相信每個人或多或少都聽過報章雜志提到微機電系統(tǒng)(以下簡稱MEMS: Micro Electronic Mechanical System)，而意法半導(dǎo)體(STMicroelectronic
2011-01-27 09:19:05
2081 
微機電系統(tǒng)（MEMS）是飛思卡爾應(yīng)用于加速度和壓力傳感器的技術(shù)?；?b class="flag-6" style="color: red">MEMS的傳感器產(chǎn)品有一個接口，通過該接口可以感應(yīng)、處理和/或控制周圍環(huán)境。
2015-03-23 14:45:051729 是一篇比較嚴肅的MEMS技術(shù)科普文章，作者是MEMS技術(shù)博士，然而文中深入淺出，并沒有深奧到難以看懂，并且配有多圖微觀圖片講解，是小編看過最好的MEMS技術(shù)科普內(nèi)容！ 寫在前面 雖然大部分人對于MEMS（Microelectromechanical systems，微機電
2023-08-21 17:23:164251 
MEMS技術(shù)
2012-08-14 23:03:38
進入市場。微機械繼電器（MMR），比如歐姆龍開發(fā)的，這種繼電器更快，更高效，其集成度前所未有。歐姆龍發(fā)揮了自己的微機電系統(tǒng)專業(yè)優(yōu)勢，為市場帶來新款溫度傳感器：D6T非接觸式MEMS溫度傳感器。該D6TMEMS制作
2018-11-07 11:00:01
更新等信息的近眼顯示雙目鏡就在你的眼前顯示信息。這只是有可能用基于微機電系統(tǒng) (MEMS) 的投影顯示技術(shù)來實現(xiàn)技術(shù)進步的幾個創(chuàng)新型應(yīng)用示例?；?b class="flag-6" style="color: red">MEMS的TI TI DLP? Pico? 投影顯示
2018-09-06 14:58:52
如果一款移動電話設(shè)計要能實現(xiàn)未來用戶所期望的各項廣泛服務(wù)，創(chuàng)造性思維是不可或缺的；而許多產(chǎn)業(yè)觀察者認為，微機電系統(tǒng)(MEMS)將是實現(xiàn)這種設(shè)計的下一波技術(shù)。
2019-06-26 06:59:26
哪位大佬可以詳細介紹下MEMS技術(shù)到底是什么
2020-11-25 07:23:59
微機電系統(tǒng)（MEMS，Micro-Electro-Mechanical System）是指集微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。其尺寸
2018-10-15 10:47:43
（羅盤）。這些微型元件稱為MEMS（微機電系統(tǒng)），構(gòu)成了小巧輕便的運動跟蹤系統(tǒng)，與以前的產(chǎn)品相比，精度更高、可靠性更好且生產(chǎn)成本更低。那么，大家知道MEMS技術(shù)究竟有多重要嗎？
2019-07-31 07:24:21
從可穿戴設(shè)備到家庭助理，越來越多的設(shè)備利用麥克風(fēng)準確捕捉幾乎任何聲音。麥克風(fēng)構(gòu)造中最常用的兩種技術(shù)是微機電系統(tǒng)（MEMS）麥克風(fēng)和駐極體電容式麥克風(fēng)（ECM），其中任何一種都有許多用例。本文將回
2019-02-23 14:05:47
MEMS（微機電系統(tǒng)）傳聲器為在各類設(shè)備中添加高級通信和監(jiān)控功能擴展了機會。目前家庭數(shù)字助理和支持語音的導(dǎo)航設(shè)備的普及只是其中幾個例子，還有更多跡象證明語音控制電子產(chǎn)品開始了巨大增長。鑒于MEMS技術(shù)已開始主導(dǎo)傳聲器領(lǐng)域的市場份額，現(xiàn)在正是審視MEMS傳聲器電氣接口的現(xiàn)有類型和用法的好時機。
2019-08-08 08:43:37
`什么是MEMS傳感器？MEMS的全稱是微型電子機械系統(tǒng)（Micro-ElectroMechanical System），微機電系統(tǒng)是指可批量制作的，將微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理
2016-12-09 17:46:21
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機電系統(tǒng)的縮寫，MEMS技術(shù)建立在微米/納米基礎(chǔ)上，是對微米/納米材料進行設(shè)計、加工、制造、測量和控制的技術(shù)，完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。
