盡管ASML作為目前占據(jù)主導(dǎo)地位的光刻機(jī)廠商，憑借獨(dú)有的EUV光刻機(jī)一騎絕塵，主導(dǎo)著半數(shù)以上的市場(chǎng)份額，但這并不代表著其他光刻機(jī)廠商也就“聽(tīng)天由命”了。以兩大國(guó)外光刻機(jī)廠商尼康和佳能為例，他們就仍在
2022-11-24 01:57:00
5091 時(shí)期用上EUV光刻，國(guó)內(nèi)的中芯國(guó)際也從ASML訂購(gòu)了一臺(tái)EUV光刻機(jī)，但因?yàn)榉N種問(wèn)題，現(xiàn)在交貨時(shí)間還未明確。
2020-07-07 14:22:55
！光刻機(jī)本身的原理，其實(shí)和相機(jī)非常相似，同學(xué)們可以把光刻機(jī)就想成是一臺(tái)巨大的單反相機(jī)。相機(jī)的原理，是被攝物體被光線照射所反射的光線，透過(guò)相機(jī)的鏡頭，將影像投射并聚焦在相機(jī)的底片（感光元件）上，如此便可
2020-09-02 17:38:07
是分步投影光刻機(jī).利用分步投影光刻機(jī),再結(jié)合移相掩膜等技術(shù),已經(jīng)得到了最小線寬0.10微米的圖形。 ◆接近式暴光與接觸式暴光相似,只是在暴光時(shí)硅片和掩膜版之間保留有很小的間隙,這個(gè)間隙一般在10~25
2012-01-12 10:56:23
光刻機(jī)的工作臺(tái)是一個(gè)六自由度的運(yùn)動(dòng)臺(tái)，其中X/Y向運(yùn)動(dòng)臺(tái)是的核心基礎(chǔ)工序。管控XY軸角度Yaw和Pitch，直線度Horizontal Straightness和Vertical
2023-02-20 15:49:07
荷蘭作為光刻的生產(chǎn)大國(guó)，很多人紛紛都在問(wèn)為什么荷蘭能生產(chǎn)二中國(guó)不行.本文主要分析了中國(guó)光刻機(jī)的發(fā)展分析以及與荷蘭之間的差距，詳細(xì)的說(shuō)明了荷蘭光刻機(jī)為什么厲害，為何光刻機(jī)不賣給中國(guó)的原因。
2017-12-19 14:56:42124655 光刻機(jī)是芯片制造中光刻環(huán)節(jié)的核心設(shè)備， 技術(shù)含量、價(jià)值含量極高。 光刻機(jī)涉及系統(tǒng)集成、精密光學(xué)、精密運(yùn)動(dòng)、精密物料傳輸、高精度微環(huán)境控制等多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)，是所有半導(dǎo)體制造設(shè)備中技術(shù)含量最高的設(shè)備，因此也具備極高的單臺(tái)價(jià)值量。
2018-04-10 10:19:4736331 國(guó)家重大科研裝備研制項(xiàng)目“超分辨光刻裝備研制”11月29日通過(guò)驗(yàn)收。該光刻機(jī)由中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所研制，光刻分辨力達(dá)到22納米，結(jié)合雙重曝光技術(shù)后，未來(lái)還可用于制造更高級(jí)別的芯片。
2018-12-02 09:05:0713157 “ASML的EUV
光刻機(jī)使用的13.5
納米的極紫外光源，價(jià)格高達(dá)3000萬(wàn)元，還要在真空下使用?！表?xiàng)目副總師胡松說(shuō)，“而我們使用的365
納米紫外光的汞燈，只要幾萬(wàn)元一只。我們整機(jī)價(jià)格在百萬(wàn)元級(jí)到千萬(wàn)元級(jí)，加工能力介于深紫外級(jí)和極紫外級(jí)之間，讓很多用戶大喜過(guò)望?！?/div>
2018-12-03 10:53:1212297 這臺(tái)SP光刻機(jī)與ASML光刻機(jī)對(duì)比怎么樣呢？舉個(gè)不恰當(dāng)?shù)睦影桑@就像是初期的槍械與最厲害的弓箭的對(duì)比。早期槍械，比如火銃，無(wú)論是射擊精度還是射擊距離都遠(yuǎn)遠(yuǎn)比不上厲害的弓箭，但是如今的狙擊槍早已把弓箭甩開(kāi)十萬(wàn)八千里了，這就是原理性的勝利。
