硅晶片表面上的殘留污染物至關(guān)重要。GOI強烈依賴于氧化前的晶片清潔度,不同的污染物對器件可靠性有不同的影響,硅表面上的顆粒導致
2022-03-21 13:39:405472

硅晶圓表面金屬在清洗液中的行為

隨著器件的集成化,對Si晶片的要求也變得更加嚴格,降低晶片表面金屬污染變得重要,這是因為Si晶片表面金屬污染被認為是氧化膜耐壓和漏電流等電特性劣化的原因。在Si晶圓的清洗中RCA清洗被廣泛
2022-03-21 13:40:12469

用蝕刻法測定硅晶片表面金屬雜質(zhì)

本研究為了將硅晶片中設(shè)備激活區(qū)的金屬雜質(zhì)分析為ICP-MS或GE\AS,利用HF和HNQ混酸對硅晶片進行不同厚度的重復(fù)蝕刻,在晶片內(nèi)表面附近,研究了定量分析特定區(qū)域中金屬雜質(zhì)的方法。
2022-03-21 16:15:07338

使用臭氧和HF清洗去除金屬雜質(zhì)的研究

本研究在實際單位工藝中容易誤染,用傳統(tǒng)的濕式清潔方法去除的Cu和Fe等金屬雜質(zhì),為了提高效率,只進行了HF濕式清洗,考察了對表面粗糙度的影響,為了知道上面提出的清洗的效果,測量了金屬雜質(zhì)的去除
2022-03-24 17:10:271758

晶硅晶片表面組織工藝優(yōu)化研究

本文章將對表面組織工藝優(yōu)化進行研究,多晶硅晶片表面組織化工藝主要分為干法和濕法,其中利用酸或堿性溶液的濕法蝕刻工藝在時間和成本上都比較優(yōu)秀,主要適用于太陽能電池量產(chǎn)工藝。本研究在多晶晶片表面組織化
2022-03-25 16:33:49516

Si晶圓表面金屬在清洗液中的應(yīng)用研究

隨著器件的集成化,對Si晶片的要求也變得更加嚴格,降低晶片表面金屬污染變得重要,這是因為Si晶片表面金屬污染被認為是氧化膜耐壓和漏電流等電特性劣化的原因。在Si晶圓的清洗中RCA清洗被廣泛
2022-03-28 15:08:53990

濕式化學清洗過程對硅晶片表面微粒度的影響

比的APM清洗被發(fā)現(xiàn)可以非常有效地清除硅表面的顆粒和金屬雜質(zhì)。由于APM清洗而導致的微粒度的增加在不同的晶片類型中有所不同;在EPI晶圓上觀察到很少增加,但在CZ和FZ晶片上觀察到顯著增加。然而,
2022-04-14 13:57:20459

硅晶圓表面金屬及粒子的附著行為

隨著器件的高集成化,對高質(zhì)量硅晶片的期望。高質(zhì)量晶片是指晶體質(zhì)量、加工質(zhì)量以及表面質(zhì)量優(yōu)異的晶片。此外,芯片尺寸的擴大、制造成本的增加等問題受到重視,近年來,對300mm晶片的實用化進行了研究。隨著
2022-04-18 16:33:59879

利用蝕刻法消除硅晶片表面金屬雜質(zhì)?

為了將硅晶片中設(shè)備激活區(qū)的金屬雜質(zhì)分析為ICP-MS或GE\AS,利用HF和HNQ混酸對硅晶片進行不同厚度的重復(fù)蝕刻,在晶片內(nèi)表面附近,研究了定量分析特定區(qū)域中消除金屬雜質(zhì)的方法。
2022-04-24 14:59:23497

PFA表面上的IPA冷凝和電荷去除研究

張力和對水的高溶解度,它適合于IPA蒸汽工藝以完美地消除晶片表面的污染。該干燥系統(tǒng)還具有消除靜電的能力,基本上可以達到高質(zhì)量的表面清潔度。因此,我們采用直接測量靜電荷的定量方法,研究了靜電荷的去除機理。
2022-04-29 15:08:00706

蝕刻作為硅晶片化學鍍前的表面預(yù)處理的效果

金屬涂層,如銅膜,可以很容易地沉積在半導體材料上,如硅晶片,而無需使無電鍍工藝進行預(yù)先的表面預(yù)處理。然而,銅膜的粘附性可能非常弱,并且容易剝離。在本研究中,研究了在氫氟酸溶液中蝕刻作為硅晶片化學鍍
2022-04-29 15:09:06464

通過兩步濕化學表面清洗來結(jié)合硅和石英玻璃晶片的工藝

。終止于清潔表面上的氨基可能有助于退火過程中結(jié)合強度的提高。這種具有成本效益的鍵合工藝對于硅基和玻璃基異質(zhì)集成具有巨大的潛力,而不需要真空系統(tǒng)。 實驗結(jié)果和討論 圖1(a)。在裂紋打開方法中,剃刀刀片幾乎不能插入到結(jié)合的
2022-05-07 15:49:061091

晶片的清洗技術(shù)

本文闡述了金屬雜質(zhì)和顆粒雜質(zhì)在硅片表面的粘附機理,并提出了一些清洗方法。
2022-05-11 16:10:274

一種快速、無需材料改性以及額外工藝的液態(tài)金屬柔性電子的加工工藝

為了獲得所需的液態(tài)金屬印章,通過激光雕刻厚度為200μm的粘合片以獲得預(yù)設(shè)計的圖案,然后將其貼在覆蓋有一層銅膠帶的培養(yǎng)皿上,并將液態(tài)金屬滴在掩蔽的銅表面上,再加入NaOH(1.0mol/L)溶液以去除液態(tài)金屬表面的氧化層(Ga?O?)。
2022-06-10 09:23:532048