2019-09-29 09:34:52
MEMS是微機電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical SySTems）是指可批量制作的，集微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型
2018-09-07 15:24:09
結(jié)構(gòu)材料，而不是使用基材本身。[23]表面微機械加工創(chuàng)建于1980年代后期，旨在使硅的微機械加工與平面集成電路技術(shù)更加兼容，其目標是在同一硅晶片上結(jié)合MEMS和集成電路。最初的表面微加工概念基于薄多晶硅
2021-01-05 10:33:12
MEMS(微機電系統(tǒng))是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機電系統(tǒng)。
2019-10-16 08:34:16
隨著微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)在微型化技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合了電子、機械、材料等多種學(xué)科交叉融合的前沿科研領(lǐng)域的不斷發(fā)展與成熟，從而出現(xiàn)了很多基于MEMS技術(shù)的傳感器，此類傳感器具有體積小、重量輕、低功耗、多功能等優(yōu)點，在電子產(chǎn)品、航空航天、機械化工等行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。
2020-08-27 06:09:30
試圖開發(fā)MEMS開關(guān)技術(shù)的公司停滯不前。Foxboro Company是最早開始MEMS開關(guān)研究的公司之一，其于1984年申請了世界最早的機電開關(guān)專利之一。ADI公司自1990年開始通過一些學(xué)術(shù)項目涉足
2018-10-17 10:52:05
微機電系統(tǒng) (MEMS) 將很快成為智能系統(tǒng)設(shè)計和構(gòu)造不可或缺的部分。這些器件縮短了物理世界和電子世界之間的差距，它們用于眾多應(yīng)用，涉及各種細分市場。在眾多細分市場中，價格降低、準確度要求提高和快速面市需求將對設(shè)計和制造性能提出新的約束條件。企業(yè)要獲得成功必須找到新的方法來應(yīng)對這些挑戰(zhàn)。
2019-10-17 07:11:28
歷經(jīng)十多年前的發(fā)展，MEMS（微機電系統(tǒng), Micro-Electro-Mechanical System）逐漸衍變成消費類市場的重要推手，可謂是在手持式產(chǎn)品里風(fēng)生水起，尤其在手機應(yīng)用上更是如魚得水。
2019-08-02 06:53:16
`作為一種新型封裝器件，微機電系統(tǒng)(MEMS)將成為21世紀電子領(lǐng)域的重要技術(shù)之一，但是對于如何在PCB上裝配MEMS，中國工程師仍知之甚少。要想在這一新興技術(shù)領(lǐng)域占有一席之地，除了開發(fā)設(shè)計外
2014-08-19 15:50:19
專門從事反向工程和成本分析的公司），進行MEMS麥克風(fēng)技術(shù)和專利侵權(quán)風(fēng)險分析，利用他們獨一無二的經(jīng)驗，結(jié)合技術(shù)和制造分析以及對專利權(quán)利要求的理解，來詳細講解樓氏電子、意法半導(dǎo)體/歐姆龍、瑞聲聲學(xué)/英飛凌
2015-05-15 15:17:00
` 本帖最后由 大白菜YQ 于 2019-3-25 14:03 編輯
ICS-40212模擬麥克風(fēng)是一款微機電系統(tǒng) (MEMS) 麥克風(fēng)，具有極高動態(tài)范圍和低功耗常開模式。該麥克風(fēng)包含MEMS
2018-11-08 10:13:52
系統(tǒng)技術(shù)基礎(chǔ)所涉及的材料、微機械設(shè)計和模、微細加工技術(shù)以及微封裝與測試等領(lǐng)域,并對微機電系統(tǒng)的應(yīng)用、典型的微器件、國內(nèi)外的發(fā)展現(xiàn)狀及前景進行全面分析. 在此基礎(chǔ)上,論述了MEMS 技術(shù)目前存在
2009-03-17 15:29:51
微機電系統(tǒng)（MEMS）
2021-01-09 10:18:48