2018-12-06 14:40:227467 光刻機(jī)的作用有多大，在這時(shí)候就體現(xiàn)出來(lái)了。即便是自己能夠研發(fā)出芯片了，但是沒(méi)有光刻機(jī)還是不能批量生產(chǎn)。并且就現(xiàn)在來(lái)說(shuō)國(guó)際上的光刻機(jī)咱們國(guó)家大陸地區(qū)還是買不到的，似乎是在進(jìn)行技術(shù)封鎖，這也就苦了華為這樣能夠自主研發(fā)芯片的公司。
2019-03-13 15:16:0720099 光刻機(jī)的作用，顧名思義，就是“用光來(lái)雕刻的機(jī)器”。是用來(lái)實(shí)現(xiàn)上面說(shuō)到的“光線侵蝕光刻膠”的目的的。
2019-03-14 14:12:01214376 談起光刻機(jī)相信大家首先想到的是荷蘭，確實(shí)如此，荷蘭光刻機(jī)在全球都是數(shù)一數(shù)二的，就連最頂尖的光刻機(jī)制造公司ASML也位于荷蘭，二荷蘭光刻機(jī)之所以這么出名，很大程度是由于荷蘭在這方面下了很大的功夫，比如技術(shù)投入、研發(fā)團(tuán)隊(duì)以及資金投入都是其他國(guó)家難以比擬的。
2019-03-14 14:17:5417888 光刻機(jī)應(yīng)用廣泛，包括IC前道光刻機(jī)、用于封裝的后道光刻機(jī)以及用于LED領(lǐng)域及面板領(lǐng)域的光刻機(jī)等等。封裝光刻機(jī)對(duì)于光刻的精度要求低于前道光刻要求，面板光刻機(jī)與IC前道光刻機(jī)工藝相比技術(shù)精度也更低，一般為微米級(jí)。
2019-04-28 13:55:52228837 
我國(guó)正加速實(shí)現(xiàn)中高端光刻機(jī)的國(guó)產(chǎn)化。近日，亦莊企業(yè)北京國(guó)望光學(xué)科技有限公司增資項(xiàng)目在北京產(chǎn)權(quán)交易所完成。通過(guò)此次增資，國(guó)望光學(xué)引入中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所和中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械
2019-08-12 16:22:223250 光刻機(jī)是芯片制造最為重要的設(shè)備之一。目前，ASML壟斷了全世界的高端光刻機(jī)。中國(guó)一直以來(lái)都想掌握光刻機(jī)技術(shù)，但是上海微電子經(jīng)過(guò)17年的努力，才造出90nm的光刻機(jī)，這已經(jīng)十分不容易了，這可是0的突破。那么為什么光刻機(jī)這么難造呢？
2020-01-29 11:07:007865 眾所周知，說(shuō)起芯片，大家就會(huì)想到光刻機(jī)，說(shuō)起光刻機(jī)，大家就會(huì)想到ASML。因?yàn)樵谛酒a(chǎn)中，光刻機(jī)特別重要，而ASML又是高端光刻機(jī)的壟斷者，占了85%以上的高端市場(chǎng)。
2020-02-20 20:30:455465 光刻機(jī)技術(shù)壁壘高且投資占比大，芯片尺寸的縮小以及性能的提升依賴于光刻技術(shù)的發(fā)展。
2020-02-21 20:47:113619 經(jīng)常聽(tīng)說(shuō)，高端光刻機(jī)不僅昂貴而且還都是國(guó)外的，那么什么是光刻機(jī)呢？上篇我們聊了從原材料到拋光晶片的制成過(guò)程，今天我們就來(lái)聊聊什么是光刻～
2020-03-15 14:46:00227770 在EUV光刻機(jī)方面，荷蘭ASML（阿斯麥）公司壟斷了目前的EUV光刻機(jī)，去年出貨26臺(tái)，創(chuàng)造了新紀(jì)錄。據(jù)報(bào)道，ASML公司正在研發(fā)新一代EUV光刻機(jī)，預(yù)計(jì)在2022年開(kāi)始出貨。
2020-03-17 09:21:194703 ，中國(guó)最好的光刻機(jī)廠商上海微電子裝備有限公司（SMEE）已經(jīng)量產(chǎn)的光刻機(jī)中，性能最好的SSA600/20工藝只能達(dá)到90nm，相當(dāng)于2004年上市的奔騰四CPU的水準(zhǔn)。而國(guó)外的先進(jìn)水平已經(jīng)達(dá)到了7納米，正因如此，國(guó)內(nèi)晶圓廠所需的高端光刻機(jī)完全依賴進(jìn)口。
