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電子發(fā)燒友網(wǎng)>制造/封裝>氮化硅LPCVD工藝及快速加熱工藝(RTP)系統(tǒng)詳解

氮化硅LPCVD工藝及快速加熱工藝(RTP)系統(tǒng)詳解

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2017-08-15 17:47:34

氮化硅基板應(yīng)用——新能源汽車(chē)核心IGBT

的振動(dòng)和沖擊力,機(jī)械強(qiáng)度要求高。這就不得不提到我們今天的主角,氮化硅基板了。氮化硅的優(yōu)點(diǎn)1、在高溫下具有高強(qiáng)度和斷裂韌性。2、散熱系數(shù)高,熱膨脹系數(shù)與芯片匹配,同時(shí)具有極高的耐熱沖擊性。3、使用氮化硅陶瓷
2021-01-27 11:30:38

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適應(yīng)高溫高壓的工作環(huán)境。氮化硅的散熱系數(shù)高,熱膨脹系數(shù)與芯片匹配,同時(shí)具有極高的耐熱沖擊性。能在及時(shí)散去電源系統(tǒng)中的高熱量,保證各大功率負(fù)載的正常運(yùn)行的同時(shí),保護(hù)芯片正常工作。使用氮化硅陶瓷基板的設(shè)備
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2018-09-06 16:32:13

everspin生態(tài)系統(tǒng)和制造工藝創(chuàng)新解析

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《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝氮化鎵發(fā)展技術(shù)

書(shū)籍:《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》文章:氮化鎵發(fā)展技術(shù)編號(hào):JFSJ-21-041作者:炬豐科技網(wǎng)址:http://www.wetsemi.com/index.html 摘要:在單個(gè)芯片上集成多個(gè)
2021-07-06 09:38:20

【轉(zhuǎn)帖】干法刻蝕的優(yōu)點(diǎn)和過(guò)程

青睞的刻蝕劑是氟化銨和醋酸1:2的混合水溶液。氮化硅濕法刻蝕對(duì)于鈍化層,另外一種受青睞的化合物是氮化硅。可以用液體化學(xué)的方法來(lái)刻蝕,但是不想其他層那樣容易。使用的化學(xué)品是熱磷酸。因酸液在此溫度下會(huì)迅速
2018-12-21 13:49:20

為什么說(shuō)移動(dòng)終端發(fā)展引領(lǐng)了半導(dǎo)體工藝新方向?

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為何碳化硅氮化鎵更早用于耐高壓應(yīng)用呢?

%。另外,以上研究結(jié)果都是建立在實(shí)驗(yàn)室基礎(chǔ)之上的,今后仍有很大的發(fā)展空間。圖4:利用“Na Flux(鈉助溶)法”和“Point Seed(點(diǎn)籽晶)法”可制作出高質(zhì)量、大尺寸的氮化硅襯底。利用“Na
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系統(tǒng)能做得越小巧,則電動(dòng)車(chē)的電池續(xù)航力越高。這是電動(dòng)車(chē)廠商之所以對(duì)碳化硅解決方案趨之若鶩的主要原因。相較于碳化硅在大功率電力電子設(shè)備上攻城略地,氮化鎵組件則是在小型化電源應(yīng)用產(chǎn)品領(lǐng)域逐漸擴(kuò)散,與碳化硅
2021-09-23 15:02:11

光芯片前端工藝工程師

1、 電子、物理、通信、材料等專(zhuān)業(yè),本科以上學(xué)歷,3年以上的PECVD\LPCVD沉積工作經(jīng)驗(yàn); 2、 了解半導(dǎo)體工藝、精通PECVD或LPCVD材料生長(zhǎng)技術(shù); 3、 精通PECVD或LPCVD設(shè)備
2012-12-19 22:42:16

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2019-07-05 08:13:58

半導(dǎo)體工藝技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)是什么?

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2019-08-20 08:01:20

如何選擇滿足FPGA設(shè)計(jì)需求的工藝?