導(dǎo)讀：傳感器性能對MEMS和ASIC參數(shù)的高度依賴性表明，閉環(huán)傳感器的系統(tǒng)級設(shè)計需要做大量的折衷考慮，其中的ASIC噪聲預(yù)算、激勵電壓、功耗和技術(shù)都高度依賴于MEMS參數(shù)。 微機械式慣性傳感器
2018-12-05 15:12:05
微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS
2016-08-04 15:08:50
微機電系統(tǒng)，大大提高了器件的功能和效率，已顯示出了巨大的生命力。MEMS技術(shù)的發(fā)展有可能會像微電子一樣，對科學(xué)技術(shù)和人類生活產(chǎn)生革命性的影響，尤其對微小衛(wèi)星的發(fā)展影響更加深遠，必將為大批量生產(chǎn)低成本
2019-07-18 13:49:09
了現(xiàn)有音頻鏈的局限性。 IM69D130專為需要低自噪聲（高SNR），寬動態(tài)范圍，低失真和高聲學(xué)過載點的應(yīng)用而設(shè)計，從而可以實現(xiàn)以前無法做到的高精度語音識別。 近年來，微機電系統(tǒng)（MEMS）麥克風(fēng)技術(shù)
2020-09-01 18:48:02
衰減器技術(shù)實現(xiàn)無干擾(Hitless)功能,相對于使用二維MEMS轉(zhuǎn)鏡同時實現(xiàn)波長切換和Hitless功能的WSS。其具有技術(shù)成熟,成本相對低廉等優(yōu)點。理論分析并數(shù)值模擬了該WSS的幾個關(guān)鍵參數(shù),實際
2010-06-02 10:05:15
）04-0193-04 基于微機電系統(tǒng)（MicroelectromechanicalSystem, MEMS）技術(shù)的電磁型器件，特別是采用軟磁薄膜功能材料的電磁器件，如電磁MEMS開關(guān)等，因其工藝復(fù)雜而
2019-07-04 08:14:01
什么是MEMS？MEMS = Micro-Electro-Mechanical System, 是用半導(dǎo)體技術(shù)，在半導(dǎo)體材料上刻蝕出來的微機械結(jié)構(gòu)。下圖左邊是MEMS制程做出的微機械齒輪與螨蟲的大小對比，右邊是一個200um的微機械風(fēng)扇葉片放大圖。
2019-09-12 09:05:05
什么是RF MEMS？有哪些關(guān)鍵技術(shù)與器件？微電子機械系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystem)，簡稱MEMS，是以微電子技術(shù)為基礎(chǔ)而興起發(fā)展的，以硅、砷化鎵、藍寶石等為襯底
2019-08-01 06:17:43
`MEMS全稱Micro Electromechanical System（微機電系統(tǒng)），是一種通常在硅晶圓上以IC工藝制備的微機電系統(tǒng)，微機械結(jié)構(gòu)的制備工藝包括光刻、離子束刻蝕、化學(xué)腐蝕、晶片鍵合
2020-05-12 17:27:14
最近幾年利用微機電系統(tǒng)（MEMS；Micro Electro Mechanical System）技術(shù)，在硅晶圓基板表面制作機電結(jié)構(gòu)的技術(shù)備受關(guān)注，主要原因移動電話與WLAN（Wireless
2019-06-25 08:07:16
如果一款移動電話設(shè)計要能實現(xiàn)未來用戶所期望的各項廣泛服務(wù)，創(chuàng)造性思維是不可或缺的；而許多產(chǎn)業(yè)觀察者認為，微機電系統(tǒng)(MEMS)將是實現(xiàn)這種設(shè)計的下一波技術(shù)。 事實上，MEMS元件的推出已證實了其在
2019-07-26 08:16:54
如果一款移動電話設(shè)計要能實現(xiàn)未來用戶所期望的各項廣泛服務(wù)，創(chuàng)造性思維是不可或缺的；而許多產(chǎn)業(yè)觀察者認為，微機電系統(tǒng)(MEMS)將是實現(xiàn)這種設(shè)計的下一波技術(shù)。 事實上，MEMS元件的推出已證實了其在
2019-07-26 06:22:58
盡管MEMS（微機電系統(tǒng)）技術(shù)在氣囊和汽車壓力傳感器中的應(yīng)用已有大約20年，但促使大眾認識到慣性傳感器作用的是任天堂的 Wii?和Apple? iPhone?手機。然而，在一定程度上，流行的看法
2019-07-16 06:49:53