2020-03-18 10:52:1189442 光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備之一，作為目前世界上最復(fù)雜的精密設(shè)備之一，其實(shí)光刻機(jī)除了能用于生產(chǎn)芯片之外，還有用于封裝的光刻機(jī)，或者是用于LED制造領(lǐng)域的投影光刻機(jī)。目前，我國(guó)高端的光刻機(jī)，基本上是從荷蘭ASML進(jìn)口的。
2020-03-18 11:12:0244587 中芯國(guó)際接連取得突破，打破西方光刻機(jī)封鎖，勝利女神在招手！在我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)，一直存在著一個(gè)重大問(wèn)題，那就是我國(guó)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的精度僅為90nm，那么90nm精度的光刻機(jī)到底能夠干什么呢？
2020-04-10 17:52:0612580 近日，埃眸科技與常熟高新區(qū)正式簽署項(xiàng)目協(xié)議，打造納米壓印光刻機(jī)生產(chǎn)線。
2020-04-13 16:18:058218 四，當(dāng)然未來(lái)隨著國(guó)產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展，我們的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)、國(guó)產(chǎn)芯片一定能夠?qū)崿F(xiàn)從低端到高端的發(fā)展，這也是中國(guó)過(guò)往眾多企業(yè)、產(chǎn)品最喜歡的發(fā)展路線，從低端到高端的蛻變。
2020-06-09 11:36:065739 作為芯片制造的核心設(shè)備之一，光刻機(jī)對(duì)芯片生產(chǎn)的工藝有著決定性影響。 據(jù)悉，光刻機(jī)按照用途可分為生產(chǎn)芯片的光刻機(jī)、封裝芯片的光刻機(jī)以及用于LED制造領(lǐng)域的投影光刻機(jī)。其中，生產(chǎn)芯片的High End
2020-06-15 08:05:541042 頂級(jí)光刻機(jī)有多難搞？ASML的光刻機(jī)，光一個(gè)零件他就調(diào)整了10年！拿荷蘭最新極紫外光EUV光刻機(jī)舉例，其內(nèi)部精密零件多達(dá)10萬(wàn)個(gè)，比汽車零件精細(xì)數(shù)十倍！
2020-07-02 09:38:3911602 作為光刻工藝中最重要設(shè)備之一，光刻機(jī)一次次革命性的突破，使大模集成電路制造技術(shù)飛速向前發(fā)展。了解提高光刻機(jī)性能的關(guān)鍵技術(shù)以及了解下一代光刻技術(shù)的發(fā)展情況是十分重要的。 光刻機(jī) 光刻機(jī)（Mask
2020-08-28 14:39:0411927 
【重磅】王毅到訪荷蘭，期待放行ASML EUV光刻機(jī) 來(lái)源：中國(guó)半導(dǎo)體論壇 彭博引述知情人士消息稱，荷蘭政府極有可能不會(huì)給予ASML向中國(guó)出貨EUV光刻機(jī)的許可證。一年前的許可證到期后，在美國(guó)
2020-09-10 14:19:112600 1964年中國(guó)科學(xué)院研制出65型接觸式光刻機(jī)；1970年代，中國(guó)科學(xué)院開(kāi)始研制計(jì)算機(jī)輔助光刻掩膜工藝；清華大學(xué)研制第四代分部式投影光刻機(jī)，并在1980年獲得成功，光刻精度達(dá)到3微米，接近國(guó)際主流水平。而那時(shí)，光刻機(jī)巨頭ASML還沒(méi)誕生。
2020-09-20 10:35:027156 阿斯麥這家公司有多牛呢？在去年全球的光刻機(jī)市場(chǎng)中，阿斯麥占據(jù)了74%的市場(chǎng)份額，是不折不扣的巨無(wú)霸。他們生產(chǎn)的光刻機(jī)，有“印鈔機(jī)許可證”之稱，一臺(tái)就1.2億美元。