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應(yīng)用于新能源汽車(chē)的碳化硅半橋MOSFET模塊

是基本半導(dǎo)體針對(duì)新能源商用車(chē)等大型車(chē)輛客戶(hù)對(duì)主牽引驅(qū)動(dòng)器功率器件的高功率密度、長(zhǎng)器件壽命等需求而專(zhuān)門(mén)開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品?! ≡摦a(chǎn)品采用標(biāo)準(zhǔn)ED3封裝,采用雙面有壓型銀燒結(jié)連接工藝、高密度銅線鍵合技術(shù)、高性能氮化硅AMB
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2022-02-15 11:11:143427

磷酸中二氧化硅的選擇性濕法蝕刻方法

摘要 在濕法工藝實(shí)施中使用單晶片處理器是先進(jìn)半導(dǎo)體制造的一種趨勢(shì),因?yàn)樗哂袩o(wú)污染、靈活的工藝控制以及在不損壞圖案的情況下提高顆粒去除效率的優(yōu)點(diǎn)。然而,在氮化硅去除過(guò)程中,不僅磷酸消耗的成本
2022-02-15 16:38:571654

化硅刻蝕速率的提高方法

摘要 等離子體蝕刻工藝,特別適用于在具有非氧化物成分的特征上選擇性蝕刻氧化物,例如氮化硅,尤其是當(dāng)該特征具有在氧化物蝕刻期間易于刻面的角部時(shí)。主要的含氟氣體,優(yōu)選六氟丁二烯 (C4F6),與顯著更大
2022-02-24 13:42:292426

半導(dǎo)體工藝—晶片清洗工藝評(píng)估

是干法技術(shù),其中顆粒從干燥的顆粒-氣溶膠流中沉積。晶片老化的程度通過(guò)清洗測(cè)試來(lái)量化。在顆粒沉積后的不同日子,清洗被氮化硅和鎢顆粒污染的晶片,并監(jiān)測(cè)清洗效率隨晶片儲(chǔ)存時(shí)間的變化。測(cè)試表明,與濕浸晶片相比,干沉積晶
2022-03-04 15:03:502588

一種在襯底上蝕刻氮化硅的方法

本文提供了用于蝕刻膜的方法和設(shè)備。一個(gè)方面涉及一種在襯底上蝕刻氮化硅的方法,該方法包括:(a)將氟化氣體引入等離子體發(fā)生器并點(diǎn)燃等離子體以a形成含氟蝕刻溶液;(b)從硅源向等離子體提供硅;以及
2022-04-24 14:58:51979

晶片表面沉積氮化硅顆粒的沉積技術(shù)

評(píng)估各種清洗技術(shù)的典型方法是在晶片表面沉積氮化硅(Si,N4)顆粒,然后通過(guò)所需的清洗工藝處理晶片。國(guó)家半導(dǎo)體技術(shù)路線圖規(guī)定了從硅片上去除顆粒百分比的標(biāo)準(zhǔn)挑戰(zhàn),該挑戰(zhàn)基于添加到硅片上的“>
2022-05-25 17:11:381242

半導(dǎo)體行業(yè)——加熱工藝解析

硅局部氧化(LOCOS)的隔離效果比整面全區(qū)覆蓋式氧化效果好。LOCOS工藝使用一層很 薄的二氧化硅層200-500A作為襯墊層以緩沖LPCVD氮化硅的強(qiáng)張力。經(jīng)過(guò)氮化硅刻蝕、光 刻膠剝除和晶圓清洗后,沒(méi)有被氮化硅覆蓋的區(qū)域再生長(zhǎng)出一層厚度為3000?5000 A的氧化 層。
2022-08-12 11:18:057917