關(guān)榮鋒(河南理工大學(xué) 材料科學(xué)與工程學(xué)院，河南 焦作454003)1引言MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新技術(shù)，用MEMS技術(shù)研制的壓力傳感器具有體積小
2019-07-16 08:00:59
當前MEMS技術(shù)在傳感器領(lǐng)域已得到廣泛應(yīng)用并取得了巨大成功。使用硅基微機械加工方法制作的微傳感器不僅體積小，成本低，機械牲好，并且能方便地與IC集成。形成復(fù)雜的微系統(tǒng)。
2011-03-22 17:44:34
移動電話設(shè)計要能實現(xiàn)未來用戶所期望的各項廣泛服務(wù)，創(chuàng)造性思維是不可或缺的；而許多產(chǎn)業(yè)觀察者認為，微機電系統(tǒng)(MEMS)將是實現(xiàn)這種設(shè)計的下一波技術(shù)。
2019-10-08 06:52:41
的一副近眼顯示眼鏡，能夠在你眼前顯示導(dǎo)航和社交媒體更新等信息。這些僅僅是眾多基于微機電系統(tǒng)（MEMS）投影顯示技術(shù)的進步而帶來的創(chuàng)新應(yīng)用中的少數(shù)幾個示例。基于MEMS的TI DLP? Pico? 投影顯示
2022-11-16 08:04:25
Akustica公司發(fā)布宣稱是全球最小的麥克風(fēng)。這款僅有1-mm2大小的麥克風(fēng)采用了一個微機電系統(tǒng)(MEMS)振膜和芯片上互補型CMOS模擬電路。該整合芯片占位面積據(jù)稱只有其它雙芯片MEMS麥克風(fēng)競爭產(chǎn)品的25%。
2019-08-16 06:37:05
最高并行測試。機電繼電器的帶寬窄、動作壽命有限、通道數(shù)有限以及封裝尺寸較大，因此對系統(tǒng)設(shè)計人員的限制日益增大。微機電系統(tǒng) (MEMS) 開關(guān)具有創(chuàng)新性，可以替代繼電器并將行業(yè)推向更高水平。憑借內(nèi)部最先
2018-11-01 11:02:56
MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器都有哪些優(yōu)點？為什么MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器受消費者歡迎？
2021-06-17 07:45:15
微機電系統(tǒng)(MEMS)感測器制造技術(shù)邁入新里程碑。意法半導(dǎo)體(ST)宣布成功結(jié)合面型微加工(Surface-micromachining)和體型微加工(Bulk-micromachining)制程
2020-05-05 06:36:14
田的一員。Murata Electronics Oy運用了獨特的3D-MEMS（三維MEMS）技術(shù)向市場提供了高性能以及高可靠性的MEMS傳感器。
2019-07-04 06:06:12
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)是通過使用先進的微制造技術(shù)將機械器件、傳感器和電子組件部署在單個硅基板上而實現(xiàn)。如今，這些技術(shù)已經(jīng)逐漸取代了汽車市場各種車型使用的大部分傳感裝置，并帶來系統(tǒng)在降低成本、持續(xù)可靠性（由于固有的穩(wěn)健性）、空間利用（由于其緊湊的尺寸）以及工作性能等方面相當大的設(shè)計優(yōu)勢。
2019-08-02 06:35:04
微機電系統(tǒng)(MEMS)運動IC在走向更高的集成度、更小的芯片尺寸、更低的成本以及更高的性能和可靠性。這些趨勢在最新的加速度計、陀螺儀和慣性測量單元(IMU)上得到了體現(xiàn)，使得MEMS器件得以滿足多種下一代電子產(chǎn)品，特別是消費電子產(chǎn)品的需求。
2019-10-29 07:52:04
隨著傳感器、物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的大規(guī)模落地，微機電系統(tǒng)（MEMS）在近些年應(yīng)用越來越廣泛，MEMS的存在可以減小電子器件的大小。同時，與之相對應(yīng)的MEMS封裝也開始備受關(guān)注。
2020-05-12 10:23:29
加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項革命性的新技術(shù)
2016-07-27 11:46:44
微機電系統(tǒng)（MEMS）是當前一個發(fā)展極為迅速并涉及多個學(xué)科的領(lǐng)域。本文主要介紹了微機電系統(tǒng)的產(chǎn)生與發(fā)展過程，討論了它所采用的材料和加工技術(shù)、該技術(shù)涉及的各個學(xué)科，