2020-09-20 10:41:143399 中科院去年宣布進(jìn)軍光刻機(jī)，相信在量子芯片、光子芯片、第三代半導(dǎo)體等領(lǐng)域中國(guó)可以實(shí)現(xiàn)彎道超車的。
2021-01-20 16:02:416142 
光刻機(jī)被美國(guó)制裁阻撓之后，中國(guó)企業(yè)發(fā)揮了曲線救芯的創(chuàng)新思維，從韓國(guó)代理商購(gòu)買了二手ASML浸沒(méi)式光刻機(jī)，有望打破美日歐壟斷，實(shí)現(xiàn)12英寸國(guó)產(chǎn)芯片生產(chǎn)！ 受美國(guó)阻撓及新冠疫情影響，此前我國(guó)
2021-01-25 14:35:392249 荷蘭阿斯麥（ASML）公司的光刻機(jī)作為世界上最貴最精密的儀器，相信大家都有耳聞，它是加工芯片的設(shè)備。其最先進(jìn)的EUV（極紫外光）光刻機(jī)已經(jīng)能夠制造7nm以下制程的芯片，據(jù)說(shuō)一套最先進(jìn)的7納米EUV
2020-10-15 09:20:054475 光刻機(jī)（Mask Aligner） 又名：掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)等。
2020-10-16 10:33:39311423 
近段時(shí)間有關(guān)芯片以及光刻機(jī)的話題非常熱門，我們今天也來(lái)探討一下光刻機(jī)的話題。
2020-10-17 11:32:148317 最近光刻機(jī)十分火，我們經(jīng)常聽(tīng)到別人說(shuō)7納米光刻機(jī)、5納米光刻機(jī)，但其實(shí)嚴(yán)格意義上來(lái)說(shuō)并不存在7納米光刻機(jī)，5納米光刻機(jī)，我為什么會(huì)這樣說(shuō)呢？
2020-10-19 11:42:5120427 ASML的EUV光刻機(jī)是目前全球唯一可以滿足22nm以下制程芯片生產(chǎn)的設(shè)備，其中10nm及以下的芯片制造，EUV光刻機(jī)必不可缺。一臺(tái)EUV光刻機(jī)的售價(jià)為1.48億歐元，折合人民幣高達(dá)11.74億元
2020-10-19 12:02:499716 
，不過(guò)ASML對(duì)這個(gè)機(jī)器是不放行的，主要是美國(guó)強(qiáng)制要求。 EUV光刻機(jī)是光刻機(jī)在發(fā)展過(guò)程中的第五代產(chǎn)品，由于采用了極紫外線，它的最小工業(yè)節(jié)點(diǎn)到了 22nm-7nm，可以說(shuō)是世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)設(shè)備而這種設(shè)備，只有ASML能造出來(lái)。 2018年4月，中芯國(guó)際向
2020-11-10 10:08:043099 中國(guó)需要光刻機(jī)，尤其是支持先進(jìn)制程的高端光刻機(jī)。具體來(lái)說(shuō)，就是 EUV （極紫外光源）光刻機(jī)。
2020-11-11 10:13:304310 
荷蘭阿斯麥公司作為掌握光刻機(jī)系統(tǒng)集成和整體架構(gòu)的核心企業(yè)，自然成了歐美自家的小棉襖，順利趕上了歐美EUV技術(shù)研究發(fā)展的風(fēng)口，投資德國(guó)卡爾蔡司，收購(gòu)美國(guó)Cymer光源。集成世界各國(guó)頂尖科技的EUV
2020-12-28 09:25:5518232 EUV（極紫外光）光刻機(jī)，是目前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已投入規(guī)模生產(chǎn)使用的最先進(jìn)光刻機(jī)類型。近來(lái)，有不少消息都指出，EUV光刻機(jī)耗電量非常大，甚至它還成為困擾臺(tái)積電的一大難題。 為何EUV光刻機(jī)會(huì)這么耗電