磷酸的腐蝕特性及緩蝕劑 氮化硅濕法蝕刻中熱磷酸的蝕刻率

在半導(dǎo)體濕法蝕刻中, 熱磷酸廣泛地用于對(duì)氮化硅的去除工藝, 實(shí)踐中發(fā)現(xiàn)溫下磷酸對(duì)氮化硅蝕刻率很難控制。 從熱磷酸在氮化硅濕法蝕刻中的蝕刻原理出發(fā), 我們?nèi)A林科納分析了影響蝕刻率的各個(gè)因素, 并通過(guò)
2022-08-30 16:41:592998

半導(dǎo)體之選擇性外延工藝介紹

通過(guò)圖形化硅氧化或氮化硅掩蔽薄膜生長(zhǎng),可以在掩蔽膜和硅暴露的位置生長(zhǎng)外延層。這個(gè)過(guò)程稱(chēng)為選擇性外延生長(zhǎng)(SEG)。
2022-09-30 15:00:385893

了解一下氮化硅陶瓷基板究竟有哪些特點(diǎn)?

材料。而氮化硅陶瓷板在各方面比較均衡,也是綜合性能最好的結(jié)構(gòu)陶瓷材料。因此,Si3N4氮化硅在電力電子器件陶瓷基板制造領(lǐng)域具有很強(qiáng)的競(jìng)爭(zhēng)力。 過(guò)去,電路基板是由分立元件或集成電路與分立元件組合而成的平面材料,以滿足整
2022-10-07 10:22:001544

加熱工藝發(fā)展趨勢(shì)

RTCVD過(guò)程可以用來(lái)沉積多晶硅、氮化硅和二氧化硅,例如在淺溝槽隔離工藝中使用CVD氧化硅填充溝槽。
2022-11-08 09:52:20616

氮化硅陶瓷基板的5大應(yīng)用你知道嗎?

如今高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板因其優(yōu)異的機(jī)械性能和高導(dǎo)熱性而成為下一代大功率電子器件不可缺少的元件,適用于復(fù)雜和極端環(huán)境中的應(yīng)用。在這里,我們概述了制備高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷的最新進(jìn)展。
2022-11-10 10:01:332010

中國(guó)第3代半導(dǎo)體半導(dǎo)體理想封裝材料——高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板突破“卡脖子”難題

2022年9月,威海圓環(huán)先進(jìn)陶瓷股份有限公司生產(chǎn)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格0.32mmX139.7mmX190.5mm的高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板已經(jīng)達(dá)到量產(chǎn)規(guī)模,高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板各項(xiàng)理化指標(biāo)到了國(guó)際上行業(yè)領(lǐng)軍的質(zhì)量水平,突破了西方先進(jìn)國(guó)家在高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板的技術(shù)保護(hù)和應(yīng)用產(chǎn)品對(duì)我國(guó)“卡脖子”難題。
2022-11-11 16:36:574150

高導(dǎo)熱率氮化硅散熱基板材料的研究進(jìn)展

針對(duì)越來(lái)越明顯的大功率電子元器件的散熱問(wèn)題,主要綜述了目前氮化硅陶瓷作為散熱基板材料的研究進(jìn)展。對(duì)影響氮化硅陶瓷熱導(dǎo)率的因素、制備高熱導(dǎo)率氮化硅陶瓷的方法、燒結(jié)助劑的選擇、以及氮化硅陶瓷機(jī)械性能和介電性能等方面的最新研究進(jìn)展作了詳細(xì)論述
2022-12-06 09:42:40820

如何提高氮化硅的實(shí)際熱導(dǎo)率實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)的問(wèn)題解決

綜合上述研究可發(fā)現(xiàn),雖然燒結(jié)方式不一樣,但都可以制備出性能優(yōu)異的氮化硅陶瓷。在實(shí)現(xiàn)氮化硅陶瓷大規(guī)模生產(chǎn)時(shí),需要考慮成本、操作難易程度和生產(chǎn)周期等因素,因此找到一種快速、簡(jiǎn)便、低成本的燒結(jié)工藝是關(guān)鍵。
2022-12-06 10:30:392408

氮化硅氮化鋁陶瓷基板究竟有何區(qū)別?