2009-05-25 09:34:02
6 分析了分布式微機電系統(tǒng)特點，對基于多主體控制的分布式微機電系統(tǒng)構(gòu)成進行了研究，提出了采用多主體技術(shù)實現(xiàn)分布式MEMS控制的框架。對系統(tǒng)的模型、微機電主體的結(jié)構(gòu)、行為
2009-05-25 21:40:3721 微機電系統(tǒng)是一個新興的技術(shù)領(lǐng)域. 闡述了微機電系統(tǒng)的特點、加工工藝、應(yīng)用及其現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢.[關(guān)鍵詞] 微機電系統(tǒng);微機械;微傳感器;微細加工技術(shù)
2009-06-20 10:59:1935 SOC 片上系統(tǒng)在國民經(jīng)濟與社會生活中，許多行業(yè)生產(chǎn)了所需求的產(chǎn)品。MEMS微機電系統(tǒng)和Smart Dust 智能微塵的出現(xiàn)，不但使生產(chǎn)、生活產(chǎn)生
2009-09-15 08:17:1518 微機電系統(tǒng)（MEMS）是當前一個發(fā)展極為迅速并涉及多個學(xué)科的領(lǐng)域。本文主要介紹了微機電系統(tǒng)的產(chǎn)生與發(fā)展過程，討論了它所采用的材料和加工技術(shù)、該技術(shù)涉及的各個學(xué)科，
2009-11-23 13:32:5914 介紹了微機電(MEMS)封裝技術(shù),包括晶片級封裝、單芯片封裝和多芯片封裝、模塊式封裝與倒裝焊3種很有前景的封裝技術(shù)。指出了MEMS封裝的幾個可靠性問題,最后,對MEMS封裝的發(fā)展趨勢
2009-12-29 23:58:1642 摘要：對微機電系統(tǒng)（Micro Electro Mechanical Systems,MEMS）組裝與封裝工藝的特點進行了總結(jié)分析，給出了MEMS組裝與封裝設(shè)備的研究現(xiàn)狀。針對MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的特點，分析了面向MEMS組裝與
2010-11-12 02:10:2945 據(jù)iSuppli公司的最新調(diào)研，微機電 (MEMS)汽車傳感器將在2010年強勁反彈，預(yù)計2010年全球汽車MEMS傳感器出貨量將達到5.912億個，比2009年的5.020億勁增17.8%。2009年MEMS傳感器市場劇烈波動
2010-06-28 08:07:20494 DIGITIMES Research指出，微機電系統(tǒng)(MEMS)慣性組件應(yīng)用已起飛，目前尤以手機中的應(yīng)用最被全球業(yè)者所看好，故業(yè)者將
2010-11-23 09:14:55975 MEMS微機電系統(tǒng)基本上是指尺寸在幾厘米以下乃至更小的小型裝置，是一個獨立的智能系統(tǒng)，主要由傳感順、作動器(執(zhí)行器)和微能源三大部分組成。
2011-09-13 17:28:432490 微機電系統(tǒng)，英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫)，其是隨著半導(dǎo)體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。
2011-09-13 17:33:583874 微機電系統(tǒng)，英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫)，其是隨著半導(dǎo)體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。
2011-09-13 17:36:273175 微機電系統(tǒng)技術(shù)統(tǒng)有多種原材料和制造技術(shù)，選擇條件是系統(tǒng)的應(yīng)用、市場等等。
2011-09-13 17:39:492123 微機電系統(tǒng)，英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫)，其是隨著半導(dǎo)體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的.電子發(fā)燒友為大家提供了詳盡的技術(shù)知識。
2011-09-13 17:02:18