2021-02-14 14:05:003982 目前，還有ASML有能力生產(chǎn)最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，三星、臺(tái)積電都是ASML的客戶。但受《瓦森納協(xié)定》的制約，中國(guó)大陸沒(méi)有從ASML買來(lái)一臺(tái)EUV光刻機(jī)。
2021-01-21 08:56:184143 %，凈利潤(rùn)為36億歐元。 光刻機(jī)方面，2020年累計(jì)出貨交付258臺(tái)光刻機(jī)系統(tǒng)，其中EUV光刻機(jī)31臺(tái)、ArFi光刻機(jī)68臺(tái)，ArFdry光刻機(jī)22臺(tái)，KrF光刻機(jī)103臺(tái)，I-Line光刻機(jī)34
2021-01-21 15:42:555344 在光刻機(jī)領(lǐng)域一家獨(dú)大的荷蘭光刻機(jī)巨頭ASML，占據(jù)著芯片行業(yè)的頂端，畢竟沒(méi)有了他們的設(shè)備，想要造出先進(jìn)工藝制程的芯片是沒(méi)戲的。 財(cái)報(bào)披露，ASML2020年全年凈銷售額140億歐元，毛利率為48.6
2021-01-22 10:38:164736 
根據(jù)芯思想研究院（ChipInsights）的數(shù)據(jù)表明，2020年全球集成電路、面板、LED用光刻機(jī)出貨約58臺(tái)，較2019年增加3臺(tái)。其中集成電路制造用光刻機(jī)出貨約410臺(tái)；面板、LED用光刻機(jī)出貨約170臺(tái)。
2021-02-24 16:56:1211158 一提起ASML這家公司，就少不了對(duì)光刻機(jī)問(wèn)題的討論，因?yàn)榻刂聊壳?，ASML仍然是全球最領(lǐng)先的光刻機(jī)廠商。普通的DUV光刻機(jī)就不多說(shuō)了，ASML每年都能賣出去很多臺(tái)，而在更先進(jìn)的EUV光刻機(jī)方面，ASML更是占據(jù)了絕對(duì)壟斷的地位。
2021-02-27 09:59:4214151 光刻機(jī)是我國(guó)芯片制造業(yè)一大痛點(diǎn)，目前，在EUV光刻機(jī)賽道中，僅有ASML一個(gè)玩家。
2021-03-02 15:29:139349 以下內(nèi)容由對(duì)話音頻整理 本期話題 ● EUV光刻機(jī)產(chǎn)能如何？ ● 晶圓為什么是圓的？ ● 不同制程的芯片之間有何區(qū)別？ ● 什么是邏輯芯片，邏輯芯片又包括哪些？ ● 專用芯片與通用芯片 ● 中科院
2021-03-14 09:46:3023594 、用途 光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備之一,按照用途可以分為好幾種:有用于生產(chǎn)芯片的光刻機(jī);有用于封裝的
2021-03-27 10:00:371496 
經(jīng)常聽(tīng)到別人說(shuō)7納米光刻機(jī)、5納米光刻機(jī)，但其實(shí)嚴(yán)格意義上來(lái)說(shuō)并不存在7納米光刻機(jī)，5納米光刻機(jī)，我為什么會(huì)這樣說(shuō)呢？
2021-03-30 09:19:412733 
用途 光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備之一,按照用途可以分為好幾種:有用于生產(chǎn)芯片的光刻機(jī);有用于封裝的光刻機(jī)
2021-03-30 18:17:272104 
不會(huì)有我們現(xiàn)在的手機(jī)、電腦了。 光刻機(jī)是用于芯片制造的核心設(shè)備，按照用途可以分為用于生產(chǎn)芯片的光刻機(jī)、用于封裝的光刻機(jī)和用于LED制造領(lǐng)域的投影光刻機(jī)。 光刻機(jī)的核心原理就是一個(gè)透鏡組，在精度上首先咱們有個(gè)概念：我們現(xiàn)在芯片的
2021-07-07 14:31:18126012 光刻機(jī)原理怎么做芯片 光刻是集成電路中最重要的工藝，光刻機(jī)是制造芯片的核心裝備，在芯片的制作中，幾乎每個(gè)工藝的實(shí)施，都需要用到光刻技術(shù)。可以說(shuō)，光刻機(jī)是半導(dǎo)體界的一顆明珠。那么光刻機(jī)原理怎么做芯片