等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于電子器件封裝。 由于具有優(yōu)異的硬度、機(jī)械強(qiáng)度和散熱性,氮化硅陶瓷和氮化鋁陶瓷基板都可以制成用于電子封裝的陶瓷基板,同時(shí)它們也具有不同的性能和優(yōu)勢(shì)。以下就是區(qū)別。 1、散熱差異 氮化硅陶瓷基板的導(dǎo)熱
2022-12-09 17:18:241219

詳解三維NAND集成工藝(3D-NAND Integration Technology)

存儲(chǔ)單元中,電荷的存儲(chǔ)層可以是浮柵或氮化硅電荷俘獲層(Charge-Trapping Layer, CTL)。三維CTL垂直溝道型NAND 閃存(3D NAND 或 V-NAND)基于無(wú)結(jié)型 (Junctionless, JL)薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管(TFT),具有更好的可靠性。
2023-02-03 09:16:578266

氮化工藝發(fā)展現(xiàn)狀

氮化工藝發(fā)展現(xiàn)狀 氮化鎵是當(dāng)前發(fā)展最成款的競(jìng)禁帶半導(dǎo)體材料,世界各國(guó)對(duì)氮化鎵的研究重視,美歐日等不僅從國(guó)家層面上制定了相應(yīng)的研究規(guī)劃。氮化鎵因具有很大的硬度而成為一種重要的磨料,但其應(yīng)用范圍卻超過(guò)
2023-02-03 14:58:16942

氮化鎵外延片工藝介紹 氮化鎵外延片的應(yīng)用

氮化鎵外延片生長(zhǎng)工藝較為復(fù)雜,多采用兩步生長(zhǎng)法,需經(jīng)過(guò)高溫烘烤、緩沖層生長(zhǎng)、重結(jié)晶、退火處理等流程。兩步生長(zhǎng)法通過(guò)控制溫度,以防止氮化鎵外延片因晶格失配或應(yīng)力而產(chǎn)生翹曲,為目前全球氮化鎵外延片主流制備方法。
2023-02-05 14:50:004345

硅基氮化工藝流程

硅基氮化鎵外延生長(zhǎng)是在硅片上經(jīng)過(guò)各種氣體反應(yīng)在硅片上層積幾層氮化鎵外延層,為中間產(chǎn)物。氮化鎵功率器件是把特定電路所需的各種電子組件及線路,縮小并制作在極小面積上的一種電子產(chǎn)品。氮化鎵功率器件制造主要
2023-02-11 11:31:426163

氮化硅提供從研發(fā)進(jìn)展到量產(chǎn)的靈活性

現(xiàn)今,氮化硅(SiN)為光子集成提供了更多的途徑,包括新的200mm、高產(chǎn)量、汽車(chē)級(jí)CMOS生產(chǎn)線。在過(guò)去的幾年里,SiN緊隨確立已久的硅光子學(xué)之后,該材料平臺(tái)已經(jīng)成熟,并在光子集成電路(PIC)市場(chǎng)上,為那些需要非常低傳播損耗、可見(jiàn)波長(zhǎng)或高激光功率的應(yīng)用提供了新的機(jī)會(huì)。
2023-02-15 16:37:09878

氮化鎵外延片工藝流程介紹 外延片與晶圓的區(qū)別

氮化鎵外延片工藝是一種用于制備氮化鎵外延片的工藝,主要包括表面清洗、氮化處理、清洗處理、干燥處理和檢測(cè)處理等步驟。
2023-02-20 15:50:3210570

Nexperia氮化鎵產(chǎn)品的成熟的工藝

Nexperia(安世半導(dǎo)體)的高功率氮化鎵場(chǎng)效應(yīng)晶體管,共將分為(上)(下)兩期,包含其工藝、性能優(yōu)勢(shì)、產(chǎn)品及封裝等 內(nèi)容。本期將先介紹 Nexperia(安世半導(dǎo)體)氮化鎵產(chǎn)品的成熟的工藝
2023-02-22 15:40:430