模擬IC設(shè)計公司SiTime發(fā)表以矽MEMS技術(shù)取代石英振蕩器OCXO和TCXO的新產(chǎn)品，運用微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)將各種頻率燒制成一顆IC，可減少體積及成本，并以標準化制程，縮短生產(chǎn)時程。SiTim
2011-11-16 10:32:07626 mems (微機電系統(tǒng))傳感器;有三項MEMS技術(shù)產(chǎn)品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器;
2011-12-28 10:28:551083 市場研究機構(gòu)Yole Developpement公布最新前三十大微機電系統(tǒng)(MEMS)業(yè)者排名。
2012-03-29 09:55:351590 
mems（微機電系統(tǒng)）傳感器;有三項MEMS技術(shù)產(chǎn)品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器;
2012-12-11 14:31:37931 微機電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-MechanicSystem）是一種先進的制造技術(shù)平臺。它是以半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的。MEMS更側(cè)重于超精密機械加工，并要涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。
2013-01-22 16:50:122220 Mouser Electronics宣布在Mouser.com上推出全新的技術(shù)網(wǎng)站，內(nèi)容涉及微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)。 新網(wǎng)站旨在幫助設(shè)計工程師根據(jù)應(yīng)用查找最新的MEMS產(chǎn)品，協(xié)助他們方便地訪問最新的技術(shù)資源，并加快設(shè)計過程。
2013-05-17 15:19:55653 汽車 mems （微機電系統(tǒng)）傳感器;有三項MEMS技術(shù)產(chǎn)品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器。
2018-04-11 11:35:001567 
雖然大部分人對于MEMS（Microelectromechanical systems，微機電系統(tǒng)/微機械/微系統(tǒng)）還是感到很陌生，但是其實MEMS在我們生產(chǎn)，甚至生活中早已無處不在了，智能手機
2018-07-13 14:09:001163 2011年11月ADI高校講座系列-MEMS(微機電系統(tǒng)): 第三部分
2019-08-06 06:18:002952 隨著傳感器、物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的大規(guī)模落地，微機電系統(tǒng)（MEMS）在近些年應(yīng)用越來越廣泛，MEMS的存在可以減小電子器件的大小。同時，與之相對應(yīng)的MEMS封裝也開始備受關(guān)注。
2020-05-11 17:27:55988 
MEMS全稱Micro Electromechanical System（微機電系統(tǒng)），是一種通常在硅晶圓上以IC工藝制備的微機電系統(tǒng)，微機械結(jié)構(gòu)的制備工藝包括光刻、離子束刻蝕、化學(xué)腐蝕、晶片
2020-05-16 10:02:262954 微機電系統(tǒng)（MEMS），在歐洲也被稱為微系統(tǒng)技術(shù)，或在日本被稱為微機械，是一類器件，其特點是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS是指采用微機械加工技術(shù)批量制作的、集微型傳感器、微型機構(gòu)、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口、通訊等于一體的微型器件或微型系統(tǒng)。
2020-07-10 16:23:202123 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)使用半導(dǎo)體制造工藝來生產(chǎn)尺寸范圍從小于一微米到幾毫米的小型化機械和機電元件。MEMS設(shè)備可以從沒有運動元件的相對簡單的結(jié)構(gòu)到具有多個運動元件的復(fù)雜的機電系統(tǒng)。