2021-08-07 14:54:5412990 沒(méi)有任何一個(gè)國(guó)家的人比中國(guó)人更想造出頂級(jí)光刻機(jī)。網(wǎng)友甚至表示，只要造出光刻機(jī)，無(wú)論一個(gè)人做錯(cuò)了什么都可以原諒。
2021-08-26 17:32:3760367 
光刻機(jī)作為芯片產(chǎn)業(yè)制造中不可缺少的設(shè)備，也是工時(shí)和成本占比最高的設(shè)備，更是全球頂尖技術(shù)和人類智慧的結(jié)晶。那么目前有哪些國(guó)家可以制造出光刻機(jī)呢？
2022-01-03 17:30:0087386 荷蘭ASML作為全球最大的光刻機(jī)制造商，占據(jù)了世界80%的市場(chǎng)份額。一臺(tái)高端的光刻機(jī)內(nèi)部零件高達(dá)10萬(wàn)件之多，但是其中的零件也并非出自ASML一家，而是集眾于多家高科技廠商。
2022-01-03 17:31:009214 光刻機(jī)作為芯片的核心制造設(shè)備，也是當(dāng)前最復(fù)雜的精密儀器之一。其實(shí)光刻機(jī)不僅可以用于芯片生產(chǎn)，還可以用于封裝和用于LED制造領(lǐng)域。
2022-01-03 16:43:0016441 一臺(tái)高端的光刻機(jī)由上萬(wàn)個(gè)零部件構(gòu)成，光刻機(jī)的主要核心部件主要分為兩個(gè)部分：分別是對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)和紫外光源。
2022-01-03 17:09:0017138 光刻機(jī)制作芯片過(guò)程非常復(fù)雜，而光刻機(jī)是制造芯片最重要的設(shè)備之一，由于先進(jìn)光刻機(jī)的技術(shù)封鎖，中國(guó)芯片廠商的芯片制作工藝目前比較落后，也沒(méi)有優(yōu)秀的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)來(lái)掌握到最先進(jìn)的光刻技術(shù)。
2021-12-30 11:23:2111282 中國(guó)是目前世界上消費(fèi)芯片最多的國(guó)家，每年的芯片進(jìn)口額已超過(guò)了石油的進(jìn)口額。雖然中國(guó)芯片行業(yè)也已經(jīng)取得了小有成就，但在世界上還是處于落后的水平，芯片的落后少不了因?yàn)?b class="flag-6" style="color: red">光刻機(jī)的原因，那么光刻機(jī)的難度究竟在在哪里呢？
2022-01-03 17:16:004809 刻蝕機(jī)不能代替光刻機(jī)。光刻機(jī)的精度和難度的要求都比刻蝕機(jī)高出很多，在需要光刻機(jī)加工的時(shí)候刻蝕機(jī)有些不能辦到，并且刻蝕機(jī)的精度十分籠統(tǒng)，而光刻機(jī)對(duì)精度的要求十分細(xì)致，所以刻蝕機(jī)不能代替光刻機(jī)。
2022-02-05 15:47:0040088 光刻膠是光刻機(jī)研發(fā)的重要材料，換句話說(shuō)光刻機(jī)就是利用特殊光線將集成電路映射到硅片的表面，如果想要硅片的表面不留下痕跡，就需要網(wǎng)硅片上涂一層光刻膠。
2022-02-05 16:11:0011450 光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備之一。目前有用于生產(chǎn)的光刻機(jī)，有用于LED制造領(lǐng)域的光刻機(jī)，還有用于封裝的光刻機(jī)。光刻機(jī)是采用類似照片沖印的技術(shù)，然后把掩膜版上的精細(xì)圖形通過(guò)光線的曝光印制到硅片上。
2022-02-05 16:03:0086031 光刻機(jī)又被稱為掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，在芯片生產(chǎn)中用于光刻工藝，而光刻工藝又是生產(chǎn)流程中最關(guān)鍵的一步，所以光刻機(jī)又是芯片生產(chǎn)中不可缺少的設(shè)備，總得來(lái)說(shuō)光刻機(jī)是用來(lái)制造芯片的。