國(guó)產(chǎn)氮化硅陶瓷基板升級(jí)SiC功率模塊,提升新能源汽車(chē)性能優(yōu)勢(shì)

國(guó)產(chǎn)氮化硅陶瓷基板升級(jí)SiC功率模塊,提升新能源汽車(chē)加速度、續(xù)航里程、輕量化、充電速度、電池成本5項(xiàng)性能優(yōu)勢(shì)
2023-03-15 17:22:551018

集成光學(xué)新賽道上的新“跨越”

氮化硅材料的引入,為人們提供了一個(gè)解決方案。氮化硅不僅具有多項(xiàng)優(yōu)異的光學(xué)特性,而且氮化硅片上集成光波導(dǎo)的加工也能完美兼容當(dāng)下標(biāo)準(zhǔn)的CMOS硅芯片制造工藝。目前,世界上僅少數(shù)幾個(gè)實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)了0.01 dB每厘米甚至更低的光傳輸損耗。
2023-03-22 09:49:29506

高效率低能耗干法超細(xì)研磨與分散壓電陶瓷等硬質(zhì)礦物材料技術(shù)升級(jí)

氮化硅研磨環(huán)由于研磨環(huán)存在內(nèi)外氣壓差,可以在密閉的真空或者很濃密的場(chǎng)景中快速的上下運(yùn)動(dòng),氮化硅磨介圈在大的球磨機(jī)里不僅起到研磨粉碎的作用,更重要的是眾多的氮化硅磨介圈環(huán)會(huì)發(fā)生共振現(xiàn)象,氮化硅
2023-03-31 11:40:35597

氮化硅陶瓷基板的市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)和未來(lái)前景

氮化硅基板是一種新型的材料,具有高功率密度、高轉(zhuǎn)換效率、高溫性能和高速度等特點(diǎn)。這使得氮化硅線路板有著廣泛的應(yīng)用前景和市場(chǎng)需求,正因?yàn)槿绱怂估ìF(xiàn)正全力研發(fā)氮化硅作為基材的線路板。
2023-04-11 12:02:401364

多孔氮化硅陶瓷天線罩材料制備及性能研究

近日,上海玻璃鋼研究院有限公司的高級(jí)工程師趙中堅(jiān)沿著該思路,以純纖維狀α-Si3N4粉為主要原料,通過(guò)添加一定比例氧化物燒結(jié)助劑,經(jīng)冷等靜壓成型和氣氛保護(hù)無(wú)壓燒結(jié)工藝燒結(jié)制備出了能充分滿足高性能導(dǎo)彈天線罩使用要求的多孔氮化硅陶瓷。
2023-04-16 10:30:461279

詳解半導(dǎo)體封裝測(cè)試工藝

詳解半導(dǎo)體封裝測(cè)試工藝
2023-05-31 09:42:18997

氮化硅陶瓷在四大領(lǐng)域的研究及應(yīng)用進(jìn)展

氮化硅陶瓷軸承球與鋼質(zhì)球相比具有突出的優(yōu)點(diǎn):密度低、耐高溫、自潤(rùn)滑、耐腐蝕。疲勞壽命破壞方式與鋼質(zhì)球相同。陶瓷球作為高速旋轉(zhuǎn)體產(chǎn)生離心應(yīng)力,氮化硅的低密度降低了高速旋轉(zhuǎn)體外圈上的離心應(yīng)力。
2023-07-05 10:37:061561

氮化硅陶瓷基板生產(chǎn)工藝 氮化鋁和氮化硅的性能差異

氮化鋁具有較高的熱導(dǎo)性,比氮化硅高得多。這使得氮化鋁在高溫環(huán)境中可以更有效地傳導(dǎo)熱量。
2023-07-06 15:41:231061

氮化硅是半導(dǎo)體材料嗎 氮化硅的性能及用途

氮化硅是一種半導(dǎo)體材料。氮化硅具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性,被廣泛應(yīng)用于高溫、高功率和高頻率電子器件中。它具有較寬的能隙(大約3.2電子伏特),并可通過(guò)摻雜來(lái)調(diào)節(jié)其導(dǎo)電性能,因此被視為一種重要的半導(dǎo)體材料。
2023-07-06 15:44:433823