2020-07-22 18:06:094553 
：更小的尺寸、更加廣泛的應(yīng)用，以及即使是在低壓、極短的放映時間內(nèi)也能達到精確的氣體密度測量。 1.什么是MEMS技術(shù)： MEMS的全稱，是Micro-Electro-Mechanical Systems，即微機電系統(tǒng)，該技術(shù)是基于硅半導(dǎo)體技術(shù)的基礎(chǔ)上，在復(fù)雜的微系統(tǒng)中結(jié)合了微電子和微機械等功能。是在
2020-12-28 15:42:4019381 MEMS全稱Micro Electromechanical System（微機電系統(tǒng)），是一種通常在硅晶圓上以IC工藝制備的微機電系統(tǒng)，微機械結(jié)構(gòu)的制備工藝包括光刻、離子束刻蝕、化學(xué)腐蝕、晶片鍵合等，同時在機械結(jié)構(gòu)上制備了電極，以便通過電子技術(shù)進行控制。
2020-12-25 15:34:494373 MEMS也即微機電系統(tǒng)，電子專業(yè)的朋友對MEMS都具備一定認識。在往期文章中，小編對MEMS交換、MEMS封裝等有所介紹。
2021-01-25 09:22:09500 （Micro-Electro-Mechanical Systems）稱為微機電系統(tǒng)，或微電子和微機電系統(tǒng)，是為利用機械手段實現(xiàn)特定功能而建造的小型化結(jié)構(gòu)和設(shè)備。MEMS最早是在1960年代提出的，但是直到1980年代才商業(yè)化。其實在現(xiàn)實生活中MEMS技術(shù)實際離普通人很近，它包括MEMS麥克風(fēng)，微馬達，me
2021-02-20 11:05:316656 摘要 MEMS已被認為是最有前途的技術(shù)之一。在21世紀，它具有革命性的工業(yè)和結(jié)合以硅為基礎(chǔ)的微電子產(chǎn)品微加工技術(shù)。它的技術(shù)和微系統(tǒng)電子設(shè)備有可能極大地影響我們的生活。本文介紹了微機電系統(tǒng)文章全部詳情
2023-04-24 09:21:00425 MEMS（微機電系統(tǒng)）元件的失效機制從本質(zhì)上講和與之相對應(yīng)的宏觀（肉眼可見）元件，具有很大差別并且是獨特的。本文討論從各種MEMS元件中觀測到的失效機制。需要強調(diào)的是，MEMS裝置的組裝使用散裝表面
2021-12-13 09:37:371065 
從驅(qū)動方式和機械結(jié)構(gòu)的角度介紹了不同的RF MEMS開關(guān)類型，分析了各類MEMS開關(guān)的性能及優(yōu)缺點，分析了MEMS開關(guān)在制作和發(fā)展中面臨的犧牲層技術(shù)、封裝技術(shù)、可靠性問題等關(guān)鍵技術(shù)和問題，介紹了MEMS開關(guān)的發(fā)展現(xiàn)狀及其在組件級和系統(tǒng)級的應(yīng)用，以及對MEMS開關(guān)技術(shù)的展望
2023-05-23 14:29:05517 
。微機電系統(tǒng)（Micro- Electro - Mechanical System, MEMS)是指將微電子器件、微結(jié)構(gòu)與微機械組件（微傳感器、微執(zhí)行器）集于一體的集成系統(tǒng)，它代表一種在電子領(lǐng)域與其
2023-11-14 09:25:03424 
電子發(fā)燒友網(wǎng)站提供《ADI公司突破性的微機電系統(tǒng)(MEMS)開關(guān)技術(shù).pdf》資料免費下載
2023-11-27 09:52:201 什么是MEMS交換？MEMS交換原理是什么？ MEMS交換是一種利用微機電系統(tǒng)技術(shù)來實現(xiàn)光纖通信中光路的快速開關(guān)的技術(shù)。它具有體積小、速度快、功耗低、可靠性高等優(yōu)點，因此在光纖通信、光纖傳感和光纖
2024-02-02 14:41:31119
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MEMS本質(zhì)上是一種把微型機械組件（如傳感器、制動器等）與電子電路集成在同一顆芯片上的半導(dǎo)體技術(shù)。一般芯片只是利用了硅半導(dǎo)體的電氣特性，而 MEMS 則利用了芯片的電氣和機械兩種特性。
工商網(wǎng)監(jiān)
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