2022-02-06 07:25:0029606 在半導(dǎo)體的制造中，光刻機(jī)作為其中重要的組成部分，其技術(shù)非常復(fù)雜，價(jià)格也十分昂貴。 由于近期沖突，俄羅斯芯片進(jìn)口遭嚴(yán)重限制，在其國(guó)內(nèi)沒(méi)有光刻機(jī)的情況下，俄羅斯貿(mào)工部選擇了與俄羅斯莫斯科電子技術(shù)學(xué)院簽署
2022-04-06 10:35:338000 國(guó)產(chǎn)替代給力 大族激光光刻機(jī)已小批量銷售 臺(tái)積電2nm的工藝都要在2025年投產(chǎn)；不知道2nm的工藝需要什么樣的高端光刻機(jī)才做得出來(lái)。我們看到國(guó)產(chǎn)化好消息是，大族激光的光刻機(jī)已實(shí)現(xiàn)小批量銷售
2022-04-19 17:32:218011 眾所周知，光刻機(jī)一直處于壟斷地位，在光刻機(jī)領(lǐng)域，最有名的就是ASML公司了。
2022-07-04 11:21:15288906 中國(guó)芯的進(jìn)步那是有目共睹，我國(guó)在光刻機(jī)，特別是在EUV光刻機(jī)方面，更是不斷尋求填補(bǔ)空白的途徑。
2022-07-05 10:38:3516894 隨著芯片制程工藝的更新迭代，芯片已進(jìn)入納米時(shí)代，指甲蓋大小的芯片上集成的晶體管數(shù)量高達(dá)百億。然而芯片制造最大的困難是光刻機(jī)。
2022-07-05 10:57:265811 三星電子和ASML就引進(jìn)今年生產(chǎn)的EUV光刻機(jī)和明年推出高數(shù)值孔徑極紫外光High-NA EUV光刻機(jī)達(dá)成采購(gòu)協(xié)議。
2022-07-05 15:26:155706 光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備之一。目前世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)是荷蘭ASML的EUV光刻機(jī)。
2022-07-06 11:03:077084 如今世界最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，只有asml一家公司可以制造出來(lái)。
2022-07-06 11:19:3850816 大家都知道，芯片制造的核心設(shè)備之一就是光刻機(jī)了?，F(xiàn)在，全球最先進(jìn)的光刻機(jī)是荷蘭ASML的EUV光刻機(jī)，那么euv光刻機(jī)目前幾納米呢？ 到現(xiàn)在，世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)5nm的加工。也就是荷蘭
2022-07-10 11:17:4243364 說(shuō)到芯片，估計(jì)每個(gè)人都知道它是什么，但說(shuō)到光刻，許多人可能不知道它是什么。光刻機(jī)是制造芯片的機(jī)器和設(shè)備。沒(méi)有光刻機(jī)的話，就無(wú)法生產(chǎn)芯片，因此每個(gè)人都知道光刻機(jī)對(duì)芯片制造業(yè)的重要性。那么euv光刻機(jī)
2022-07-10 11:42:277107 可以生產(chǎn)出納米尺寸更小、功能更強(qiáng)大的芯片。 小于5 nm的芯片晶片只能由EUV光刻機(jī)生產(chǎn)。 EUV光刻機(jī)有光源系統(tǒng)、光學(xué)鏡頭、雙工作臺(tái)系統(tǒng)三大核心技術(shù)。 目前，最先進(jìn)的光刻機(jī)是荷蘭ASML公司的EUV光刻機(jī)。預(yù)計(jì)在光路系統(tǒng)的幫助下，能
2022-07-10 14:35:066278 目前，光刻機(jī)主要分為EUV光刻機(jī)和DUV光刻機(jī)。DUV是深紫外線，EUV是非常深的紫外線。DUV使用的是極紫外光刻技術(shù)，EUV使用的是深紫外光刻技術(shù)。EUV為先進(jìn)工藝芯片光刻的發(fā)展方向。那么duv