晶片的清洗技術(shù)

摘要 隨著越來越高的VLSIs集成度成為商業(yè)實踐,對高質(zhì)量晶片的需求越來越大。對于表面上幾乎沒有金屬雜質(zhì)、顆粒和有機物的高度潔凈的晶片來說,尤其如此。為了生產(chǎn)高清潔度的晶片,有必要通過對表面雜質(zhì)行為
2022-07-11 15:55:451025

金屬材料的使用性能

化學腐蝕是金屬與周圍介質(zhì)直接起化學作用的結(jié)果,它包括氣體腐蝕和金屬在非電解質(zhì)中腐蝕兩種腐蝕形式。其特點是腐蝕過程不產(chǎn)生電流,并且腐蝕產(chǎn)物沉積在金屬表面上。如純鐵在水中或在高溫下受蒸汽和氣體的作用而引起的生銹現(xiàn)象,就是化學腐蝕的典型例子。
2022-07-12 15:35:421820

RCA清洗中晶片表面的顆粒粘附和去除

溶液中顆粒和晶片表面之間發(fā)生的基本相互作用是范德華力(分子相互作用)和靜電力(雙電層的相互作用)。近年來,與符合上述兩種作用的溶液中的晶片表面上的顆粒粘附機制相關(guān)的研究蓬勃發(fā)展,并為闡明顆粒粘附機制做了大量工作。
2022-07-13 17:18:441491

光滑表面上功能液滴的主動操縱

為了方便地操縱功能性液滴,研究人員構(gòu)建了一個穩(wěn)定的光滑凝膠表面。如圖1a所示,研究人員用旋涂的方式在玻璃基板上制備了PDMS基底。接著,在PDMS表面涂抹硅油后,獲得了光滑的PDMS表面。
2022-09-09 09:33:59645

一種將電子電路直接印刷到彎曲和波紋表面上的新技術(shù)

的步驟來去除這些黏合劑。第二個挑戰(zhàn)是,這些打印技術(shù)通常需要在平坦表面上打印,但許多應(yīng)用并不具備這樣的條件。
2022-11-24 14:41:57480

圖文詳解表面處理工藝流程

表面處理是在基體材料表面上人工形成一層與基體的機械、物理和化學性能不同的表層的工藝方法。
2023-05-22 11:07:221514

一文看懂金屬表面改性技術(shù)

電鍍是一種利用電化學性質(zhì),在鍍件表面上沉積所需形態(tài)的金屬覆層的表面處理工藝。 電鍍原理:在含有欲鍍金屬的鹽類溶液中,以被鍍基體金屬為陰極,通過電解作用,使鍍液中欲鍍金屬的陽離子在基體金屬表面沉積,形成鍍層。如圖13所示。
2023-05-29 12:07:23644

什么是吸附?在COMSOL中模擬表面吸附

有時候,化學物質(zhì)會吸附在表面上,這種現(xiàn)象可能發(fā)生在氣相中的固體表面以及浸沒在液體溶液中的固體表面。
2023-06-05 11:25:291228

針對去離子水在晶片表面處理的應(yīng)用的研究

隨著半導體科技的發(fā)展,在固態(tài)微電子器件制造中,人們對清潔基底表面越來越重視。濕法清洗一般使用無機酸、堿和氧化劑,以達到去除光阻劑、顆粒、輕有機物、金屬污染物以及硅片表面上的天然氧化物的目的。然而,隨著硅電路和器件結(jié)構(gòu)規(guī)模的不斷減小,英思特仍在專注于探索有效可靠的清潔方法以實現(xiàn)更好的清潔晶圓表面
2023-06-05 17:18:50437

基于ic555和蜂鳴器的金屬探測器電路

金屬探測器是能夠檢測表面上金屬元素的小工具。探測器可以檢測金屬的距離取決于它可以覆蓋的探測器范圍。在這個金屬檢測機電路中,我們使用定時器IC555和電感器來檢測金屬,并通過簡單的蜂鳴器發(fā)出警報來提醒用戶。
2023-06-18 11:16:421186

深度解讀硅微納技術(shù)之蝕刻技術(shù)

蝕刻是一種從材料上去除的過程?;?b class="flag-6" style="color: red">表面上的一種薄膜基片。當掩碼層用于保護特定區(qū)域時在晶片表面,蝕刻的目的是“精確”移除未覆蓋的材料戴著面具。
2023-07-12 09:26:03190

深度解讀硅微納技術(shù)之的蝕刻技術(shù)

蝕刻是一種從材料上去除的過程?;?b class="flag-6" style="color: red">表面上的一種薄膜基片。當掩碼層用于保護特定區(qū)域時在晶片表面,蝕刻的目的是“精確”移除未覆蓋的材料戴著面具。
2023-07-14 11:13:32183

M16插頭表面鍍層對產(chǎn)品的質(zhì)量有無影響

M16插頭表面鍍層對產(chǎn)品的質(zhì)量有影響。表面鍍層是在連接器的金屬表面上涂覆一層特殊材料,通常用于提高連接器的性能和保護其金屬部件。
2023-08-05 11:39:18462

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