半導(dǎo)體制造工藝之光刻工藝詳解

半導(dǎo)體制造工藝之光刻工藝詳解
2023-08-24 10:38:541223

沉積氮化硅薄膜的重要制備工藝——PECVD鍍膜

PECVD作為太陽(yáng)能電池生產(chǎn)中的一種工藝,對(duì)其性能的提升起著關(guān)鍵的作用。PECVD可以將氮化硅薄膜沉積在太陽(yáng)能電池片的表面,從而有效提高太陽(yáng)能電池的光電轉(zhuǎn)換率。但為了清晰客觀的檢測(cè)沉積后太陽(yáng)能電池
2023-09-27 08:35:491775

PCB工藝流程詳解.zip

PCB工藝流程詳解
2022-12-30 09:20:249

PCB工藝流程詳解.zip

PCB工藝流程詳解
2023-03-01 15:37:447

國(guó)科光芯實(shí)現(xiàn)傳輸損耗-0.1dB/cm(1550 nm波長(zhǎng))級(jí)別氮化硅硅光芯片的量產(chǎn)

據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道,經(jīng)過(guò)兩年、十余次的設(shè)計(jì)和工藝迭代,國(guó)科光芯(海寧)科技股份有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng):國(guó)科光芯)在國(guó)內(nèi)首個(gè)8英寸低損耗氮化硅硅光量產(chǎn)平臺(tái),實(shí)現(xiàn)了傳輸損耗-0.1 dB/cm(1550 nm波長(zhǎng)
2023-11-17 09:04:54656

京瓷利用SN氮化硅材料研發(fā)高性能FTIR光源

京瓷株式會(huì)社(以下簡(jiǎn)稱(chēng)京瓷)成功研發(fā)用于FTIR※的氮化硅(Silicon Nitride,以下簡(jiǎn)稱(chēng)SN)高性能光源。
2023-12-15 09:18:06234

氮化硅為什么能夠在芯片中扮演重要的地位?

在芯片制造中,有一種材料扮演著至關(guān)重要的角色,那就是氮化硅(SiNx)。
2023-12-20 18:16:09511

TOPCon核心工藝技術(shù)路線盤(pán)點(diǎn)

TOPCon 電池的制備工序包括清洗制絨、正面硼擴(kuò)散、BSG 去除和背面刻蝕、氧化層鈍化接觸制備、正面氧化鋁沉積、正背面氮化硅沉積、絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)和測(cè)試分選,約 12 步左右。從技術(shù)路徑角度:LPCVD 方式為目前量產(chǎn)的主流工藝,預(yù)計(jì) PECVD 路線有望成為未來(lái)新方向。
2023-12-26 14:59:112733

SMT關(guān)鍵工序再流焊工藝詳解

SMT關(guān)鍵工序再流焊工藝詳解
2024-01-09 10:12:30185

LPCVD技術(shù)助力低應(yīng)力氮化硅膜制備

LPCVD是低壓化學(xué)氣相沉積(low-pressurechemical vapor deposition)的縮寫(xiě),低壓主要是相對(duì)于常壓的APCVD而言,主要區(qū)別點(diǎn)就是工作環(huán)境的壓強(qiáng),LPCVD的壓強(qiáng)通常只有10~1000Pa,而APCVD壓強(qiáng)約為101.3KPa。
2024-01-22 10:38:35167

MEMS工藝快速退火的應(yīng)用范圍和優(yōu)勢(shì)介紹

在MEMS工藝中,常用的退火方法,如高溫爐管退火和快速熱退火(RTP)。RTP (Rapid Thermal Processing)是一種在很短的時(shí)間內(nèi)將整個(gè)硅片加熱到400~1300°C范圍的方法。
2024-03-19 15:21:05122

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