2022-07-10 14:53:1079027 euv光刻機(jī)原理是什么 芯片生產(chǎn)的工具就是紫外光刻機(jī)，是大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的核心設(shè)備，對(duì)芯片技術(shù)有著決定性的影響。小于5 nm的芯片只能由EUV光刻機(jī)生產(chǎn)。那么euv光刻機(jī)原理是什么呢？ EUV
2022-07-10 15:28:1015332 光刻機(jī)是當(dāng)前半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)的核心設(shè)備，其技術(shù)含量和價(jià)值含量都很高。那么euv光刻機(jī)用途是什么呢？下面我們就一起來(lái)看看吧。 光刻設(shè)備涉及系統(tǒng)集成、精密光學(xué)、精密運(yùn)動(dòng)、精密材料傳輸、高精度微環(huán)境控制
2022-07-10 16:34:403206 芯片想必大家都很熟悉，光刻機(jī)是是制造芯片的核心裝備，并且光刻機(jī)只有一小部分國(guó)家擁有，那么光刻機(jī)為什么這么難呢？ 據(jù)說(shuō)越小的東西，建造起來(lái)就越困難。 這句話不是沒(méi)有道理的。 盡管手機(jī)中的芯片只有指甲
2022-07-10 17:37:228681 MicroFAB-3D雙光子聚合3D納米光刻機(jī)是一款超緊湊、超高分辨率交鑰匙型3D打印機(jī)。雙光子聚合3D納米光刻機(jī)基于雙光子聚合(TPP)激光直寫技術(shù)，兼容多種高分子材料，包括生物材料。MicroFAB-3D 3D納米光刻機(jī)幫助您以百納米級(jí)的分辨率生產(chǎn)出前所未有的復(fù)雜的微部件.
2022-08-08 13:54:186055 
電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道（文/周凱揚(yáng)）盡管ASML作為目前占據(jù)主導(dǎo)地位的光刻機(jī)廠商，憑借獨(dú)有的EUV光刻機(jī)一騎絕塵，主導(dǎo)著半數(shù)以上的市場(chǎng)份額，但這并不代表著其他光刻機(jī)廠商也就“聽(tīng)天由命”了。以兩大國(guó)外光刻機(jī)
2022-11-24 07:10:033423 半導(dǎo)體用光刻機(jī)公司, 光刻機(jī)真空度需要達(dá)到 1x10-11 pa 的超高真空, 因?yàn)樵O(shè)備整體較大, 需要對(duì)構(gòu)成光刻機(jī)的真空相關(guān)部件進(jìn)行檢漏且要求清潔無(wú)油, 滿足無(wú)塵室使用要求, 為了方便進(jìn)行快速檢漏, 采購(gòu)伯東 Pfeiffer 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310.
2022-08-04 17:18:09353 
來(lái)源：DIGITIMES ASIA 佳能預(yù)計(jì)其納米壓印光刻機(jī)將于今年出貨，與ASML的EVU設(shè)備競(jìng)爭(zhēng)市場(chǎng)，因?yàn)槭澜绺鞯氐慕?jīng)濟(jì)體都熱衷于擴(kuò)大其本土芯片產(chǎn)能。 佳能董事長(zhǎng)兼首席執(zhí)行官Hiroaki
2024-02-01 15:42:05392 
光刻膠是一種涂覆在半導(dǎo)體器件表面的特殊液體材料，可以通過(guò)光刻機(jī)上的模板或掩模來(lái)進(jìn)行曝光。
2024-03-04 17:19:18792 光刻機(jī)經(jīng)歷了5代產(chǎn)品發(fā)展，每次改進(jìn)和創(chuàng)新都顯著提升了光刻機(jī)所能實(shí)現(xiàn)的最小工藝節(jié)點(diǎn)。按照使用光源依次從g-line、i-line發(fā)展到KrF、ArF和EUV；按照工作原理依次從接觸接近式光刻機(jī)發(fā)展到浸沒(méi)步進(jìn)式投影光刻機(jī)和極紫外式光刻機(jī)。
2024-03-21 11:31:41872 
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